JPH0143164Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0143164Y2 JPH0143164Y2 JP1981104992U JP10499281U JPH0143164Y2 JP H0143164 Y2 JPH0143164 Y2 JP H0143164Y2 JP 1981104992 U JP1981104992 U JP 1981104992U JP 10499281 U JP10499281 U JP 10499281U JP H0143164 Y2 JPH0143164 Y2 JP H0143164Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- flange
- flange portion
- sealing surface
- surface roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は半導体製造用ベルジヤー、拡散炉々芯
管等に使用されるフランジ部を有する石英ガラス
容器の構造に関するものである。
管等に使用されるフランジ部を有する石英ガラス
容器の構造に関するものである。
半導体製造用として使用されている石英ガラス
製品は不純物や汚染のない材料としてばかりでな
く、耐熱性を要求される材料として賞用されてい
る。
製品は不純物や汚染のない材料としてばかりでな
く、耐熱性を要求される材料として賞用されてい
る。
然し乍ら、不透明石英ガラスが使用されている
ため、不透明石英ガラス中に含まれている気泡が
シール面に露出し、パツキンを使用しても完全な
シールをすることが困難であつた。このためシー
ル面をガス焼きして気泡が露出しないようにした
としても、シール面の平均表面荒さに比較して気
孔の大きさがきわめて大きいため、孔として残つ
てしまい、結局不透明石英ガラスでは完全なシー
ル面を有するフランジを作ることができなかつ
た。一方、締付力を強くすることは石英ガラス製
フランジを破損するので採用できない。
ため、不透明石英ガラス中に含まれている気泡が
シール面に露出し、パツキンを使用しても完全な
シールをすることが困難であつた。このためシー
ル面をガス焼きして気泡が露出しないようにした
としても、シール面の平均表面荒さに比較して気
孔の大きさがきわめて大きいため、孔として残つ
てしまい、結局不透明石英ガラスでは完全なシー
ル面を有するフランジを作ることができなかつ
た。一方、締付力を強くすることは石英ガラス製
フランジを破損するので採用できない。
又容器内部のガス圧を高めてシール面から不純
物の進入を防ぐことも考えられるが、拡散炉にお
ける拡散処理、あるいはエピタキシヤル成長時の
ガスの圧力は拡散ムラ、蒸着ムラのないように規
定の圧力で使用するためガス圧を高めることはで
きなかつた。
物の進入を防ぐことも考えられるが、拡散炉にお
ける拡散処理、あるいはエピタキシヤル成長時の
ガスの圧力は拡散ムラ、蒸着ムラのないように規
定の圧力で使用するためガス圧を高めることはで
きなかつた。
本考案はこのような容器本体のシール部にシー
ル面の表面荒さが2μ以下の透明石英ガラス製フ
ランジを溶着することによつてガスリークのまつ
たくない構造としたものである。シール部に透明
石英ガラス製フランジ部を溶着した場合、該石英
ガラスのシール面には表面平滑度が必要であり、
表面荒さを2μ以下にする必要がある。すなわち、
表面荒さが2μを越えると前記フランジ部と接合
すべきフランジ部を完全に密着させることができ
ず、ガスリークを完全に防止できない。
ル面の表面荒さが2μ以下の透明石英ガラス製フ
ランジを溶着することによつてガスリークのまつ
たくない構造としたものである。シール部に透明
石英ガラス製フランジ部を溶着した場合、該石英
ガラスのシール面には表面平滑度が必要であり、
表面荒さを2μ以下にする必要がある。すなわち、
表面荒さが2μを越えると前記フランジ部と接合
すべきフランジ部を完全に密着させることができ
ず、ガスリークを完全に防止できない。
以下に本考案の実施例を図によつて説明する。
第１図において１は不透明石英ガラス製ベルジ
ヤーで、その下端面にはフランジ部２を有する。
３は本考案による透明石英ガラス製フランジ部で
不透明石英ガラスのフランジ部２を溶着してい
る。４は透明石英ガラス製フランジのシール面で
ある。シール面は平滑に研摩されているが透明石
英ガラス製であるためシール面には気泡が存在せ
ず、また、表面荒さが2μ以下であるので、該フ
ランジ部と接合するフランジ部を完全に密着する
ことができる。それ故、従来の不透明石英ガラス
製シール部と比較してガスリークのきわめて少な
いものとして得られた。
ヤーで、その下端面にはフランジ部２を有する。
３は本考案による透明石英ガラス製フランジ部で
不透明石英ガラスのフランジ部２を溶着してい
る。４は透明石英ガラス製フランジのシール面で
ある。シール面は平滑に研摩されているが透明石
英ガラス製であるためシール面には気泡が存在せ
ず、また、表面荒さが2μ以下であるので、該フ
ランジ部と接合するフランジ部を完全に密着する
ことができる。それ故、従来の不透明石英ガラス
製シール部と比較してガスリークのきわめて少な
いものとして得られた。
本考案のフランジ部と従来の不透明石英ガラス
製フランジ部について、その表面荒さを比較した
ものを第２図〜第５図に示す。尚、シール部の表
面状態は1200メツシユの砥粒で研摩したもので比
較した。第２図は従来の不透明石英ガラス、第３
図はこれを更にガス焼きしたもの、第４図は本考
案の透明石英ガラスを溶着したもの、第５図は第
４図のものを更にガス焼きしたもので、
TAYLOR−HOBOSON社製表面荒さ計を使用
して測定した。
製フランジ部について、その表面荒さを比較した
ものを第２図〜第５図に示す。尚、シール部の表
面状態は1200メツシユの砥粒で研摩したもので比
較した。第２図は従来の不透明石英ガラス、第３
図はこれを更にガス焼きしたもの、第４図は本考
案の透明石英ガラスを溶着したもの、第５図は第
４図のものを更にガス焼きしたもので、
TAYLOR−HOBOSON社製表面荒さ計を使用
して測定した。
図に示すように第２図のものは18μ、第４図の
ものが2μ、第５図のものが1μときわめて平滑な
ものとすることができた。
ものが2μ、第５図のものが1μときわめて平滑な
ものとすることができた。
その結果、本考案のものは接続部を強く締付け
ることもなく充分なシールをすることができ、拡
散炉用炉芯管あるいは半導体製造用ベルジヤー等
に適用した場合、ガスリークもなく拡散ムラ、蒸
着ムラのきわめて少ない半導体製品を作ることが
可能となつた。
ることもなく充分なシールをすることができ、拡
散炉用炉芯管あるいは半導体製造用ベルジヤー等
に適用した場合、ガスリークもなく拡散ムラ、蒸
着ムラのきわめて少ない半導体製品を作ることが
可能となつた。
第１図は本考案の一実施例を示す概略断面図、
第２図〜第５図は本考案のフランジ部と従来の不
透明石英ガラス製フランジ部の表面荒さを計測し
た図である。 １……不透明石英ガラス、２……フランジ部、
３……透明石英ガラス製フランジ部、４……シー
ル面。
第２図〜第５図は本考案のフランジ部と従来の不
透明石英ガラス製フランジ部の表面荒さを計測し
た図である。 １……不透明石英ガラス、２……フランジ部、
３……透明石英ガラス製フランジ部、４……シー
ル面。
Claims (1)
- 不透明ガラス製容器本体のシール部にシール面
の表面荒さが2μ以下の透明石英ガラス製フラン
ジを溶着してなる石英ガラス製フランジ部の構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10499281U JPS5812280U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 石英ガラス製フランジ部の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10499281U JPS5812280U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 石英ガラス製フランジ部の構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5812280U JPS5812280U (ja) | 1983-01-26 |
| JPH0143164Y2 true JPH0143164Y2 (ja) | 1989-12-14 |
Family
ID=29899545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10499281U Granted JPS5812280U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 石英ガラス製フランジ部の構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5812280U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104103556A (zh) * | 2013-04-05 | 2014-10-15 | 古河机械金属株式会社 | 钟形罩和真空处理装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3412734B2 (ja) * | 1996-08-07 | 2003-06-03 | 株式会社山形信越石英 | 半導体ウェーハの反応容器と該容器を用いた熱処理装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5037354A (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-08 | ||
| JPS5623741A (en) * | 1979-08-06 | 1981-03-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor |
-
1981
- 1981-07-15 JP JP10499281U patent/JPS5812280U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104103556A (zh) * | 2013-04-05 | 2014-10-15 | 古河机械金属株式会社 | 钟形罩和真空处理装置 |
| JP2014201803A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 古河機械金属株式会社 | ベルジャおよび真空処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5812280U (ja) | 1983-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5768287A (en) | Production of composite material | |
| JPS6364698U (ja) | ||
| JPS5932796U (ja) | サ−ビスバルブ用キヤツプ | |
| CN224167549U (zh) | 一种基于凝血检测用采血管 | |
| JPS5443461A (en) | Packing method of semiconductor wafer | |
| JPS5996466U (ja) | ボ−ルバルブ | |
| JPS63125861A (ja) | シ−ル構造 | |
| JPS627554Y2 (ja) | ||
| JPH074387Y2 (ja) | ガス容器弁真空圧力継手 | |
| JPH0532879U (ja) | シールオフバルブ | |
| JPH01162233U (ja) | ||
| JPS5856266U (ja) | 液体流入阻止弁 | |
| JPS6027341U (ja) | 大型タンクの気密検査装置 | |
| JPH01104500U (ja) | ||
| JPS5812280U (ja) | 石英ガラス製フランジ部の構造 | |
| JPS57203238A (en) | Stylus for static capacitance type video disc | |
| JPS62131161U (ja) | ||
| JPS6423024U (ja) | ||
| JPS59187148U (ja) | シリコンウエハ真空吸着盤 | |
| JPS61158834U (ja) | ||
| JPS59136483U (ja) | 浮屋根シヤフトのシ−ル装置 | |
| JPS5863460U (ja) | 軸封装置における安全シ−ル装置 | |
| JPS6454684A (en) | Spark plug integrated with pressure sensor | |
| JPH11171256A (ja) | 容 器 | |
| JPS59131038U (ja) | 真空計較正装置 |