JPH0147919B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体集積回路のようなワークを測
定・選別する装置（以下ハンドラという）でワー
クを測定部へ供給したり、測定ずみのワークを収
納するために使用されるマガジンを所定の位置に
供給するマガジン供給装置の改良に関する。

従来のマガジン供給装置は上方に積層収納され
た複数個のマガジンの中、最下端に位置するマガ
ジンを順次取り出して使用するもので、最下端の
マガジンは移送用レールの上に直接乗つているの
で、上下に積層収納されるマガジンストツク部は
１基しか設けることができなかつた。

一方ハンドラは省力化、測定の高速化などのた
めマガジンストツク部に収納されているマガジン
の消費量が増し、従来のような１基しか設けられ
ないマガジンストツク部ではマガジンの供給量に
不足を来たし、ハンドラの平滑な動作に支障を来
たす結果となつてきた。このためにマガジンのス
トツク量の増加が要望されていたが、１基だけの
マガジンストツク部でストツク量を増加するため
にはマガジンストツク部を上方に延長しなければ
ならず、このような構造ではマガジンの補強など
の操作がやりにくいという欠点が出て来るもので
あるので、実際上はストツク量を増すことはほと
んどできなかつた。

本発明はこのような欠点を解消するためになさ
れたもので、従来程度の高さのマガジンストツク
部を最大３基まで並列に配置することにより、全
体のストツク量を従来の３倍まで増大することが
でき、且つマガジンの供給は従来と同程度の労力
ですむマルチタイプのマガジン供給装置を提供す
るものである。

次に本発明を実施例に従い、図によつて詳細に
説明する。第１図は本発明のマガジン供給装置を
組み込んだハンドラの外観図で、Ａはワークの供
給部、Ｂは測定部、Ｃはワークの収納部である。
本発明のマガジン供給装置は主にＡのワークの供
給部（ローダ）に組み込まれている。第２図〜第
１０図は本発明のマガジン供給装置をローダとし
て使用したもので、この実施例に基づいて詳細に
説明する。

図において基台４上に対をなして互いに対向
し、且つマガジン１の長さだけ離れた位置に主柱
５が立設されている。この対の数は最大３対まで
可能である。各主柱はポル１１とこのポールの互
いに対向する内側面には上下方向に延びる一対の
板状部材１２ａ，１２ｂによつてマガジン収納溝
１２が凹設されてあり、外側面には上端が枢支さ
れた揺動爪７とで構成されてマガジンストツク部
２を構成している。揺動爪の下部はその一方では
爪部１４がポール１１に穿孔してある長孔１３を
貫通してマガジン収納溝内に突出してあり、他方
は爪部と反対方向に突出し、且つその先端部分に
爪駆動ピン６が下方に突出している。爪部１４は
第４図に示すように基台４上に配設されたマガジ
ン移送台８のマガジン受取り面９よりマガジン１
本分以上の間隔を取つて配置されている。この揺
動爪は常時はばね４０により爪部１４がマガジン
収納溝１２内に突出する位置に保持されている。

主柱５の内側の近傍の基台４にはマガジンスト
ツク部２にほぼ直角方向に２本のマガジン移送台
８の移送溝２０が穿設されている。この溝２０の
下側、基台の裏面には前記溝２０に平行して２本
のスライド軸２３が基台に固定されている。この
スライド軸にはスライドベアリング２２を介して
ハウジング１０がスライド軸２３に沿つて摺動自
在に取付けられており、ハウジングの上面にはマ
ガジン移送台８の移送溝２０を貫通して基台４の
上面に突出する部材を介してハウジング１０に固
定された前記マガジン移送台８が設けられてい
る。このマガジン移送台８の上面は、第２図に示
すように、平滑なマガジン受取り面９と、この面
９に対して溝２０の延長方向に隣接して凹接され
たマガジン嵌入溝３７となつている。このような
構成のマガジン移送台８はそれぞれの溝２０に１
個ずつ設けられてあり、これら２個のマガジン移
送台８はそれぞれの下部のハウジング１０の下面
で１本の接続棹２４により連結されて一体となつ
ている。

各主柱５の近傍の外側には回動軸１５が基台４
を貫通して枢着されており、その上端部には爪揺
動ピン１６を突設してあり、前記揺動爪７の爪駆
動ピン６と係合している。一方下端部には揺動ア
ーム１７が固着されており、対角線状に配設され
たロツド１８で互いに対向する主柱５の外側の回
動軸１５がそれぞれ連結されて、前記対向する主
柱５の揺動爪７の動作を連動させている。なおこ
れらの駆動は一方の回動軸１５の駆動アーム１７
と基台４との間に設けられたシリンダ２８により
行われる。

次に前記マガジン移送台８の駆動を行うリンク
機構について説明する。駆動源となるシリンダは
基台４の裏面に配設された主、副および従の３本
で構成されている。このうち主シリンダ２５はそ
の胴部２５ａが基台４に固定されていてロツド２
５ｂのみが一直線上を往復運動するようになつて
いる。副および従シリンダ２６および２７はその
胴部２６ａ，２７ａの尾部が基台４に枢支されて
おり、揺動するようになつている。ここで第６図
に示すように、主、副シリンダ２５，２６のロツ
ド２５ｂ，２６ｂは主連結棹２９の両端に枢支さ
れている。主連結棹２９の主シリンダ２５側の枢
支点を基準支点ａ、副シリンダ２６側の枢支点を
１次支点ｄとする。さらに主連結棹２９の中央よ
り基準支点側に主支点ｂを設け、この主支点ｂと
従シリンダ２７のロツド２７ｂとを副連結棹３０
で接続する。ここで従シリンダ２７のロツド２７
ｂと副連結棹３０との枢支点を２次支点ｅとす
る。副連結棹３０上で両端の支点ｂ，ｅの間に作
用支点ｃを設けてある。この作用支点ｃにおいて
前記マガジン移送台８の接続棹２４を直接または
間接に接続する。

このリンク機構の動作を第５図について説明す
る。基準支点ａ、１次および２次支点ｄおよびｅ
がそれぞれ０ａ点、０ｄ点、０ｅ点にあれば作用
支点ｃは０ｃ点に位置する。次に基準支点ａ、２
次支点ｅはそのままで、１次支点のみが０ｄから
１ｄに移動すると作用支点ｃは０ｃから１ｃに移
動する。この状態からａが０ａから１ａへ、ｄが
１ｄから０ｄへ移るとｃは１ｃから２ｃに移動す
る。さらにｄが０ｄから１ｄへ移動するとｃは２
ｃから３ｃへ移動する。ａ，ｄが０ａ，０ｄへ戻
り、ｅが１ｅへ移動するとｃは３ｃから４ｃへ移
動する。この状態からｄが１ｄへ移動するとｃは
４ｃから５ｃへ移動する。さらにａが１ａへ、ｄ
が０ｄへ移動するとｃは５ｃから６ｃへ移動す
る。次にｄが１ｄへ移動するとａ，ｄ，ｅは総て
１ａ，１ｄ，１ｅへ並ぶことになり、ｃは６ｃか
ら７ｃへ移動する。このように３本のシリンダの
動作の組合せで作用支点ｃを０ｃから７ｃまでの
間の８分割の任意の位置に移動させることができ
る。なお、ここで副、従シリンダ２６，２７の揺
動により、第６図のような正確な分割は行えない
が、シリンダストロークに比べ、主、副連結棹２
９，３０の長さを十分長くし、且つ主支点ｂと作
用支点ｃ間の長さをｐ、副連結棹３０の長さ（主
支点ｂと２次支点ｅ間の長さ）をｌ、基準支点ａ
と主支点ｂの間の長さをｍとしたとき Ｐ：ｌ：ｍ＝８：28：７ とすれば正確な分割を行うことができるものであ
る。また、：および：を適宜選択する
ことにより、作用支点ｃのストロークを正確に８
分割することも可能であり、逆にストローク間に
差を持たせることも可能である。なお、従シリン
ダ２７および副連結棹３０を省略し、主支点を作
用支点とすることにより４分割ができるものであ
る。また各シリンダを適宜選択することによりシ
リンダストローク間で分割数を変えることができ
るものである。

第７図はマガジンリフタ２１の斜視図で、リフ
トアーム３３は尾端に断面コ字状のマガジン把持
部３９を装着し、他端は回動軸を通してリフトシ
リンダ３８のロツドと連結されているので、リフ
トシリンダ３８の動作によりリフトアーム３３は
回動軸を中心として水平状態から尾端の上つた傾
斜状態まで揺動し得るようになつている。この傾
斜角はマガジン１の回動軸側の端部がワーク用レ
ール３２と接し、且つこれと直線状態となるよう
に保持されるものである。

本装置に使用するマガジン１は横断面が第８図
に示すように板金を折曲げたり、押出し成形にて
角管状に形成されており、底部中央が内方に凹曲
されて下方開口溝３４を形成してある。

次に本装置の動作について説明する。まずワー
クの充填されたマガジン１をマガジンストツク部
２内に収納積層する。この時に揺動爪７の爪部１
４がマガジン収納溝１２内に突出していて最下層
のマガジン１の下方開口溝３４に嵌り込んで上方
の積層されたマガジン全部を係止している。爪部
１４にて直接係止されている最下層のマガジン１
とマガジン移送台８のマガジン嵌入溝３７との間
には少なくともマガジン１本分の隙間が取つてあ
り、この空間がマガジン移送空間３を形成してい
る。

次にマガジンリフタ２１から最も遠いマガジン
ストツク部からマガジン１の供給を受ける場合、
まず主、副および従の各シリンダ２５，２６，２
７を第５図で説明したように駆動して第３図の１
ｃの位置にマガジン移送台８を移動させると、前
記マガジンストツク部の真下にはマガジン移送台
８のマガジン受取り面９が位置する。このときに
爪駆動シリンダ２８を動作させて左右の回動軸を
回して爪揺動ピン１６に係合している爪駆動ピン
６を駆動し、揺動爪７を動かして爪部１４を長孔
１３から抜出し、マガジン１の係止をはずす。こ
の時上部に積層されていたマガジン１は一せいに
約１本分落下して前記マガジン移送アームのスラ
イド面９の上に乗る。その後に揺動爪７を前記と
逆の動作をさせて下から２本目のマガジン１を爪
部１４で係止する。以上の動作が完了した後に第
５図で説明した順序に従つて必要シリンダを駆動
すると、マガジン移送台８は第３図の１ｃの位置
から０ｃの位置まで移動する。この場合、マガジ
ンストツク部２のマガジン収納溝１２を形成する
一対の板状部材１２ａ，１２ｂのうち、マガジン
リフタ２１側とは反対側の板状部材１２ａの下縁
部Ｓは、最下層のマガジン１がマガジン移送台８
のマガジン受取り面９に載置されている場合のマ
ガジン１の上面（第４図の１ａ）よりも下方へ突
出しており、マガジン移送台８が第３図の１ｃの
位置から０ｃの位置に向つて移動するとき、板状
部材１２ａの下縁部Ｓがマガジン１に当接してマ
ガジン１の移動を阻止する。したがつて、マガジ
ン受取り面９とその上に載置されているマガジン
１との間に相対的な摺動が生じる。そしてマガジ
ン移送台８が第３図の０ｃの位置に移動すると、
上記マガジン移送台８のマガジン嵌入溝３７がマ
ガジンストツク部２の直下位置にくるから、上記
最下層のマガジン１がマガジン嵌入溝３７内に落
下し、この溝３７内に保持される。マガジン１が
マガジン受取り面９上から落下して上記マガジン
嵌入溝３７内に保持された状態では、上記ストツ
パとしての板状部材１２ａの下縁部Ｓはこのとき
のマガジン１の上面（第４図の１a′）よりも上方
位置にあつてマガジン１の移送通路外へ出ること
になり、マガジン移送台８によるマガジン１の移
送が許容されることになる。

この状態にしておいてから第５図で説明した順
序に従つて必要シリンダを駆動するとマガジン移
送台８はマガジン１を乗せたまま溝２０に沿つて
移動し、これによりマガジン１はマガジン移送空
間３を通つて第３図の６ｃの位置まで移送され
る。この６ｃの位置はマガジンリフトアーム３３
の直下の位置であり、この６ｃの位置に移送され
た時にマガジンリフトアーム３３に挿入されてい
た空のマガジン１を押し出して新たに移送されて
来た充填済のマガジン１がマガジンリフトアーム
３３に挿入され、マガジン把持部３９にマガジン
１の尾端が入り込むものである。

この動作が完了するとリフトシリンダ３８を作
動させてマガジン１を把持したままでリフトアー
ム３３は傾斜し、ワーク用レール３２とマガジン
１とを接続する。この接続と同時にマガジン１内
に充填されていたワーク３１は滑落してワーク用
レール３２に供給される。

ワーク用レールに供給されたワークは順次測
定・選別されて行くのでマガジン１内のワークは
順次滑落して行つてマガジン１内は空になる。こ
の時に図示してないワーク検知器によりマガジン
１が空になつたことを検知して前述の動作をくり
返して充填マガジン１を補給して行くものであ
る。このようにして次々と充填マガジンが補給さ
れて行くので、前述の最遠部のマガジンストツク
部２（０ｃの位置）が空になると、各シリンダの
動作が第５図の説明のように規制されてマガジン
移送台８を３Ｃ点へ移送してマガジン受取り面９
を２ｃ点に持来たし、第３図の中央のマガジンス
トツク部２（２ｃの位置）より充填マガジンの補
給を受け、次にマガジン移送台８を２ｃの位置に
戻してマガジン１をマガジン嵌入溝３７内に落下
させ、この状態でマガジン移送台８を６ｃの位置
に移動させてマガジン１をマガジンリフタ２１に
供給することになる。さらに中央のマガジンスト
ツク部２が空になると、前述と同様な動作で第３
図の最近部のマガジンストツク部２（４ｃの位
置）へと移行する。この最近部のマガジンストツ
ク部２が空になるまでの間に最遠部、中央部と充
填マガジンを補給しておけば最近部のマガジンス
トツク部２が空になると前述同様な動作で再び最
遠部へ補給元を移して行くのである。

なお、充填マガジンをマガジンリフタ２１に供
給した後のマガジン移送台８は直ちに補給中のマ
ガジンストツク部２へ移行し、次の充填マガジン
を受領して待機しているが、この待機位置を第８
図ｂに示すように６ｃの位置とし、マガジンリフ
タ２１の位置を７ｃの位置に設置しておけば各マ
ガジンストツク部２の直下で待機している場合に
くらべてマガジンリフタ２１へ充填マガジンを供
給する時間を節約することができる。

以上のように、本実施例によれば、駆動シリン
ダを適宜選択することにより、マガジン移送台８
を８ケ所に停止させることができるから、マガジ
ン移送台８の停止位置をそれぞれ２ケ所必要とす
るマガジンストツク部２を３基まで並設すること
ができ、従来例に比較して３倍のマガジンストツ
ク量が確保できることになる。この結果、マガジ
ン１の補給が容易に行えるので、省力化、作業の
スピードアツプが容易に行える利点は極めて大き
い。

次にリンク機構を４分割にした場合について説
明する。この場合はシリンダは主シリンダ２５と
副シリンダ２６の２本を使用し、両シリンダのロ
ツドを主連結棹２９にて接続する。第１０図はこ
の状態を示したもので、この連結棹上の適当な位
置に設けられた作用支点の移動を４分割にするこ
とができる。一方、第９図から明らかなように、
マガジン移送台８はマガジンストツク部２間の距
離より長く作られており、マガジン移送台８のマ
ガジン受取り面９がａ，ｂ，ｃにおいてマガジン
ストツク部２よりマガジン１を供給された後、マ
ガジン１本をのせたままマガジン移送台８がマガ
ジンリフタ２１の方向へ移動するとマガジン受取
り面９上のマガジン１はマガジン嵌入溝３７へ滑
り込み、この溝３７内に保持された状態でマガジ
ンリフタ２１の所まで移送される。

本発明は、以上のような構成によつて、各マガ
ジンストツク部２において最下層のマガジン１と
基台４との間にマガジン移送用空間が形成される
ので、各マガジンストツク部２内にマガジンが充
填されている状態であつても、マガジン移送空間
３に降ろされたマガジン１を支障なくワーク供給
位置へ移送することができ、マガジンストツク部
２を複数基並設できるようになる。その結果従来
に比較してマガジンストツク量、マガジン供給量
が飛躍的に増大し、マガジン補給が極めて容易に
なる利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を利用したハンドラの外観図、
第２図は本発明の一実施例の一部切欠斜視図、第
３図は同じく平面図、第４図は同じく一部切欠正
面図、第５図および第６図は同じくリンク機構の
説明図、第７図は同じくマガジンリフタの斜視
図、第８図はマガジンの移動状況の説明図でａは
リンク機構の停止位置が８点形のもの、ｂは同じ
く４点形のものである。第９図はマガジンの移動
状況の説明図で、リンク機構の停止位置が４点形
のものである。第１０図は４点形リンク機構の動
作説明図である。 １……マガジン、２……マガジンストツク部、
３……マガジン移送空間、４……基台、７……揺
動爪、８……マガジン移送台、９……マガジン移
送台のマガジン受取り面、２０……マガジン移送
台の移動溝、２１……マガジンリフタ、３３……
リフトアーム、３７……マガジン嵌入溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 半導体集積回路素子等よりなるワークを充填
   したマガジンから上記ワークを順次供給して上記
   ワークの測定、選別を行ない、かつ測定、選択済
   みのワークを空のマガジン内に収納するように構
   成された装置のためのマガジン供給装置であつ
   て、 角管状のマガジンを上下方向に積層した状態
   で、かつすべてのマガジンが互いに平行となる状
   態で収納しうるように基台上に並設された複数の
   マガジンストツク部と、 これらマガジンストツク部に積層収納された多
   数のマガジンのうちの最下層のマガジンを、この
   最下層のマガジンと上記基台との間に上記マガジ
   ンの移送を許容するマガジン移送空間が形成され
   る態様で、解放可能に係止する揺動爪と、 上記マガジンストツク部に収納されたマガジン
   の長手方向とほぼ直交する方向に上記基台に削設
   された溝と、 この溝に沿つて移動可能に上記基台上に設けら
   れ、かつ、上記揺動爪から解放されて落下する最
   下層のマガジンを受取る平滑なマガジン受取り面
   と、このマガジン受取り面に対しその移動方向と
   平行な方向に隣接して凹設されたマガジン嵌入溝
   とを上面に備え、上記マガジンを上記マガジン嵌
   入溝内に保持した状態で上記マガジン移送空間を
   通つてワーク供給位置まで移送しうるマガジン移
   送台と、 上記マガジンを上記マガジン受取り面上に載置
   した状態での上記マガジン移送台の移動に際して
   は、上記マガジンに当接してこのマガジンの移動
   を阻止し、これにより上記マガジンと上記マガジ
   ン受取り面との間に相対的な摺動を生じさせて上
   記マガジンを上記マガジン嵌入溝内に落下させ、
   上記マガジンを上記マガジン嵌入溝内に保持した
   状態での上記マガジン移送台の移動に際しては、
   上記マガジンに対し非当接状態となつて、上記マ
   ガジン移送台による上記マガジンの移送を許容す
   るように上記マガジンストツク部に設けられた、
   上記マガジンを上記マガジン嵌入溝内に落下させ
   る機構と、 上記基台の下面に設けられて上記マガジン移送
   台と上記基台に削設された溝を通じて連結された
   リンク機構と、 このリンク機構を駆動して、上記マガジン移送
   台を、そのマガジン受取り面が上記マガジンスト
   ツク部の直下にある位置から上記マガジン嵌入溝
   が上記マガジンストツク部の直下にくる位置まで
   移動させ、次いで上記ワーク供給位置まで移動さ
   せる駆動シリンダと を備えていることを特徴とするマガジン供給装
   置。