JPH0150102B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は半導体ウエハーの搬送機構における
搬送部材の支持装置に関するものである。

この発明の搬送機構は、複数の搬送形態のう
ち、半導体ウエハーを気体あるいは液体の流体を
用い、この流体を噴出して浮上させ、且つ、推進
させる手段をもつて搬送する形式の搬送機構に基
くものである。

従来の技術 一般に流体の噴射によつて半導体ウエハーを浮
上させ、且つ、推進させる手段は、その搬送路と
定めた位置に敷設状態に設置した搬送部材に穿設
した数多の小径口より、その搬送区間の工程に対
応して適応する気体あるいは液体の流体を搬送媒
体としてこれを噴射手段を用いて硬質物体を搬送
媒体として接触搬送させない搬送方法は既に公知
である。例えば、昭和54年特許出願公告第10829
号および昭和58年特許出願公告第46170号などが
存在する。

発明が解決しようとする問題点 圧力流体の噴射によつて、半導体ウエハーを浮
上させ、且つ、所望する方向に推進させる場合、
個々の噴出流体にその圧力差が生じ易く、その結
果、搬送する半導体ウエハーである被送体が不安
定な移動現象に陥り易くなる。

上記の現象を極力防止する目的から敷設する搬
送部材を小ブロツク化し、噴射圧を平均化すると
共に、該小ブロツク化した搬送部材を被送体の浮
上推進位置の上方にも設置して圧力流体を下方に
噴出させて移動する被送体の揺動作用を抑制して
浮上位置を一定した設定走行位置を準守するよう
な手段に移行しつつある。

この搬送媒体の流体の下方噴出作用は、前記の
上方噴射の浮上作用を目的とするものではなく、
異常位浮上現象の抑制と移送方向への推進作用と
を主なる目的とし、その他通過部所の工程によつ
て化学反応あるいは洗滌作用ならびに乾燥作用と
うを目的として用いる場合がある。

上記のように搬送媒体の流体（上記のように搬
送目的以外の化学反応用、洗滌用あるいは乾燥用
とうに使用してもこれを一括して搬送媒体と称す
る。）の下方噴出を目的とする上方に設置する小
ブロツクの搬送部材は、その設置位置の関係か
ら、適切簡易な設置手段がなく、その作用の精度
を高めるために完全不動形式の枠体を構成し、こ
の枠体に前記小ブロツクを固着する手段が妥当で
あるが、煩時変更を要する種類の半導体ウエハー
の被送体の種類に対応して搬送部材の交換ならび
に下部搬送部材との間隙調整とうに対応させる整
備作業ならびにそれに要する時間の損失とうが見
込まれる。

これら上記の不都合は、この発明の開発によつ
て一挙に解決した。

その詳細な下記の手段によつてなされるもので
ある。

問題点を解決するための手段 この発明は、半導体ウエハーである被送体（以
下被送体と称す）を搬送する搬送路で、その搬送
手段を気体あるいは液体の流体を搬送媒体とし、
その搬送媒体に圧力を加えて噴出させ、被送体を
浮上させ、且つ、推進させる方式において、前記
搬送媒体を噴出させる数多の噴射孔を有する搬送
部材を小規模のブロツク体に形成し、そのブロツ
ク体の多数を、形成しようとする搬送路となるよ
うに縦列設するものである。このようにして、設
定した順路に基いて形成した搬送路用基枠に前記
搬送部材のブロツク体を縦列記して所望の搬送路
を形成し、この縦列設ブロツク体を下部送路と
し、これに対応して所望の間隙を調整可能に上部
送路を前記のブロツク体と基本的に同構成の上部
用ブロツク体の多数をもつて構成するに、該上部
用ブロツクを容易に縦列設形成作業ならびに下部
送路との間隙（高さ）を任意に調整できる搬送部
材の支持装置を提供するものである。

実施例 次にこの発明の実施例を図面と共に説明すれ
ば、半導体ウエハーである被送体１を搬送する搬
送路２を形成する多数の搬送部材であるブロツク
体３の構成形態から説明すれば、前記所望幅の搬
送路２の幅寸法と略同寸法を一辺の長さとし、そ
の辺長に近似する長さを他辺長とする長方形で、
内部に気体あるいは液体の流体よりなる搬送媒体
を供給する管路を配管４するに必要な厚さを有す
る版状体の立方体で、その一面に前記配管４に連
なる微細径口あるいは微細幅で形成する条溝状の
搬送媒体噴出口５を開口すると共に、前記配管４
の元端部に搬送媒体供給管（図示さず）の端部を
連結する接続口６が設けてある。

このようにしたブロツク体３を支持するブロツ
ク支持体７は、前記搬送路２をその幅方向に跨座
できる門型を２本の脚部８とその上端のそれぞれ
を接続する梁部９とからなり、この梁部９の前後
面を斜面構成とすることによつてその断面形状が
上辺を短辺とする台形を形成してブロツク係止面
１０を構成し、且つ、前記２本の脚部８の下端に
は、前記搬送路２を構成する前記ブロツク体３の
構成とほぼ同構成の下部ブロツク体３′を縦列設
した搬送基枠１１上で、且つ、形成する搬送路２
の両側辺に平行する位置に設けた溝形の支持溝１
２に係合できる係止部１３を設ける。また、前記
支持溝１２にはブロツク支持体７を搬送路２と平
行して設置できるように、ブロツク支持体７の両
脚部８下端に設けた前記係止部１３が係合できる
係合溝１４を支持溝１２の直交方向に、且つ、両
係止部１３間の間隔寸法を１単位寸法として比較
的小間隙になるように多単位を等間隙をもつて構
成してなるものである。

作 用 以上のように構成したブロツク支持体７は、搬
送路によつて搬送する半導体ウエハーである被送
体１の種類に応じて搬送路２の下部ブロツク体
３′より噴射する搬送媒体の圧力および流量なら
びに搬送速度等幾多の定められた条件を満たすた
めに設定された各々の基準値に基いて搬送媒体の
送出操作を行うもので、これによつて被送体１の
浮上走行高さも同時に設定され、更に、その上方
に設置する搬送部材であるブロツク体３における
搬送媒体噴出口５の在置高さも決定するもので、
予め見当を付けて設けた間隙を介して前記のブロ
ツク支持体７の複数を搬送路２の側方に設けてあ
る支持溝１２に係合して樹立しておき、このブロ
ツク支持体７における梁部９のブロツク係止部１
０において、前記したブロツク体３における搬送
媒体噴出口５の在置高さｈ位置の点ｐを定め、次
いで、隣接するブロツク支持体７の相対向するブ
ロツク係止面１０に設定した高さｈ位置の点p′と
前記点ｐ間の距離を、係合しようとするブロツク
体３の長さ（幅寸法）ｌより極微距離短かめにし
た間隔をもつて樹立位置を決定する。そして、前
記ブロツク体３をその搬送媒体噴出口５を下面と
して各ブロツク支持体７のブロツク係止面１０に
係合すると共に、前記極微距離短かめに設定した
距離に対応する分に見合う程度を係合したブロツ
ク体３に対し下向への押圧力を加えて自然離脱現
象が生じないように圧入、そして固定する。

このようにして、既に形成されている搬送路２
の上方に設定高さを介したブロツク体３を縦列設
して上方搬送路を形成するものである。

以上は個々のブロツク体３を、形成された搬送
路２に準じて縦列設させる接合手段にブロツク支
持体７を用いて連続された状態について説明した
ものであるが、この場合、ブロツク体３の両側辺
の支持構成の有無は任意で、必要とあれば、前記
ブロツク支持体７以外の別異構成の支持部材を用
いることも任意であるが、前記のブロツク支持体
７あるいは同形態のものを支持溝１２に直交して
設けた係合溝１４に脚部８の係止部１３を挿入係
止して搬送路２と平行するように樹立し、且つ、
相対向するブロツク係止面１０，１０間にブロツ
ク体３を挿入係合することも任意である。

効 果 この発明は以上のように半導体ウエハーである
被送体を搬送する搬送媒体に気体あるいは液体の
流体を用い、その流体を噴出させる搬送部材を敷
設して搬送路を構成し、その搬送路２の上方に前
記搬送媒体を下方に噴出させる搬送部材を小単位
体のブロツク体５に形成し、これを前記搬送路２
の形態に、該搬送路２の上面より所望する高さｈ
を高精度をもつて装設することは前述の通りで、
このブロツク体５を支持する門型のブロツク支持
体７を前記搬送路２の長手方向両外側に平行して
設けた支持溝１２の任意の位置に挿入して搬送路
２を跨座して装設し、且つ、これを前後方向自由
に調整移動して隣接する他のブロツク支持体７と
の間隙を整え、この間隙によつて梁部９に設けた
斜面形成のブロツク係止面１０と係止しようとす
るブロツク体５の高さ位置を自由に選定すること
が可能であり、一旦、各ブロツク支持体７間の距
離が設定されたならば、これに従つて等間隔に樹
立し、且つ、ブロツク体５を上方より単に塩圧挿
入係止することにより簡単に高さ精度の高いブロ
ツク体５群を搬送路２に平行して設置することが
できる。特に、従来より、上方に設置する単位体
に形成したブロツク体群の長手方向への連帯性を
整える連結手段技術が乏しく、従つて高精度をも
つて連帯した高さ調整が難かしく、これを遂行さ
せるには高精度で複雑な枠組を必要とし、しか
も、そこに取り付ける作業も高度の熟練と多大な
労力、ならびに大なる時間とを要し、簡単に高さ
変更など行うことができなかつたものであつた
が、この発明により、一旦、ブロツク支持体７の
樹立間隙を設定したならば、これをスケール化し
て樹立することにより、単にブロツク体５を押圧
挿入係止するだけで簡単に装着することができ、
且つ、装着されたブロツク体５同志がその形成さ
れた連続方向に対し互に張り合う力作用が生じて
強固な連帯現象が発生し、解体作業を施すまで設
定状態を強く維持することができるとうの効果あ
ることを特徴とするものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は搬送路の平面図、第２図はブロツク体
の平面図、第３図はブロツク支持体の斜視図、第
４図は第３図−線拡大断面図、第５図は被送
体の移送状態を説明するための側面図、第６図は
ブロツク体とブロツク支持体との係止状態を説明
するための拡大側面図、第７図は完成搬送路の部
分的側面図である。 １……被送体、２……搬送路、７……ブロツク
支持体、８……脚部、９……梁部、１０……ブロ
ツク係止面、１２……支持溝、１３……係止部、
１４……係合溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 半導体ウエハーである被送体を搬送する搬送
   媒体を気体あるいは液体の流体とし、これを噴出
   させる搬送部材の縦列設をもつて搬送路を形成
   し、この搬送路より前記流体の搬送媒体を噴出し
   て前記被送体を浮上させ、且つ、所望する方向に
   推進させ、更に搬送される被送体の走行位置上部
   に設置する前記と同様の搬送部材を設置する搬送
   機構において、前記搬送路をその幅方向に跨座で
   きる門型を２本の脚部とその上端に接続する梁部
   とからなるブロツク支持体を形成し、前記梁部の
   断面形状を上辺が短辺となる台形となるように前
   後面を斜面形成したブロツク係止面を設けると共
   に、前記２本の脚部の下端に、前記搬送路の両側
   外方に平行して設けた支持溝に係合できる係止部
   を設け、このようにしたブロツク支持体を前記支
   持溝に係合樹立して、前記の搬送部材をブロツク
   化したブロツク体の前後辺を前記樹立した各ブロ
   ツク支持体のブロツク係止面間に圧入係合させ
   て、搬送路より所望する設定高さ位置を保持して
   係止させ、且つ、複数のブロツク体を前記搬送路
   の所望する区間の所定位置に縦列して連設係合で
   きるようにして成ることを特徴とする半導体ウエ
   ハーの搬送機構における搬送部材の支持装置。 ２ ブロツク支持体の両脚部間の距離を一単位と
   して該ブロツク支持体を搬送路と平行して樹立で
   きるように脚部の係止部が挿入係合できる係合溝
   の多数を搬送路に平行して設けた支持溝に、該支
   持溝に対し直交するように設けて成ることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の半導体ウエハ
   ーの搬送機構における搬送部材の支持装置。