JPH0151163B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0151163B2
JPH0151163B2 JP60117649A JP11764985A JPH0151163B2 JP H0151163 B2 JPH0151163 B2 JP H0151163B2 JP 60117649 A JP60117649 A JP 60117649A JP 11764985 A JP11764985 A JP 11764985A JP H0151163 B2 JPH0151163 B2 JP H0151163B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding
groove
holding device
processed
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP60117649A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS613116A (ja
Inventor
Burahyaa Berunharuto
Bauman Kaaru
Shutaupu Heruman
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OC Oerlikon Balzers AG
Original Assignee
Balzers AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Balzers AG filed Critical Balzers AG
Publication of JPS613116A publication Critical patent/JPS613116A/ja
Publication of JPH0151163B2 publication Critical patent/JPH0151163B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Eyeglasses (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は多重保持装置に関し、例えば洗滌の後
に真空蒸着又は陰極スパツタによる被覆等の処理
を行なうべき担体例えば眼鏡レンズ等の保持装置
に担体を縁部で保持する溝を有する保持部材と押
圧バネとを設け、担体を溝に押圧する保持装置に
関する。
従来の技術 担体例えば眼鏡レンズの洗滌及び被覆のための
各種の保持装置が既知であり、レンズの縁部を取
付け、保持装置は装架後に選択的に洗滌装置又は
被覆装置に取付ける。この場合の問題点は、担体
面が完全に縁部まで被覆することができず、供持
装置が被覆すべき面を局部的に覆うこと更に被覆
の妨害となることである。特に眼鏡ガラスでは、
被覆が技術的に問題なく機能することだけでな
く、外見自体も大きな価値となるため、この欠点
は重大である。
既知の被覆装置として、保持装置を平板として
被覆すべき担体用の凹みを設け、複数の板を装置
の回転部に取付け、俗称カツプを形成する。この
種の保持装置は通常は所定の被覆装置のみに適合
し、被覆の前又は後に作業過程を必要とし、通常
は処理すべき物品を他の支持装置に移し、この支
持装置は他の装置内での別の処理に適合する。こ
の移送は処理過程での作業時間の附加費用であ
り、不可分の原価因子ではない。
処理すべき個々の担体が種々の大きさの場合に
は、担体の夫々の大きさに適合した特定保持部材
を使用することが多い。この保持部材に適合した
構造とした保持装置に取付け、被覆又は他の処理
過程を行なう装置に取付ける。明らかにこの方式
で順次保持部材又は保持装置に収容するには著し
い作業費を必要とする。
発明が解決しようとする問題点 本発明によつて前述の型式の多重保持装置を提
供し、各種形状及び大きさの担体を取付け得る融
通性を有し、各種処理過程を行なうための1個の
保持装置に1回の取付のみを行なうようにする。
そのため、取扱は簡単であり、作業費は節約され
る。
問題点を解決するための手段 上記目的を達成するために、本発明は、中心か
ら十字形に延びて4象限を規定する4本のアーム
部を有し、各アーム部の各象限に面する表面に被
処理基材を保持する溝を有する保持部材と、少な
くとも2本のアーム部の先端部から各象限に向か
つて延びるように設けた押圧バネ部材とからな
り、押圧バネ部材が被処理基材をアーム部の溝中
に押圧することによつて被処理基材を保持するこ
とを特徴とする被処理基材多重保持装置を提供す
る。
作 用 本発明による保持装置は各種の大きさの担体の
保持に適し、高い融通性がある。取扱は簡単であ
り、担体は同じ保持装置のまゝ各種処理ステーシ
ヨン、例えば被覆の前に処理すべき表面の化学的
洗滌、次の蒸着又は陰極スパツタによる被覆、を
順次通らせることができる。更に、眼鏡ガラス被
被の場合に次の利点がある。
保持部材の十字形は同時に4個の眼鏡ガラス即
ち2対の眼鏡用のガラスを保持し、眼鏡ガラスは
常に対として扱うため特に有利である。即ち、3
個、5個又は多数の個々のレンズを取付ける保持
装置に比較して取違えの危険がなく著しく確実で
ある。4個保持の装置は十分に小さく、通常のカ
ツプ状即ち球の断面形とした形状の被覆装置にも
収容でき、すべての被覆すべき面はカツプ状蒸発
池の曲面中心点から同じ距離にあり、均等に被覆
可能である。本発明の保持装置は4本のビームの
形成する十字状であり、各種の大きさの眼鏡ガラ
スレンズを収容でき、ガラスの交換及び両面被覆
は極めて簡単である。更に影のない縁なし被覆も
可能である。
実施例 図は本発明による眼鏡ガラス等の保持装置を示
し、十字形とし、ビーム1a〜1dを有する。4
本のビームは互に溶接し、溶接部は平滑表面と
し、できるだけ孔及び中空部をなくす。これによ
つて、洗滌装置の各種タンク内で溶接部の中空部
及び凹み内に薬品が残ることをできるだけ少なく
する。図示の両垂直ビーム1a,1cの上下端は
保持装置を洗滌装置、被覆装置等の処理装置に取
付けるための端部部材2を示し、図示の例では四
角形とする。処理ステーシヨンでの把持装置は適
合した形状とする。
十字形の横ビーム1b,1dは夫々板状フラン
ジ3と連結し、フランジ3にばね4a〜4dを取
付ける。ビームの溝5内に係合する眼鏡ガラスレ
ンズ等の被覆すべき担体はばねによつてビームに
押圧され、確実に保持される。ばねにも溝状断面
部を設け、ガラスは確実に保持され、縁部のみを
保持し、所定レンズ面は覆はない寸法とする。押
圧ばねは弾性で、各種洗滌装置内に浸漬可能とす
る。強固に互に溶接したビームによつて極めて安
定した保持が得られ、確実な取扱搬送が可能であ
り、ガラスが落下する危険はない。
本発明は各種の変型が可能である。端部部材2
は把持装置に適合した他の形状とすることもでき
る。押圧ばねも他の形状とすることができる。ビ
ーム及びばねの溝の形状は処理すべき担体、眼鏡
ガラス、レンズ、フイルター板等に適合させて
夫々の場合に適した形状とすることができる。
発明の効果 本発明は洗滌後に被覆すべき担体、例えば眼鏡
ガラスを4個同時に保持する保持装置であつて、
十字形のビームによつて形成された4個の象限に
夫々ビームの溝にばねによつて押圧保持する。
順次の処理過程を確実に保持搬送する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による眼鏡レンズ等の保持装置
の正面図、第2図は第1図のB−B線に沿う断面
図、第3図は第1図のA−A線に沿う断面図であ
り、溝の詳細を示す。 1a〜1d…ビーム、2…端部部材、3…板、
4a〜4d…ばね、5…溝、11…眼鏡レンズ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 中心から十字形に延びて4象限を規定する4
    本のアーム部1a〜1dを有し、各アーム部の各
    象限に面する表面に被処理基材11を保持する溝
    5を有する保持部材と、少なくとも2本のアーム
    部の先端部から各象限に向かつて延びるように設
    けた押圧バネ部材4a〜4dとからなり、押圧バ
    ネ部材が被処理基材をアーム部の溝中に押圧する
    ことによつて被処理基材を保持することを特徴と
    する被処理基材多重保持装置。 2 前記押圧バネ部材が各象限の被処理基材を保
    持する溝状断面を有する特許請求の範囲第1項記
    載の被処理基材多重保持装置。
JP60117649A 1984-05-30 1985-05-30 洗滌の後の真空蒸着又は陰極スパツタによる被覆等の処理を行なうべき担体の多重保持装置 Granted JPS613116A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH2652/84A CH659485A5 (de) 1984-05-30 1984-05-30 Mehrfach-haltevorrichtung fuer zu behandelnde substrate.
CH2652/84-9 1984-05-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS613116A JPS613116A (ja) 1986-01-09
JPH0151163B2 true JPH0151163B2 (ja) 1989-11-01

Family

ID=4238562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60117649A Granted JPS613116A (ja) 1984-05-30 1985-05-30 洗滌の後の真空蒸着又は陰極スパツタによる被覆等の処理を行なうべき担体の多重保持装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4643128A (ja)
JP (1) JPS613116A (ja)
CH (1) CH659485A5 (ja)
DE (1) DE3513137A1 (ja)
FR (1) FR2566433B1 (ja)
GB (1) GB2159541B (ja)
NL (1) NL8501220A (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
DE3513137A1 (de) 1985-12-05
NL8501220A (nl) 1985-12-16
US4643128A (en) 1987-02-17
CH659485A5 (de) 1987-01-30
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FR2566433B1 (fr) 1988-07-29
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GB2159541A (en) 1985-12-04
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