JPH0151923B2 - - Google Patents
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- JPH0151923B2 JPH0151923B2 JP17892582A JP17892582A JPH0151923B2 JP H0151923 B2 JPH0151923 B2 JP H0151923B2 JP 17892582 A JP17892582 A JP 17892582A JP 17892582 A JP17892582 A JP 17892582A JP H0151923 B2 JPH0151923 B2 JP H0151923B2
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- JP
- Japan
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- spindle
- reference position
- main body
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- displacement measuring
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、変位測定方法および装置に係り、特
に、当接型直線変位測定機(以下当接型ゲージと
称する)を多数並列配置して立体物の形状を測定
する際に用いるのに好適な、本体ケースに軸方向
移動自在、且つ、先端が突出して取付けられたス
ピンドルの先端を被測定物に当接した時の、前記
スピンドルの基準位置からの相対変位量を検出す
ると共に、緩衝手段を用いて前記スピンドルのス
トロークを規制するようにした変位測定方法およ
び装置の改良に関する。
に、当接型直線変位測定機(以下当接型ゲージと
称する)を多数並列配置して立体物の形状を測定
する際に用いるのに好適な、本体ケースに軸方向
移動自在、且つ、先端が突出して取付けられたス
ピンドルの先端を被測定物に当接した時の、前記
スピンドルの基準位置からの相対変位量を検出す
ると共に、緩衝手段を用いて前記スピンドルのス
トロークを規制するようにした変位測定方法およ
び装置の改良に関する。
従来、被測定物の高さ或いは長さ等を測定する
装置として、第1図及び第2図に示したように、
本体ケース12と、該本体ケース12に軸方向移
動自在、且つ、先端14aが突出して取付けら
れ、被測定物に当接して変位されるスピンドル1
4と、該スピンドル14を突出方向(第1図の下
方向)に付勢して測定力を付加するための引張り
ばね16と、前記スピンドル14のストロークを
規制するためのストツパ18と、前記スピンドル
14の変位量を検出して、これを電気信号として
出力する検出器20と、該検出器20出力の電気
信号に基いて前記スピンドル14の基準位置から
の相対変位量を表示するデジタル表示器22とを
有し、前記スピンドル14の先端を被測定物に当
接した時の、前記スピンドル14の基準位置から
の相対変位量を検出し、表示するようにした、い
わゆる電気式の当接型ゲージ10が知られてい
る。
装置として、第1図及び第2図に示したように、
本体ケース12と、該本体ケース12に軸方向移
動自在、且つ、先端14aが突出して取付けら
れ、被測定物に当接して変位されるスピンドル1
4と、該スピンドル14を突出方向(第1図の下
方向)に付勢して測定力を付加するための引張り
ばね16と、前記スピンドル14のストロークを
規制するためのストツパ18と、前記スピンドル
14の変位量を検出して、これを電気信号として
出力する検出器20と、該検出器20出力の電気
信号に基いて前記スピンドル14の基準位置から
の相対変位量を表示するデジタル表示器22とを
有し、前記スピンドル14の先端を被測定物に当
接した時の、前記スピンドル14の基準位置から
の相対変位量を検出し、表示するようにした、い
わゆる電気式の当接型ゲージ10が知られてい
る。
この電気式の当接型ゲージ10においては、例
えば前記検出器20として、前記スピンドル14
に取付けられた、スピンドル14と共に移動す
る、光学格子が形成されたメインスケール26
と、基板27を介して前記本体ケース12側の前
記メインスケール26と対向する位置に取付けら
れた、同じく光学格子が形成されたインデツクス
スケール28と、第2図の裏側に配置された光源
(図示省略)から、前記メインスケール26及び
インデツクススケール28を透過してきた光の明
暗を検出するための受光素子30とからなる光電
型エンコーダが採用されており、該光電型エンコ
ーダにより検出される、前記スピンドル14の基
準位置からの相対変位量を、例えばデジタル表示
器22でデジタル表示するようにされている。な
お、通常は、デジタル表示器22が任期の位置で
零表示できるよう、零セツトスイツチ32を含む
零クリア回路が設けられている。
えば前記検出器20として、前記スピンドル14
に取付けられた、スピンドル14と共に移動す
る、光学格子が形成されたメインスケール26
と、基板27を介して前記本体ケース12側の前
記メインスケール26と対向する位置に取付けら
れた、同じく光学格子が形成されたインデツクス
スケール28と、第2図の裏側に配置された光源
(図示省略)から、前記メインスケール26及び
インデツクススケール28を透過してきた光の明
暗を検出するための受光素子30とからなる光電
型エンコーダが採用されており、該光電型エンコ
ーダにより検出される、前記スピンドル14の基
準位置からの相対変位量を、例えばデジタル表示
器22でデジタル表示するようにされている。な
お、通常は、デジタル表示器22が任期の位置で
零表示できるよう、零セツトスイツチ32を含む
零クリア回路が設けられている。
図において、34は、電源スイツチ、36は、
必要に応じて使用される交流電源用アダプタ、3
8は、前記スピンドル14に連結された横方向の
連結部材40のスピンドル14と反対側の端部を
上下方向に摺動案内するための、回り止め用ガイ
ドである。
必要に応じて使用される交流電源用アダプタ、3
8は、前記スピンドル14に連結された横方向の
連結部材40のスピンドル14と反対側の端部を
上下方向に摺動案内するための、回り止め用ガイ
ドである。
前記のような当接型ゲージ10によれば、その
電源を遮断しない限り、零セツトスイツチ32を
押すことにより任意の位置で設定された基準位置
を零として、該基準位置からの相対変位量が土の
符号を含めてデジタル表示されるという特徴を有
する。
電源を遮断しない限り、零セツトスイツチ32を
押すことにより任意の位置で設定された基準位置
を零として、該基準位置からの相対変位量が土の
符号を含めてデジタル表示されるという特徴を有
する。
一方近年、前記当接型ゲージの各種測定への応
用技術の発展と共に、第3図に示す如く、フレー
ム50に並列状態で固定支持された多数の当接型
ゲージ10を用いて、定盤52上に載置された立
体物54の形状を基準体と比較測定しようとする
試みがなされている。しかしながら、従来の当接
型ゲージをそのまま用いたのでは、検出器やデジ
タル表示器が、電源を遮断した際に零クリアされ
てしまう。従つて、定盤52上に基準体を載置し
て基準位置を設定しても、基準体から被測定物に
置き換える際に当接型ゲージ10の電源が遮断さ
れると、各表示値が零となり、当接型ゲージ10
の基準位置が消滅してしまうため、正確な比較測
定を行うことが困難であつた。
用技術の発展と共に、第3図に示す如く、フレー
ム50に並列状態で固定支持された多数の当接型
ゲージ10を用いて、定盤52上に載置された立
体物54の形状を基準体と比較測定しようとする
試みがなされている。しかしながら、従来の当接
型ゲージをそのまま用いたのでは、検出器やデジ
タル表示器が、電源を遮断した際に零クリアされ
てしまう。従つて、定盤52上に基準体を載置し
て基準位置を設定しても、基準体から被測定物に
置き換える際に当接型ゲージ10の電源が遮断さ
れると、各表示値が零となり、当接型ゲージ10
の基準位置が消滅してしまうため、正確な比較測
定を行うことが困難であつた。
特に、比較的大きな被測定物を基準体に対して
比較測定する場合には、被測定物の搬入出を容易
とするために、搬入出時に電源を積極的に切るこ
とがある。又、停電、操作ミスや2日間にわたる
測定等で電源を切らざるを得ない場合もある。
比較測定する場合には、被測定物の搬入出を容易
とするために、搬入出時に電源を積極的に切るこ
とがある。又、停電、操作ミスや2日間にわたる
測定等で電源を切らざるを得ない場合もある。
なお、当接型ゲージ10には、通常、スピンド
ル14のストロークを規制するためのストツパ1
8が設けられているので、スピンドル14が最大
突出位置にある状態(以下静止状態と称する)を
基準位置として採用することが考えられる。しか
しながら、一般に検出器を光電型エンコーダとし
た場合、或いは他の型とした場合のいずれも、精
度上や被測定物の保護等の必要から、ストローク
エンドに緩衝手段を設ける必要があり、通常、こ
の緩衝手段は、コイルばねやゴム円筒等を利用し
ている。従つて、静止状態におけるスピンドル1
4の最大突出位置の再現性が悪く、例えばリニヤ
ゲージで要求されるμmオーダーの再現性を得る
ことができず、従つて、静止状態を基準位置とす
ることは困難であつた。
ル14のストロークを規制するためのストツパ1
8が設けられているので、スピンドル14が最大
突出位置にある状態(以下静止状態と称する)を
基準位置として採用することが考えられる。しか
しながら、一般に検出器を光電型エンコーダとし
た場合、或いは他の型とした場合のいずれも、精
度上や被測定物の保護等の必要から、ストローク
エンドに緩衝手段を設ける必要があり、通常、こ
の緩衝手段は、コイルばねやゴム円筒等を利用し
ている。従つて、静止状態におけるスピンドル1
4の最大突出位置の再現性が悪く、例えばリニヤ
ゲージで要求されるμmオーダーの再現性を得る
ことができず、従つて、静止状態を基準位置とす
ることは困難であつた。
本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなさ
れたもので、積極的に又は消極的に電源が遮断さ
れても基準位置を確実に再現することができ、し
かも、スピンドルの有効ストロークを殆んど制限
することのない変位測定方法および装置を提供す
ることを目的とする。
れたもので、積極的に又は消極的に電源が遮断さ
れても基準位置を確実に再現することができ、し
かも、スピンドルの有効ストロークを殆んど制限
することのない変位測定方法および装置を提供す
ることを目的とする。
本発明は、本体ケースに軸方向移動自在、且
つ、先端が突出して取付けられたスピンドルの先
端を被測定物に当接した時の、前記スピンドルの
基準位置からの相対変位量を検出すると共に、緩
衝手段を用いて前記スピンドルのストロークを規
制するようにした変位測定方法において、前記緩
衝手段が作動する直前のスピンドル位置を、前記
基準位置とするようにして、前記目的を達成した
ものである。
つ、先端が突出して取付けられたスピンドルの先
端を被測定物に当接した時の、前記スピンドルの
基準位置からの相対変位量を検出すると共に、緩
衝手段を用いて前記スピンドルのストロークを規
制するようにした変位測定方法において、前記緩
衝手段が作動する直前のスピンドル位置を、前記
基準位置とするようにして、前記目的を達成した
ものである。
本発明は、又、本体ケースと、該本体ケースに
軸方向移動自在、且つ、先端が突出して取付けら
れ、被測定物に当接して変位されるスピンドル
と、該スピンドルを突出方向に付勢して測定力を
付加するための付勢手段と、前記スピンドルの最
大突出位置を規制するための緩衝手段と、前記ス
ピンドルの変位量を検出して、これを電気信号と
して出力する検出器と、該検出器出力の電気信号
に基いて前記スピンドルの基準位置からの相対変
位量を表示する表示器とを有する変位測定装置に
おいて、前記スピンドルが前記緩衝手段に当接す
る直前のスピンドル位置を検出するための基準位
置検出手段を設け、該基準位置検出手段が作動し
た時のスピンドル位置を前記基準位置とするよう
にして、前記目的を達成したものである。
軸方向移動自在、且つ、先端が突出して取付けら
れ、被測定物に当接して変位されるスピンドル
と、該スピンドルを突出方向に付勢して測定力を
付加するための付勢手段と、前記スピンドルの最
大突出位置を規制するための緩衝手段と、前記ス
ピンドルの変位量を検出して、これを電気信号と
して出力する検出器と、該検出器出力の電気信号
に基いて前記スピンドルの基準位置からの相対変
位量を表示する表示器とを有する変位測定装置に
おいて、前記スピンドルが前記緩衝手段に当接す
る直前のスピンドル位置を検出するための基準位
置検出手段を設け、該基準位置検出手段が作動し
た時のスピンドル位置を前記基準位置とするよう
にして、前記目的を達成したものである。
更に、前記基準位置検出手段を、本体ケースに
取付けられた板ばねと、同じく本体ケースに取付
けられた、前記スピンドルが最大突出位置近傍に
ない時は、前記板ばねと当接している電極片と、
前記スピンドルに取付けられた、スピンドルが前
記緩衝手段に当接する直前の位置で、前記板ばね
と電極片の接触を断つための係合片とから構成し
て、基準位置を容易に検出できるようにしたもの
である。
取付けられた板ばねと、同じく本体ケースに取付
けられた、前記スピンドルが最大突出位置近傍に
ない時は、前記板ばねと当接している電極片と、
前記スピンドルに取付けられた、スピンドルが前
記緩衝手段に当接する直前の位置で、前記板ばね
と電極片の接触を断つための係合片とから構成し
て、基準位置を容易に検出できるようにしたもの
である。
又、前記板ばねの厚さを、支持部と先端部で異
なるものとし、先端部の板厚を支持部の板厚より
大として、スピンドルの動きを余り妨げることな
く、基準位置を高精度で検出できるようにしたも
のである。
なるものとし、先端部の板厚を支持部の板厚より
大として、スピンドルの動きを余り妨げることな
く、基準位置を高精度で検出できるようにしたも
のである。
更に、前記電極片を、スピンドルの軸線方向に
位置調整可能として、基準位置を調整可能とした
ものである。
位置調整可能として、基準位置を調整可能とした
ものである。
又、前記緩衝手段を、本体ケースに固定され
た、弾性部材からなる片持梁状薄肉片として、簡
単な構成で、スピンドルの有効ストロークを損う
ことなく、高い緩衝性能が得られるようにしたも
のである。
た、弾性部材からなる片持梁状薄肉片として、簡
単な構成で、スピンドルの有効ストロークを損う
ことなく、高い緩衝性能が得られるようにしたも
のである。
以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
本実施例は、第4図乃至第7図に示す如く、本
体ケース12と、該本体ケース12に軸方向移動
自在、且つ、先端14aが突出して取付けられ、
被測定物に当接して変位されるスピンドル14
と、該スピンドル14の略中央部と前記本体ケー
ス12間に張架され、前記スピンドル14を突出
方向に付勢して測定力を付加するための引張りば
ね16と、前記スピンドル14の最大突出位置
(図の下限位置)を規制するための、緩衝手段を
兼ねた下方のクツシヨンストツパ60と、前記ス
ピンドル22の最大引込位置(図の上限位置)を
規制するための、緩衝手段を兼ねた上方のクツシ
ヨンストツパ62と、前記スピンドル14の変位
量を検出し、これを電気信号として出力するため
の、前記スピンドル14に取付けられたメインス
ケール26、前記本体ケース12側に取付けられ
たインデツクススケール28、光源(図示省略)
および受光素子30を含む光電式エンコーダから
なる検出器20と、該検出器20出力の電気信号
に基いて前記スピンドル14の基準位置からの相
対変位量を表示するためのデジタル表示器(図示
省略)とを有する当接型ゲージ10において、前
記スピンドル14が前記下方のクツシヨンストツ
パ60に当接する直前のスピンドル位置を検出す
るための基準位置検出器64を設け、該基準位置
検出器64が作動した時のスピンドル位置を前記
基準位置とするようにしたものである。
体ケース12と、該本体ケース12に軸方向移動
自在、且つ、先端14aが突出して取付けられ、
被測定物に当接して変位されるスピンドル14
と、該スピンドル14の略中央部と前記本体ケー
ス12間に張架され、前記スピンドル14を突出
方向に付勢して測定力を付加するための引張りば
ね16と、前記スピンドル14の最大突出位置
(図の下限位置)を規制するための、緩衝手段を
兼ねた下方のクツシヨンストツパ60と、前記ス
ピンドル22の最大引込位置(図の上限位置)を
規制するための、緩衝手段を兼ねた上方のクツシ
ヨンストツパ62と、前記スピンドル14の変位
量を検出し、これを電気信号として出力するため
の、前記スピンドル14に取付けられたメインス
ケール26、前記本体ケース12側に取付けられ
たインデツクススケール28、光源(図示省略)
および受光素子30を含む光電式エンコーダから
なる検出器20と、該検出器20出力の電気信号
に基いて前記スピンドル14の基準位置からの相
対変位量を表示するためのデジタル表示器(図示
省略)とを有する当接型ゲージ10において、前
記スピンドル14が前記下方のクツシヨンストツ
パ60に当接する直前のスピンドル位置を検出す
るための基準位置検出器64を設け、該基準位置
検出器64が作動した時のスピンドル位置を前記
基準位置とするようにしたものである。
前記基準位置検出器64は、ねじ66により、
基板68を介して、一端(第4図の左端)が本体
ケース12側に取付けられた板ばね70(第4
図、第6図参照)と、絶縁ブツシユ72及び基板
68を介して同じく本体ケース12側に取付けら
れた、前記スピンドル14が最大突出位置近傍に
ない時(第4図に破線で示す板ばね70が略直線
状の時)は、前記板ばね70の先端部と当接して
いる、一対の円柱状電極片74,76(第4図参
照)と、前記スピンドル14側に取付けられた、
スピンドル14が前記下方のクツシヨンストツパ
60に当接する直前の位置で(第4図及び第7図
に実線で示す板ばね70の右端が下方に押された
時)、前記板ばね70と電極片74,76の接触
を断つための、略逆L字形状の係合片78(第4
図、第7図参照)とから構成されている。
基板68を介して、一端(第4図の左端)が本体
ケース12側に取付けられた板ばね70(第4
図、第6図参照)と、絶縁ブツシユ72及び基板
68を介して同じく本体ケース12側に取付けら
れた、前記スピンドル14が最大突出位置近傍に
ない時(第4図に破線で示す板ばね70が略直線
状の時)は、前記板ばね70の先端部と当接して
いる、一対の円柱状電極片74,76(第4図参
照)と、前記スピンドル14側に取付けられた、
スピンドル14が前記下方のクツシヨンストツパ
60に当接する直前の位置で(第4図及び第7図
に実線で示す板ばね70の右端が下方に押された
時)、前記板ばね70と電極片74,76の接触
を断つための、略逆L字形状の係合片78(第4
図、第7図参照)とから構成されている。
前記板ばね70は、その厚さが支持部と先端部
で異なるものとされ、先端部の板厚が支持部の肉
厚より大とされているので、前記係合片78によ
り電極片74,76との接触が断たれる位置の再
現性が非常に良好なものとなつている。
で異なるものとされ、先端部の板厚が支持部の肉
厚より大とされているので、前記係合片78によ
り電極片74,76との接触が断たれる位置の再
現性が非常に良好なものとなつている。
又、前記電極片74,76は、その位置がスピ
ンドル14の軸線方向に位置調整可能とされ、基
準位置を容易に調整できるようにされている。
ンドル14の軸線方向に位置調整可能とされ、基
準位置を容易に調整できるようにされている。
前記クツシヨンストツパ60,62は、いずれ
も、本体ケース12に一方の腕部が固定された、
弾性部材、例えばゴムからなる片持梁状薄肉片と
されている。従つて、スピンドル14の有効スト
ロークを殆ど損うことなく、良好な緩衝作用が得
られる。
も、本体ケース12に一方の腕部が固定された、
弾性部材、例えばゴムからなる片持梁状薄肉片と
されている。従つて、スピンドル14の有効スト
ロークを殆ど損うことなく、良好な緩衝作用が得
られる。
図において、80は、各種電気回路が配設され
た回路基板である。
た回路基板である。
以下作用を説明する。
本発明に係る当接型ゲージ10を、前出第3図
に示した如く、フレーム50に多数並列固定して
立体物16の形状を測定する場合を考えると、ま
ず、定盤52上に基準体を載置して、その時のス
ピンドル14の変位量をデジタル表示器22から
読取る。この時に際して、定盤52上に基準体を
載置する前に、各当接型ゲージ10の電源をオン
としておけば、各当接型ゲージ10のスピンドル
14は、それぞれその最大突出位置にあるため、
基準位置検出器64が必ず作動することになる。
従つて、基準位置検出器64によつて検出された
絶対基準位置をもとに、基準体の寸法が測定され
る。
に示した如く、フレーム50に多数並列固定して
立体物16の形状を測定する場合を考えると、ま
ず、定盤52上に基準体を載置して、その時のス
ピンドル14の変位量をデジタル表示器22から
読取る。この時に際して、定盤52上に基準体を
載置する前に、各当接型ゲージ10の電源をオン
としておけば、各当接型ゲージ10のスピンドル
14は、それぞれその最大突出位置にあるため、
基準位置検出器64が必ず作動することになる。
従つて、基準位置検出器64によつて検出された
絶対基準位置をもとに、基準体の寸法が測定され
る。
ついで、電源を遮断した状態で、定盤52上か
ら当接型ゲージ12をフレーム50ごと取りはず
し、定盤52上に被測定物を載置する。更に、フ
レーム50を定盤52上に戻す前に、各当接型ゲ
ージ10の電源を再びオンとすると、この時にも
各当接型ゲージ10のスピンドル14は、それぞ
れその最大突出位置にあるため、スピンドル14
の引込み動作で必ず基準位置検出器64が動作
し、当接型ゲージ10は絶対基準位置を基に変位
量を測定することになる。従つて、被測定物又は
当接型ゲージの搬送等に際して、当接型ゲージの
電源を遮断したり、或いは、停電、操作ミス等に
より電源が遮断された場合においても、同一の絶
体基準位置をもとに、正確な比較測定を行うこと
が可能となる。
ら当接型ゲージ12をフレーム50ごと取りはず
し、定盤52上に被測定物を載置する。更に、フ
レーム50を定盤52上に戻す前に、各当接型ゲ
ージ10の電源を再びオンとすると、この時にも
各当接型ゲージ10のスピンドル14は、それぞ
れその最大突出位置にあるため、スピンドル14
の引込み動作で必ず基準位置検出器64が動作
し、当接型ゲージ10は絶対基準位置を基に変位
量を測定することになる。従つて、被測定物又は
当接型ゲージの搬送等に際して、当接型ゲージの
電源を遮断したり、或いは、停電、操作ミス等に
より電源が遮断された場合においても、同一の絶
体基準位置をもとに、正確な比較測定を行うこと
が可能となる。
本実施例においては、スピンドルの最大突出位
置近傍に基準位置検出器を設けているので、当接
型ゲージが測定状態にない場合には、必ずその表
示値が絶対基準位置で校正されることになり、基
準位置による校正が、確実に行われる。なお、基
準位置を得る方法はこれに限定されず、例えば、
スピンドルの最大引込位置近傍或いは中央部近傍
に基準位置検出器を設けて、基準位置とすること
も勿論可能である。
置近傍に基準位置検出器を設けているので、当接
型ゲージが測定状態にない場合には、必ずその表
示値が絶対基準位置で校正されることになり、基
準位置による校正が、確実に行われる。なお、基
準位置を得る方法はこれに限定されず、例えば、
スピンドルの最大引込位置近傍或いは中央部近傍
に基準位置検出器を設けて、基準位置とすること
も勿論可能である。
又、本実施例においては、基準位置検出手段と
して、板ばね、電極片および係合片等から構成さ
れる機械的な基準位置検出器を用いているので、
構成が単純であり、電気回路側の負担も少ない。
なお、基準位置検出手段の構成は、これに限定さ
れず、例えばメインスケールの途中に、絶対基準
位置検出用のランダムパターン状の目盛縞を設
け、該目盛縞を利用して、基準位置を検出するこ
とも可能である。
して、板ばね、電極片および係合片等から構成さ
れる機械的な基準位置検出器を用いているので、
構成が単純であり、電気回路側の負担も少ない。
なお、基準位置検出手段の構成は、これに限定さ
れず、例えばメインスケールの途中に、絶対基準
位置検出用のランダムパターン状の目盛縞を設
け、該目盛縞を利用して、基準位置を検出するこ
とも可能である。
前記実施例においては、本発明が、光電式エン
コーダを有する検出器を含む当接型の直線変位測
定機に適用されていたが、本発明の適用範囲はこ
れに限定されず、光電式エンコーダ以外のエンコ
ーダ、例えば磁気式エンコーダを含むものや、直
線変位測定機以外の変位測定装置にも同様に適用
可能である。更に、デジタル表示の他、プリンタ
等によつて測定結果を表示するようにしたものに
も同様に適用可能である。
コーダを有する検出器を含む当接型の直線変位測
定機に適用されていたが、本発明の適用範囲はこ
れに限定されず、光電式エンコーダ以外のエンコ
ーダ、例えば磁気式エンコーダを含むものや、直
線変位測定機以外の変位測定装置にも同様に適用
可能である。更に、デジタル表示の他、プリンタ
等によつて測定結果を表示するようにしたものに
も同様に適用可能である。
以上説明したとうり、本発明によれば、電源が
遮断されても基準位置を確実に再現することがで
き、しかも、スピンドルの有効ストロークを殆ん
ど制限することがないという優れた効果を有す
る。
遮断されても基準位置を確実に再現することがで
き、しかも、スピンドルの有効ストロークを殆ん
ど制限することがないという優れた効果を有す
る。
第1図は、従来の当接型直線変位測定機を示す
正面図、第2図は、同じく拡大正断面図、第3図
は、当接型直線変位測定機を多数並列配置して立
体物の形状を測定している状態を示す正面図、第
4図は、本発明に係る変位測定装置の実施例を示
す正断面図、第5図は、同じく側断面図、第6図
は、第4図の−線に沿う断面図、第7図は、
同じく第4図の−線に沿う断面図である。 10……当接型直線変位測定機、12……本体
ケース、14……スピンドル、16……引張りば
ね、20……検出器、60……クツシヨンストツ
パ、64……基準位置検出器、70……板ばね、
74,76……電極片、78……係合片。
正面図、第2図は、同じく拡大正断面図、第3図
は、当接型直線変位測定機を多数並列配置して立
体物の形状を測定している状態を示す正面図、第
4図は、本発明に係る変位測定装置の実施例を示
す正断面図、第5図は、同じく側断面図、第6図
は、第4図の−線に沿う断面図、第7図は、
同じく第4図の−線に沿う断面図である。 10……当接型直線変位測定機、12……本体
ケース、14……スピンドル、16……引張りば
ね、20……検出器、60……クツシヨンストツ
パ、64……基準位置検出器、70……板ばね、
74,76……電極片、78……係合片。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 本体ケースに軸方向移動自在、且つ、先端が
突出して取付けられたスピンドルの先端を被測定
物に当接した時の、前記スピンドルの基準位置か
らの相対変位量を検出すると共に、緩衝手段を用
いて前記スピンドルのストロークを規制するよう
にした変位測定方法において、前記緩衝手段が作
動する直前のスピンドル位置を、前記基準位置と
するようにしたことを特徴とする変位測定方法。 2 本体ケースと、該本体ケースに軸方向移動自
在、且つ、先端が突出して取付けられ、被測定物
に当接して変位されるスピンドルと、該スピンド
ルを突出方向に付勢して測定力を付加するための
付勢手段と、前記スピンドルの最大突出位置を規
制するための緩衝手段と、前記スピンドルの変位
量を検出して、これを電気信号として出力する検
出器と、該検出器出力の電気信号に基いて前記ス
ピンドルの基準位置からの相対変位量を表示する
表示器とを有する変位測定装置において、前記ス
ピンドルが前記緩衝手段に当接する直前のスピン
ドル位置を検出するための基準位置検出手段を設
け、該基準位置検出手段が作動した時のスピンド
ル位置を前記基準位置とするようにしたことを特
徴とする変位測定装置。 3 前記基準位置検出手段が、本体ケースに取付
けられた板ばねと、同じく本体ケースに取付けら
れた、前記スピンドルが最大突出位置近傍にない
時は、前記板ばねと当接している電極片と、前記
スピンドルに取付けられた、スピンドルが前記緩
衝手段に当接する直前の位置で、前記板ばねと電
極片の接触を断つための係合片とから構成されて
いる特許請求の範囲第2項に記載の変位測定装
置。 4 前記板ばねの厚さが、支持部と先端部で異な
るものとされ、先端部の板厚が支持部の板厚より
大とされている特許請求の範囲第3項に記載の変
位測定装置。 5 前記電極片が、スピンドルの軸線方向に位置
調整可能とされている特許請求の範囲第3項に記
載の変位測定装置。 6 前記緩衝手段が、本体ケースに固定された、
弾性部材からなる片持梁状薄肉片である特許請求
の範囲第2項に記載の変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17892582A JPS5967412A (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | 変位測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17892582A JPS5967412A (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | 変位測定方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5967412A JPS5967412A (ja) | 1984-04-17 |
| JPH0151923B2 true JPH0151923B2 (ja) | 1989-11-07 |
Family
ID=16057038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17892582A Granted JPS5967412A (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | 変位測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5967412A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105091700A (zh) * | 2015-08-07 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种测量工具 |
-
1982
- 1982-10-12 JP JP17892582A patent/JPS5967412A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5967412A (ja) | 1984-04-17 |
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