JPH0154852B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0154852B2 JPH0154852B2 JP56104998A JP10499881A JPH0154852B2 JP H0154852 B2 JPH0154852 B2 JP H0154852B2 JP 56104998 A JP56104998 A JP 56104998A JP 10499881 A JP10499881 A JP 10499881A JP H0154852 B2 JPH0154852 B2 JP H0154852B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- opening
- closing
- mounting shaft
- diffusion furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H10P72/3311—Horizontal transfer of a batch of workpieces
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は拡散炉におけるチユーブ入口開閉装置
に関するものである。
に関するものである。
従来、半導体ウエハの拡散処理に用いられる拡
散炉のチユーブ入口開閉は、人手に依つており、
作業者がすり合せ式のキヤツプをチユーブ入口に
挿し込むことにより実施されている。しかしこの
作業は高温および高所での作業であることから危
険が多いため、最近ではそのチユーブ入口開閉を
機械によつて行なつている。
散炉のチユーブ入口開閉は、人手に依つており、
作業者がすり合せ式のキヤツプをチユーブ入口に
挿し込むことにより実施されている。しかしこの
作業は高温および高所での作業であることから危
険が多いため、最近ではそのチユーブ入口開閉を
機械によつて行なつている。
第１図はその拡散炉のチユーブ入口開閉装置の
一例を示し、該装置では、チユーブ入口の開閉動
作が、チユーブ１の中心軸に直交する取付軸２に
取着された開閉板３を、図示しない駆動手段によ
つて矢印ａに示す方向に回動することによつてな
されている。そのため、取付軸２から最遠となる
開閉板先端部は破線ｂのような軌跡をとつて運動
するので、その破線ｂの左側の領域には、ボート
受け４を支持する支工５を設けることができな
い。
一例を示し、該装置では、チユーブ入口の開閉動
作が、チユーブ１の中心軸に直交する取付軸２に
取着された開閉板３を、図示しない駆動手段によ
つて矢印ａに示す方向に回動することによつてな
されている。そのため、取付軸２から最遠となる
開閉板先端部は破線ｂのような軌跡をとつて運動
するので、その破線ｂの左側の領域には、ボート
受け４を支持する支工５を設けることができな
い。
ところで、半導体ウエハ６を塔載するボート７
は、一般に、熱容量を低限するなどの目的から出
来る限り短く形成されている。したがつて、上記
のような開閉装置を具備する拡散炉のチユーブ１
にボートを挿入する場合には、開閉板３が開かれ
た後に支工５をチユーブ側へ移動させるか、さも
なくば上記領域に新たにボート７を保持させるた
めの昇降手段（図示せず）を設ける必要がある。
は、一般に、熱容量を低限するなどの目的から出
来る限り短く形成されている。したがつて、上記
のような開閉装置を具備する拡散炉のチユーブ１
にボートを挿入する場合には、開閉板３が開かれ
た後に支工５をチユーブ側へ移動させるか、さも
なくば上記領域に新たにボート７を保持させるた
めの昇降手段（図示せず）を設ける必要がある。
そのため、装置全体のコストの上昇や信頼性の
低下を招来し、さらには、装置の保守点検の回数
を増やさなければならないなどの難点があつた。
低下を招来し、さらには、装置の保守点検の回数
を増やさなければならないなどの難点があつた。
本発明はかかる難点を解消するためなされたも
ので、拡散炉におけるチユーブの中心軸に平行し
て設けた取付軸に、前記チユーブ入口を開閉する
ための開閉板を取着すると共に、該取付軸をその
軸線の回りに回動させかつ前記取付軸をその軸線
方向に往復動させるための駆動手段を連結させた
ことを特徴とする拡散炉におけるチユーブ入口開
閉装置を提供するものである。
ので、拡散炉におけるチユーブの中心軸に平行し
て設けた取付軸に、前記チユーブ入口を開閉する
ための開閉板を取着すると共に、該取付軸をその
軸線の回りに回動させかつ前記取付軸をその軸線
方向に往復動させるための駆動手段を連結させた
ことを特徴とする拡散炉におけるチユーブ入口開
閉装置を提供するものである。
以下、本発明の詳細を図面に示す実施例に基づ
いて説明する。なお、以下の図面で、第１図と同
一部材は同一符号で表わすものとする。
いて説明する。なお、以下の図面で、第１図と同
一部材は同一符号で表わすものとする。
第２図は、本発明に係るチユーブ入口開閉装置
を示し、該装置では、チユーブ１の開閉を行なう
ための開閉板８が、チユーブ１の中心軸に平行に
設けた取付軸９に取着されている。また、取付軸
９は、該取付軸９をその軸線の回りに回動させか
つ該取付軸９をその軸線方向に往復動させるため
の駆動手段（図示せず）に連結されている。例え
ば、この駆動手段としては、エアーシリンダ等が
用いられる。
を示し、該装置では、チユーブ１の開閉を行なう
ための開閉板８が、チユーブ１の中心軸に平行に
設けた取付軸９に取着されている。また、取付軸
９は、該取付軸９をその軸線の回りに回動させか
つ該取付軸９をその軸線方向に往復動させるため
の駆動手段（図示せず）に連結されている。例え
ば、この駆動手段としては、エアーシリンダ等が
用いられる。
而して、かかるチユーブ入口開閉装置では、半
導体ウエハ６を塔載するボート７をチユーブ１に
挿入するにあたつては、第３図のように開閉板８
を手前側に位置させたた状態で行なう。そして、
ボート７がチユーブ１に挿入された後、駆動手段
によつて取付軸９を回動させ、取付板８をチユー
ブ１の中心と致心させる。続いて、該取付軸９
を、チユーブ入口に近づく方向に移動させ、取付
板８をチユーブ１の入口面に圧接させる。この場
合、チユーブ１の気密性を確保するために、チユ
ーブ１にＯリングを続けておくことが好ましい。
導体ウエハ６を塔載するボート７をチユーブ１に
挿入するにあたつては、第３図のように開閉板８
を手前側に位置させたた状態で行なう。そして、
ボート７がチユーブ１に挿入された後、駆動手段
によつて取付軸９を回動させ、取付板８をチユー
ブ１の中心と致心させる。続いて、該取付軸９
を、チユーブ入口に近づく方向に移動させ、取付
板８をチユーブ１の入口面に圧接させる。この場
合、チユーブ１の気密性を確保するために、チユ
ーブ１にＯリングを続けておくことが好ましい。
一方、チユーブ入口の遮蔽は、上記操作と逆の
順序を経て行なわれる。
順序を経て行なわれる。
以上の実施例からも明らかなように、本発明に
よれば、チユーブの中心軸に平行して設けた取付
軸に開閉板を取着すると共に、該取付軸をその軸
線の回りに回動させかつ前記取付軸をその軸線方
向に往復動させるための駆動手段を連結させ、そ
れによりチユーブ入口の開閉を行なつているた
め、支工が設けられない空間が小さくなる。ちな
みに、その値を比較してみると、開閉板の大きさ
を100mm〜200mmとすると、従来のものではこの距
離が支工が設けられない空間として存在するが、
本発明では取着板がチユーブの中心軸方向に10mm
〜20mm、即ちその気密を解除できる長さだけ移動
できれば良く、開閉板の厚さを考慮した場合でも
確実に上記距離は1/3〜1/5となる。したがつて、
従来のように開閉板を開けた後に、支工をチユー
ブ側に移動させたり、またボート挿入のための昇
降手段も必要としないため自動化に適する。ま
た、ボートを自動的に挿入する機構を組合せる場
合でも、駆動部を少なくでき、装置全体の価格の
低減と信頼性の向上が図れるという利点がある。
よれば、チユーブの中心軸に平行して設けた取付
軸に開閉板を取着すると共に、該取付軸をその軸
線の回りに回動させかつ前記取付軸をその軸線方
向に往復動させるための駆動手段を連結させ、そ
れによりチユーブ入口の開閉を行なつているた
め、支工が設けられない空間が小さくなる。ちな
みに、その値を比較してみると、開閉板の大きさ
を100mm〜200mmとすると、従来のものではこの距
離が支工が設けられない空間として存在するが、
本発明では取着板がチユーブの中心軸方向に10mm
〜20mm、即ちその気密を解除できる長さだけ移動
できれば良く、開閉板の厚さを考慮した場合でも
確実に上記距離は1/3〜1/5となる。したがつて、
従来のように開閉板を開けた後に、支工をチユー
ブ側に移動させたり、またボート挿入のための昇
降手段も必要としないため自動化に適する。ま
た、ボートを自動的に挿入する機構を組合せる場
合でも、駆動部を少なくでき、装置全体の価格の
低減と信頼性の向上が図れるという利点がある。
第１図は従来のチユーブ入口開閉装置の説明
図、第２および第３図は本発明に係るチユーブ入
口開閉装置の説明図である。 １……チユーブ、２，９……取付軸、３，８…
…開閉板。
図、第２および第３図は本発明に係るチユーブ入
口開閉装置の説明図である。 １……チユーブ、２，９……取付軸、３，８…
…開閉板。
Claims (1)
- １ 拡散炉におけるチユーブの中心軸に平行して
設けた取付軸に、前記チユーブ入口を開閉するた
めの開閉板を取着すると共に、該取付軸をその軸
線の回りに回動させかつ前記取付軸をその軸線方
向に往復動させるための駆動手段を連結させたこ
とを特徴とする拡散炉におけるチユーブ入口開閉
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56104998A JPS587820A (ja) | 1981-07-07 | 1981-07-07 | 拡散炉におけるチユ−ブ入口開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56104998A JPS587820A (ja) | 1981-07-07 | 1981-07-07 | 拡散炉におけるチユ−ブ入口開閉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS587820A JPS587820A (ja) | 1983-01-17 |
| JPH0154852B2 true JPH0154852B2 (ja) | 1989-11-21 |
Family
ID=14395761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56104998A Granted JPS587820A (ja) | 1981-07-07 | 1981-07-07 | 拡散炉におけるチユ−ブ入口開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587820A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60169660A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Nippon Mining Co Ltd | デイ−ゼルエンジン燃料の燃焼性改良方法 |
| JPH06105692B2 (ja) * | 1988-06-24 | 1994-12-21 | ソニー株式会社 | 熱処理装置 |
| DE8902607U1 (de) * | 1989-03-04 | 1989-06-22 | Owis GmbH, 7813 Staufen | Vorrichtung an einer Oxidations- oder Diffusions-Ofenanlage |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57121246A (en) * | 1981-01-21 | 1982-07-28 | Hitachi Ltd | Semiconductor treating device |
| JPS6311719Y2 (ja) * | 1981-03-09 | 1988-04-05 |
-
1981
- 1981-07-07 JP JP56104998A patent/JPS587820A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS587820A (ja) | 1983-01-17 |
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