JPS604367Y2 - 電子顕微鏡における試料交換装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡において光軸方向から試料を挿入す
るタイプの試料交換装置に関する。

斯かる光軸方向から試料を挿入するタイプの試料交換装
置としては、鏡体の側壁に回動且つ移動可能に貫通、保
持された交換棒の先端にチャックを設け、該チャックに
て試料筒を挾持した状態で、交換棒を操作することより
、試料筒を試料移動台と交換室との間を移動させるよう
になした構造のものが広く使用されている。

しかし乍ら、斯かる従来装置においては試料筒を挾持す
る部分にこの試料筒を保護するための部材が設けてない
ため、試料筒を交換室から試料移動台に向けて移動させ
る際、試料筒が鏡体に接触し、傷がつくことがある。

特に試料筒の試料移動台への嵌合面（この嵌合面は通常
テーパー状に加工されている。

）に傷がつくと、試料筒は試料移動台に密接した状態で
装着することができなくなるため振動が発生しやすくな
り、又試料位置が変化するので、分解能へ悪影響を及ぼ
す欠点がある。

本考案は斯かる不都合を解決することを目的とするもの
で、以下図面に基づき詳説する。

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ断面図であり、１は電子顕微鏡の対物レンズ
である。

２は該対物レンズ１の上方に設けられた試料室で、内部
に試料移動台３が水平移動可能に設けられている。

これら試料室２及び対物レンズ１内は図示外の真空ポン
プにより高真空に保たれる。

該試料移動台の中央部には試料（図示せず）を内蔵した
試料筒４を装着するための穴５が形威しである。

６は前記試料室２の側壁に設けられた交換室で、一端は
試料室２に連通し、他端（大気側）には蓋体７が着脱可
能に取り付けられている。

該蓋体７には球体軸受８を介して交換棒９が回動且つ移
動可能に貫通、保持されている。

該交換棒９の一端（真空側）には回転軸１０を介してチ
ャック１１が回動自在に取り付けられている。

該チャック１１には前記試料筒４の上部に設けた鍔部１
２を挾持せしめる掛止部１３ａ、１３ｂが設けてあり、
該掛止部１３ａ、１３ｂ部分には図示しないが試料筒４
の鍔部１２を挾持したときにこの試料筒が動かない様に
する為に板バネ等が設けである。

一方前記交換棒９の大気側には嫡子１４が設けである。

１５は前記試料筒４を保護するための保護羽根で、該保
護羽根は少なくとも試料筒４のテーパ一部４ａをカバー
するだけの長さを有した短冊状に形威されており、又保
護羽根１５はその上部が二つの支持棒１６ａｔ１６ｂを
介して前記回転軸１０に取り付けられている。

該各支持棒１６ａ、１６ｂは回転軸１０を貫通した状態
で固定されており、又該各支持棒には回転軸１０に巻装
されたねじりバネ１７ａ及び１７ｂの一端が夫々係合さ
れている。

このねじりバネ１７ａ、１７ｂの他端は前記チャック１
１に固定されたストッパー１８ａ、１８ｂに夫々係合さ
れている。

従って前記保護羽根１５はねじりバネ１７ａ、１７ｂに
より回転軸１０を中心にして第１図中反時計方向、つま
り試料筒４から離れるような方向の回転力を与えられて
いる。

前記各ストッパー１８ａ、１８ｂは前記支持棒１６ａ、
１６ｂと当接し、保護羽根１５の回転を停止させる役目
を果している。

又前記保護羽根１５の回転軸１０への取り付にしては第
３図中実線で示すように交換室６内に試料筒４が水平に
おかれたときこの試料筒の下方に置かれるように配置さ
れており、更に該保護羽根１５の上部には交換棒９との
衝突をさけるための欠切部１９が形威しである。

２０は前記交換室６内に設けられたガイド体で、前記試
料筒４を水平状態に保つ役目を果し、該ガイド体２０は
半円筒状に形威されている。

２１は前記交換室６の試料室２側に設置された前記保護
板１５の開閉を行なうためのくの字状の板バネで、下端
が交換室６にビス等により固定され、又上端２１ａは丸
く折り曲げられてその内部に軸２２が挿入されている。

該軸２２はその両端が第２図で示すように交換室６の側
壁に当接されている。

これにより板バネ２１の上端２１ａが交換室６側に移動
するのを阻止している。

又前記板バネ２１は自由長のときその上端２１ａが前記
ガイド２０の内壁の底部と略一致している。

斯かる装置における動作を説明する。

第１図中実線で示す状態は観察済み試料を内蔵した試料
筒４の鍔部１２をチャック１１により挾持してこの試料
筒４を試料移動台３の穴からぬき出した状態である。

このときチャック１１に設けた保護羽根１５はねじりバ
ネ１７ａ、１７ｂにより回転して試料筒４から離れてい
る。

これは試料移動台３から試料筒４の挿脱時に保護羽根１
５が試料移動台３等に衝突するのを防止するためである
。

この状態において嫡子１４を操作して交換棒９を同図中
右方に直線移動させれば、先ず一点鎖線ａで示すように
保護羽根１５が板バネ２１の上端２１ａと当接するため
、この保護羽根１５はねじりバネ１７ａ、１７ｂに抗し
て回転軸１０を中心にして時計方向に回動し、試料筒４
に接近する。

しかして、交換棒９の移動により保護羽根１５が試料筒
４に対して所定位置まで接近すると試料筒４、チャック
１１がこの保護羽根１５と共に回転軸１０を中心にして
時計方向に回動するため、この試料筒４、チャック１１
及び保護羽根１５が第３図中二点鎖線すで示すように板
バネ２１上にのりあげる。

この状態で更に交換棒９を同方向に移動させることによ
り第３図中実線ですように試料筒４、チャック１１及び
保護羽根１５がガイド体２０上にのりあげ、交換室６内
に収納される。

しかる後、第３図中三点鎖線Ｃで示すようにエアーロッ
ク弁を閉じて試料室２と交換室６を遮断することにより
交換室内を大気にし、新しい試料と交換する。

次に前述と逆の動作を行なえば、新しい試料を内蔵した
試料筒４を第１図中実線で示すように光軸２上におくこ
とができる。

この状態において嫡子１４を上方に移動すればチャック
１１が下降するため、試料筒４は試料移動台３に装着す
る。

このとき交換棒９の下降により板バネ２１は軸２２と共
に押し下げられる。

又前記ガイド体２０の底部には交換棒９の回動をさまた
げないように長溝２３が形威しである。

しかして試料筒４の装着後、嫡子１４を回せば、チャッ
ク１１が交換棒９を中心にして第１図中紙面に対して垂
直方向に回動するため、チャック１１の掛止部１３ａ、
１３ｂが試料筒４の鍔部４ａからはずれる。

しかる後チャック１１を前述した動作を行なうことによ
り交換室６内に移動させる。

尚該実施例において図示しないが交換室６の大気側には
交換棒の移動を規制する案内手段が設けである。

以上の如く構成することにより本考案は試料筒を交換室
側から交換室へ移送する場合、或いは逆の場合、この試
料筒が板バネやガイド体と直接接触するのを防止するこ
とができるため、試料筒のテーパー面に傷がつくのを防
止できる。

従って試料筒を試料移動台に安定して装着することがで
きるため、耐振性の向上をはかることができ、しかも試
料は対物レンズ磁極片の所定位置に設定され、分解能の
低下を招くことはなくなる。

又、保護羽根のチャックへの取り付けに際し、ねじりバ
ネにより回転力を与えているため、板バネ２１上にのせ
られたチャックが試料室側に落下するときの衝突を緩和
することができ、試料筒のチャックからの脱落を防止す
ることができる等実用性大なる効果を有する。

尚前述の説明では試料筒のチャックへの挟持に際しては
試料筒に設けた鍔部をチャックの二つの掛止部とスプリ
ング等によって挾持するように構成したが、他の例とし
てチャックに外部の操作により回転させることのできる
二つの爪を取り付け、この両爪で試料筒を挾持するよう
になしてもよい。

又、交換棒の操作によりチャックを試料室と交換室との
間を往復させるように構成したが、これに限定されるこ
となく既知の交換手段を利用してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ断面図、第３図は本考案の動作を説明するた
めの図である。 １：対物レンズ、２：試料室、３：試料移動台、４：試
料筒、６：交換室、７：蓋体、８：球体軸受、９：交換
棒、１０：回転軸、１１：チャック、１２：鍔部、１３
ａ及び１３ｂ：掛止部、１４：嫡子、１５：保護羽根、
１６ａ及び１６ｂ：支持棒、１７ａ及び１７ｂ：ねじり
バネ、１８ａ及び１８ｂ＝ストツパー、１９：欠切部、
２０ニガイド体、２１：板バネ、２２：軸、２３：長溝
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料室内におかれ且つ試料を保持した試料筒を着脱可能
   に装着した試料移動台と、前記試料室内に連通した交換
   室と、前記試料筒を挾持するためのチャックと、該チャ
   ックを回動可能に取り付は且つ試料筒を試料室と交換室
   との間を往復させるための手段と、前記チャックに挾持
   された試料筒を保護するためにこのチャックに回動可能
   に保持された保護羽根と、該保護羽根を試料筒から常に
   離間せしめるように回転力を与えるための手段と、前記
   試料室と交換室との間における試料交換通路上におかれ
   且つ前記保護羽根を前記チャックの交換室側への移動に
   ともなって試料筒に向けて回動させるための手段とから
   なる電子顕微鏡における試料交換装置。