JPH0158119U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158119U JPH0158119U JP15388487U JP15388487U JPH0158119U JP H0158119 U JPH0158119 U JP H0158119U JP 15388487 U JP15388487 U JP 15388487U JP 15388487 U JP15388487 U JP 15388487U JP H0158119 U JPH0158119 U JP H0158119U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- fluid vibration
- detection
- chambers
- central chamber
- Prior art date
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
第１図は流体振動検出素子の説明図、第２図は
本考案に係る流体振動検出センサの説明図、第３
図(1)，(2)及び第４図(1)，(2)は圧電膜の作用説
明図、第５図(1)，(2)は従来の圧電膜の作用説明
図である。 １……圧力室、２，３……圧電膜、４……中央
室、５，６……外室、７……流体振動検出素子、
１１……検出端、１２，１２′……検出孔、１３
，１３′……導圧管、１４……判定回路。
本考案に係る流体振動検出センサの説明図、第３
図(1)，(2)及び第４図(1)，(2)は圧電膜の作用説
明図、第５図(1)，(2)は従来の圧電膜の作用説明
図である。 １……圧力室、２，３……圧電膜、４……中央
室、５，６……外室、７……流体振動検出素子、
１１……検出端、１２，１２′……検出孔、１３
，１３′……導圧管、１４……判定回路。
補正 昭６３．３．２５
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書７ページ上から９行目「第５図(1)，(2)
は従来の…」とあるのを「第５図は従来の…」に
訂正する。
は従来の…」とあるのを「第５図は従来の…」に
訂正する。
Claims (1)
- 圧力室を２枚の圧電膜により中央室と左右の外
室の３室に区画し、中央室を検出素子の一方の検
出孔に接続し、外室を他方の検出孔に接続した構
成から成る流体振動型流量計における流体振動検
出センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15388487U JPH0158119U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15388487U JPH0158119U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158119U true JPH0158119U (ja) | 1989-04-11 |
Family
ID=31430117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15388487U Pending JPH0158119U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0158119U (ja) |
-
1987
- 1987-10-07 JP JP15388487U patent/JPH0158119U/ja active Pending