JPS6363739U - - Google Patents

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JPS6363739U
JPS6363739U JP15905086U JP15905086U JPS6363739U JP S6363739 U JPS6363739 U JP S6363739U JP 15905086 U JP15905086 U JP 15905086U JP 15905086 U JP15905086 U JP 15905086U JP S6363739 U JPS6363739 U JP S6363739U
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JP
Japan
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pressure
chamber
sensing element
element storage
pressure sensing
Prior art date
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JP15905086U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ、第１図ｂは本考案による第１の実施
例を示す図、第２図ａ、第２図ｂは本考案による
第２の実施例を示す図、第３図ａ、第３図ｂ図は
本考案による第３の実施例を示す図、第４図は本
考案による第４の実施例を示す図、第５図は従来
例を示す図である。 １……音叉型水晶振動子（圧力検知素子）、１
１，１２……リード端子、２２，３２，４２，５
２……圧力応動室、２３，３３，４３，５３……
圧力検知素子収納室。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 少なくとも外部圧力の変化に応動して、容
    積、内部圧力が変化する圧力応動室と、この圧力
    応動室と空間的に続いて圧力検知素子を収納し、
    容積変化のない圧力検知素子収納室との２室より
    なる圧力検知素子収納容器。 (2) 圧力応動室が蛇腹式ベローズを備えた室で
    あることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    １項記載の圧力検知素子収納容器。 (3) 圧力応動室がダイヤフラムを備えた室であ
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
    項記載の圧力検知素子収納容器。 (4) 圧力応動室がゴム風船状ベローズを備えた
    室であることを特徴とする実用新案登録請求の範
    囲第１項記載の圧力検知素子収納容器。 (5) 圧力応動室と圧力検知素子収納室とを流通
    管により接続したことを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第１項乃至第４項記載の圧力検知素子
    収納容器。
JP15905086U 1986-10-16 1986-10-16 Pending JPS6363739U (ja)

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JP15905086U JPS6363739U (ja) 1986-10-16 1986-10-16

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JP15905086U JPS6363739U (ja) 1986-10-16 1986-10-16

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JPS6363739U true JPS6363739U (ja) 1988-04-27

Family

ID=31083118

Family Applications (1)

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JP15905086U Pending JPS6363739U (ja) 1986-10-16 1986-10-16

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JP (1) JPS6363739U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012140846A1 (ja) * 2011-04-12 2012-10-18 パナソニック株式会社 Ｍｅｍｓ圧力センサ

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5445187A (en) * 1977-09-16 1979-04-10 Nec Corp Pressure detector
JPS5658632A (en) * 1979-10-18 1981-05-21 Seikosha Co Ltd Pressure detecting device

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WO2012140846A1 (ja) * 2011-04-12 2012-10-18 パナソニック株式会社 Ｍｅｍｓ圧力センサ
JP5118785B2 (ja) * 2011-04-12 2013-01-16 パナソニック株式会社 Ｍｅｍｓ圧力センサ

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