JPS627045U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS627045U JPS627045U JP9858085U JP9858085U JPS627045U JP S627045 U JPS627045 U JP S627045U JP 9858085 U JP9858085 U JP 9858085U JP 9858085 U JP9858085 U JP 9858085U JP S627045 U JPS627045 U JP S627045U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- semiconductor
- conducting
- semiconductor substrate
- sensor chip
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成説明図、第２
図は第１図の製作説明図、第３図は本考案の他の
実施例の構成説明図、第４図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図である。 １…センサチツプ、１１…ダイアフラム部、１
２…導圧室、２…ピエゾ抵抗ゲージ、５…導圧パ
イプ、７…半導体基板本体、７１…ガラス薄膜、
７２…半導体基板、７３…導圧孔。
図は第１図の製作説明図、第３図は本考案の他の
実施例の構成説明図、第４図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図である。 １…センサチツプ、１１…ダイアフラム部、１
２…導圧室、２…ピエゾ抵抗ゲージ、５…導圧パ
イプ、７…半導体基板本体、７１…ガラス薄膜、
７２…半導体基板、７３…導圧孔。
Claims (1)
- 導圧室を有する半導体からなるセンサチツプと
、該センサチツプに取付けられ前記導圧室に圧力
を導入する導入孔を有する半導体基板本体と、前
記導圧孔に取付けられた導圧パイプとを具備する
半導体圧力センサにおいて、前記半導体基板本体
が片面にガラス薄膜が形成された少くとも二個の
半導体基板を該ガラス薄膜の一方を介して陽極接
合されることにより組み立てられたことを特徴と
する半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9858085U JPS627045U (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9858085U JPS627045U (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS627045U true JPS627045U (ja) | 1987-01-16 |
Family
ID=30966646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9858085U Pending JPS627045U (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS627045U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012002810A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | General Electric Co <Ge> | センサ、及びセンサを製造する方法 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP9858085U patent/JPS627045U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012002810A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | General Electric Co <Ge> | センサ、及びセンサを製造する方法 |