JPH0158159U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158159U JPH0158159U JP15197387U JP15197387U JPH0158159U JP H0158159 U JPH0158159 U JP H0158159U JP 15197387 U JP15197387 U JP 15197387U JP 15197387 U JP15197387 U JP 15197387U JP H0158159 U JPH0158159 U JP H0158159U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection head
- balance cylinder
- piston rod
- floating
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 4
- 238000005188 flotation Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例装置の全体構造を示す
部分断面正面図、第２図は第１図の―線視図
である。他方、第３図は、従来装置の全体構造を
示す一部断面正面図である。
部分断面正面図、第２図は第１図の―線視図
である。他方、第３図は、従来装置の全体構造を
示す一部断面正面図である。
Claims (1)
- 被測定物に対向して配置される検出ヘツドと、
該検出ヘツドを保持するピストンロツドを通して
前記検出ヘツド浮上用の圧力流体を供給する流路
と、前記検出ヘツドの浮上量を設定するため前記
検出ヘツドを浮上方向とは反対の方向に付勢する
流体荷重装置を備えたバランスシリンダと、該バ
ランスシリンダのピストンロツド下部と前記検出
ヘツド上面との間にあつて、両者を互いに連繋す
る金属ベローズとを設け、前記バランスシリンダ
のピストンロツド下部と検出ヘツド上面との間の
四隅に各々独立して伸縮調整可能なコイルばねを
設けた流体浮上装置において、前記バランスシリ
ンダのピストンロツド下部に設けた取付け板の四
ケ所に、信号ケーブル挿通用の側方に開放した切
欠きを設けたことを特徴とする流体浮上式追従機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15197387U JPH0628689Y2 (ja) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | 流体浮上式追従機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15197387U JPH0628689Y2 (ja) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | 流体浮上式追従機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158159U true JPH0158159U (ja) | 1989-04-11 |
| JPH0628689Y2 JPH0628689Y2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=31426492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15197387U Expired - Lifetime JPH0628689Y2 (ja) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | 流体浮上式追従機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628689Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-02 JP JP15197387U patent/JPH0628689Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0628689Y2 (ja) | 1994-08-03 |
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