JPH0158196B2 - - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は複合オキシアルコキシド誘導体及びそ
の製造法に関する。更に詳しくは、エレクトロニ
クス分野における素子材料、その他セラミツク材
料等として有用な複合酸化物類たとえばチタン酸
カリウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロン
チウム等の製造原料として有用な化合物群及びそ
の製造法に関する。 複合酸化物類は、チタン酸塩類を例にとると酸
化チタンとアルカリ土類金属の炭酸塩類との高温
下における固相反応により従来より工業的に製造
されている。その反応式を下記に示す。 TiO2+MCO3→MTiO3+CO2 (ここに、Mはアルカリ土類金属を表す。) しかしながら、該方法により得られる複合酸化
物類は、比較的多量の不純物を含有し、また、組
成たとえばチタン酸塩類であればTi/M比が化
学量論値とならないばかりでなく、一定の条件下
の反応であつても一定の値を示すとは限らない。
さらに、得られる複合酸化物の粒径は数μ以上
で、かつ、粒径分布も広い。したがつて、高性能
化、小型化の要求されるエロクトロニクス分野に
おける原材料として、該方法で得られる複合酸化
物類は充分な性能を有するものとはいいがたい。 これら固相反応法の欠点を改良する方法として
溶液中での化学反応による複合酸化物類の製造方
法(以下、「溶液法」という。)が提案されてお
り、一般に下記の如き特徴を有している。 (1) 不純物の除去精製が比較的容易であり、高純
度の複合酸化物類が得られる。 (2) 得られる複合酸化物類の粒径が1μ以下であ
り、かつ粒度分布が狭い。 (3) 第3物質の添加が比較的に容易であり、得ら
れる複合酸化物類の性能を目的に応じ制御でき
る。 しかしながら、公知の溶液法においてもそれぞ
れ種々の欠点を有しており、工業的に採用するに
は問題がある。 J.A.C.S.77 6194(1954)及びJ.Amer.Ceram.
Soc.49 291(1966)に記載されたチタン酸バリウ
ム(BaTiO3)の製造法によれば、水酸化バリウ
ム(Ba(OH)2)の水溶液とチタンアルコキシド
との反応により粒状BaTiO3が得られるが、得ら
れるBaTiO3のTi/Ba比を化学量論値に規制す
ることが困難である。 バリウムアルコキシドとチタンアルコキシドと
の混合アルコール溶液を加水分解せしめて
BaTiO3を製造する方法(U.S.Pat.3647364)およ
び、バリウムアルコキシドに替えてストロンチウ
ムアルコキシドを用いチタン酸ストロンチウム
(SiTiO3)を製造する方法(J.Amer.Ceram.Soc.
53 91(1970)に記載)においては原料として使
用されるバリウムアルコキシドおよびストロンチ
ウムアルコキシドが高価であり、かつ、入手困難
であるので実用的ではない。 Ba(OH)2と四塩化チタン(TiCl4)とを反応せ
しめてBaTiO3を製造する方法(U.S.
Pat.3725539)、塩化バリウム(BaCl2)とTiCl4
とを過酸化水素(H2O2)で処理せしめてBaTiO3
を製造する方法(特開昭49―69599)等の、Tiの
原料ソースとしてチタンアルコキシド以外の化合
物を用いるBaTiO3の製造法においては、得られ
るBaTiO3のTi/Ba比を化学量論値に規制する
のが困難であり、また、反応操作が煩雑である。 チタンイオンとバリウムイオンとの存在下に蓚
酸を反応せしめて得られる蓚酸チタニルバリウム
を熱分解せしめてBaTiO3を製造する方法(U.S.
Pat.2758911)においては、蓚酸塩を700℃以上の
高温で熱分解せしめるため粒径が大きくなり、ま
た、第3物質の添加が困難である等の欠点を有す
る。 本発明者らは、上記欠点の改良した溶液法によ
る複合酸化物類(特開昭57―193491、特開昭57―
196722および特開昭58―15985)を報告したが、
これらは加水分解性、CO2ガスに対する安定性等
が必しも満足なものでなかつた。そこで加水分解
性、CO2に対する安定性等の改善された複合酸化
物類とその製造法を提供すべく鋭意研究の結果、
本発明に到達した。 すなわち、本発明は 一般式〔〕 [MTiOx(OR)4―x]o ……〔〕 (ここに、各繰返し単位内において、Mはアル
カリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から
選ばれた金属を、Rは置換又は非置換のアルキル
基、アルケニル基、シクロアルキル基およびアラ
ルキル基からなる群から選ばれた1種又は2種以
上に置換基を示し、Mがアルカリ金属の場合xは
1を、Mがアルカリ土類金属の場合xは2を表
し、nは1〜100の整数、nが2以上の場合各繰
返し単位間においてM及びRは同一又は相異な
る。)で表される複合オキシアルコキシド中の、
一部又は全部のOR基がOL基(ここに、OLは、
β―ジケトン類、トリスアルコールアミン類、α
―オキシ酸類およびβ―オキシ酸類からなる群か
ら選ばれた1種又は2種以上のキレート化剤又は
そのエノール体の分子中OH基からHがとれた残
基を表す。)で置換されてなる複合オキシアルコ
キシド誘導体、及び 有機溶剤の存在下又は非存在下 一般式〔〕 Ti(OR)4 ……〔〕 (ここに、Rは前記と同じ意味を表す。) で表されるチタンアルコキシド類と 一般式〔〕 M・(OH)x ……〔〕 (ここに、M,xは、前記と同じ意味を表す。) で表される金属水酸化物とを反応せしめることに
より生成する 一般式〔〕 〔MTiOx(OR)4―x〕o ……〔〕 (ここに、R,M,x,nは、前記と同じ意味
を表す。) で表される複合オキシアルコキシドと、β―ジケ
トン類、トリスアルコールアミン類、α―オキシ
酸類およびβ―オキシ酸類からなる群から選ばれ
た1種又は2種以上のキレート化剤とを反応せし
めることにより、該複合オキシアルコキシド中
の、一部又は全部のOR基をOL基(ここに、OL
は、前記キレート化剤又はそのエノール体の分子
中OH基からHがとれた残基を表す。)で置換す
ることを特徴とする複合オキシアルコキシド誘導
体の製造法である。 本発明において、一般式〔〕中のMはアルカ
リ金属たとえばリチウム、ナトリウム、カリウム
等およびアルカリ土類金属たとえばベリリウム、
マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バ
リウム等の1種の単独であるか、マグネシウム―
ストロンチウム、カルシウム―バリウム、ストロ
ンチウム―バリウム、カルシウム―ストロンチウ
ム―バリウム、カリウム―ストロンチウム、カリ
ウム―バリウム等の2種以上の複合体である。 これらの中でカリウム・ストロンチウム、バリ
ウムおよびストロンチウム―バリウムが好まし
い。 本発明において、一般式〔〕中のRは、鎖状
アルキル基たとえばメチル基、エチル基、プロピ
ル基、ブチル基、ヘキシル基等、置換された鎖状
アルキル基たとえば1,4―ブタンジオール残
基、グリコール類残基等OH基で置換された鎖状
アルキル基、セロソルブ残基等OR′基(ここに
R′はC1〜C3のアルキル基を表す。)で置換された
アルキル基、ハロゲン原子で置換されたアルキル
基等、シクロアルキル基たとえばシクロヘキシル
基、1―メチルシクロペンチル基等、アリル基、
クロチル基等の不飽和結合を有する置換基、およ
びアラルキル基たとえばベンジル基、フエニルエ
チル基等の群から選ばれた1種の置換基もしくは
2種以上の置換基である。 これらの中で鎖状アルキル基、アルケニル基の
群から選ばれた1種以上の置換基が好ましく中で
もイソプロピル基、ブチル基が特に好ましい。 本発明において用いるキレート化剤は、分子内
に同時に2つ以上の官能基例えば水酸基、アミノ
基、カルボニル基等を有するキレート化剤であ
り、例えば、アセチルアセトン、ベンゾイルアセ
トンなどのβ―ジケトン類、アセト酢酸、プロピ
オニル酪酸、ベンゾイル酢酸、アセチルギ酸、ベ
ンゾイルギ酸などのα―またはβ―ケトン酸類、
該ケトン酸類のメチル、エチル、プロピル、ブチ
ルなどのエステル類、グリコール酸、乳酸、α―
オキシ酪酸、ヒドロアクリル酸、サリチル酸など
のα―またはβ―オキシ酸類、該α―またはβ―
オキシ酸のメチル、エチル、プロピル、ブチルな
どのエステル類、ジアセトンアルコール、アセト
インなどのα―またはβ―オキシケトン類、グリ
コールアルデヒド、アルドールなどのα―または
β―オキシアルデヒド類、グリシン、アラニンな
どのα―アミノ酸類、アミノエチルアルコールな
どのα―またはβ―アミノアルコール類等であ
り、2個の官能基を有するものの2個がキレート
形成に関与するか官能基が2個以上有するものの
うちの2個がキレート形成に関与するよう使用す
るのが好ましい。好ましいキレート化剤としては
β―ジケトン類、トリスアルコールアミン類、α
―またはβ―オキシ酸類である。 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体は、加
水分解もしくは熱分解せしめることにより容易に
チタン酸塩類を生成する。 本発明において、Mは目的とするチタン酸塩の
性能に応じ、またRはチタン酸塩とするためのハ
ンドリングの仕様に応じ適宜選択することができ
る。 本発明における複合オキシアルコキシド誘導体
は、下記式(1) nTi(OR)4+nM(OH)x→〔MTiOx(OR)4―x〕o
……(1) で生成した複合オキシアルコキシドと所望のキレ
ート化剤とを反応させる方法(以下A法とか
く。)、チタンアルコキシドとキレート化剤とを反
応させチタンアルコキシレート化合物(n量体)
を生成せしめ、n・M(OH)xとを反応させる方
法(以下B法とかく。)等により合成される。こ
れらの製法においてOR基の30%以上がキレート
化剤で置換されるのが好ましい。またA法の方が
温和な反応条件で所望する形の誘導体が得やすい
ので有利である。 A法において、(1)式の原料のチタンアルコキシ
ドとしては、テトラメトキシチタン、テトライソ
プロポキシチタン、テトラブトキシチタン、ジエ
トキシ―ジイソプロポキシチタン、ジエトキシ―
ジブトキシチタン等の鎖状アルコキシチタン類を
用いるのが好ましく、特に工業的に製造され入手
し易いテトライソプロポキシチタンおよびテトラ
ブトキシチタンを用いるのが望ましい。 (1)式の反応は、有機溶剤の存在下または非存在
下のいずれでも進行するが、有機溶剤好ましくは
芳香族炭化水素、脂環族炭化水素等の非極性有機
溶剤の存在下におこなうことにより反応が温和に
進行して有利である。 また(1)式の反応は加水分解反応の防止および炭
酸ガスの混入による炭酸塩の生成を防止するた
め、N2ガス、アルゴンガス等の不活性ガス雰囲
気下、生成するアルコールまたは使用する有機溶
剤のガス雰囲気下で行う。反応温度および反応時
間は原料の種類、有機溶剤を使用する場合はその
種類等によつて変化させることができるが、一般
的には50〜300℃、好ましくは100〜250℃の反応
温度であり、0.5〜60時間、好ましくは1〜15時
間の反応時間である。さらに好ましい態様は有機
溶剤の還流下に1〜3時間反応を行う。 複合オキシアルコキシドとキレート化剤との反
応は(1)式の反応液をそのまま継続して用い、所望
するキレート化剤をこれに添加し、反応を完結す
ることができる。 勿論、いつたん(1)式により生成する反応液から
溶剤を蒸発留去し、単離した〔MTiOx(OR)4―
x〕oと、キレート化剤とを有機溶剤中で反応せし
めることも可能である。 複合オキシアルコキシドとキレート化剤との反
応条件としては、(1)式の反応と同様加水分解や炭
酸ガスによる炭酸塩の生成を避けるため、N2ガ
ス、アルゴンガスなどの不活性ガス雰囲気下、又
は生成するアルコールもしくは使用する有機溶剤
のガス雰囲気下に行ない、空気中の水分や炭酸ガ
スの混入のない状態で行なうことが好ましい。反
応温度、反応時間は、複合オキシアルコキシドや
キレート化剤および有機溶剤を使用する場合はそ
の種類、量に依存して変化させることができる
が、一般的には0〜300℃、好ましくは20〜250℃
で、0.5〜10時間、好ましくは1〜5時間である。 本発明の〔MTiOx(OR)4―x〕を構成ユニツト
とする複合オキシアルコキシド誘導体は、原料の
種類、その配合比、有機溶剤を使用する場合はそ
の種類、および量、反応温度反応時間等の反応条
件ならびに後処理の条件によつて異るが、一般に
上記構成ユニツトのくり返し単位の平均数が1〜
100である単量体ないし重合体であり、通常の条
件下では4〜12のものが得られる。 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体は、有
機溶剤可溶性であり、有機溶剤の種類によつては
かなり高濃度の溶液を得ることができる。また、
有機溶剤可溶性であるため、使用目的により化学
的および物理的手段の選択の自由度が大きく、広
範な用途に使用できる有用な化合物である。 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体および
その製造法は下記の特徴を有している。 (イ) 比較的安価で入手し易い原料から、簡単な方
法で製造でき、経済性が高い。 (ロ) 有機溶剤可溶性であるため、スプレー法、デ
イツピング法、ノズル吹出し法等の物理的手段
と、熱分解、加水分解等の化学的変性手段を適
宜組合せることにより、微粉末状、薄膜状、繊
維状その他の所望する形状のチタン酸塩類を容
易に、かつ、経済的に製造することができる。 (ハ) 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体自体
のTi/M比が化学量論値であるため、該複合
オキシアルコキシド類から得られるチタン酸塩
類のTi/M比も化学量論値に等しいかもしく
はそれに極めて近い値のものであり、エレクト
ロニクス用素子材料としての諸特性において従
来のチタン酸塩類と比較して格段とすぐれたチ
タン酸塩類を製造することが可能である。 (ニ) 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体を適
当な条件下で加水分解または熱分解せしめるこ
とにより、粒径が極めて微細で、かつ、粒径分
布の狭い微粉末状のチタン酸塩類を製造するこ
とが可能である。 (ホ) 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体、ま
たはその有機溶剤溶液は、種々の化合物との相
溶性および均一混合性が優れているため、チタ
ン酸塩にシフター、デプレサー、半導体化剤、
焼結助剤等の添加物を均質に添加したい場合に
本発明の複合オキシアルコキシド類と上記諸添
加剤とを混合することにより、上記目的を容易
に達成することができる。 (ヘ) 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体は、
水、炭酸ガスに対して極めて安定であり、その
為に取扱い、貯蔵に有利である。 以下、本発明を参考例、実施例、応用例を挙げ
て更に詳細に説明する。ただし本発明はこれによ
り何ら限定を受けるものではない。 各例において次の略記を用いた。 (1) i−Pr=(CH3)2CH (イソプロピル基) (2) n−Bu=CH3(CH2)3 (n―ブチル基) (3) acac=CH3COCHCOCH3 参考例 1 Ba(OH)269.9g(0.409mol)、Ti(Oi―
Pr)4116.2g(0.409mol)ならびにp―キシレン
131gを還流冷却器、撹拌機および温度計を付け
て500ml4つ口フラスコに仕込んだ、N2雰囲気下
撹拌しながら昇温していくと反応温度90℃位から
i―PrOHが溜出してきた。さらにp―キシレン
の還流下反応を2時間続けた。この間、当初の白
濁した状態から淡黄色の溶液に変化した。溜出し
たi―PrOHは51.3g(0.855モル)であつた。得
られたBaTiO2(Oi―Pr)2はp―キシレン中
1.66mmol/gであつた。この溶液は大気中放置
し、2時間で白色結晶を析出した。固体の大気中
での安定性のデータを第1表に示した。 参考例 2 Sr(CH)234.1g(0.280mol)、Ti(On―
Bu)495.2g(0.280mol)ならびにデカリン250ml
を参考例1と同一の装置に仕込み、N2雰囲気下
撹拌しながら加熱した。約185℃からn―BuOH
が溜出し始めた。n―BuOHが、これ以上溜出し
ない点で反応を終了した。溜出したn―BuOHは
42.5g(0.574mol)であつた。この溶液は大気中
放置し、2時間で白色結晶を析出した。 固体の大気中での安定性のデータを第1表に示
した。 参考例 3 KOH6.8g(0.121mol)、Ti(Oi―Pr)434.5g
(0.121mol)ならびにp―キシレン50mlを還流冷
却器、撹拌機および温度計を取りつけた100ml4
つ口フラスコに仕込んだ。N2雰囲気下撹拌しな
がら昇温していくと反応温度95℃位からi―
PrOHが溜出してきた。さらにp―キシレンの還
流下反応を2時間続けた。i―PrOHの溜出量は
8.9g(0.148mol)であつた。この溶液は大気中
放置し、2時間で白色結晶を析出した。固体の大
気中での安定性のデータを第1表に示した。 実施例 1 還流冷却器、撹拌機および温度計を取付けた
200mlの4つ口フラスコに参考例1で調製した
BaTiO2(Oi―Pr)2の28.5g(0.085mol)およびp
―キシレン22.8gを仕込み、N2ガス雰囲気下室
温でアセチルアセトン8.5g(0.085mol)を徐々
に滴下した。滴下に伴い発熱があり、系内に一部
沈殿が生じた。ついで、加熱し反応温度が約100
℃に達した付近からi―PrOHが溜出してきた。
それと共に沈殿も溶解してきた。約2時間の加熱
でi―PrOHが4.3g(0.072mol)溜出した。得
られた反応液(溶液)は大気中6時間放置しても
析出物なく透明であつた。得られた反応液から減
圧下、50℃までの温度で溶媒を溜出し、反応生成
物32.1gを得た。固体(該反応生成物)の大気中
での安定性のデータを第1表に示した。 該反応生成物は、IR、NMRおよび元素分析の
結果、BaTiO2(Oi―Pr)(acac)の組成式である
ことを認めた。 また、p―キシレン溶液の氷点降下測定から分
子量は840であり、2量体であると推定した。 本実施例で得られた反応生成物のIRチヤート
を第1図に示した。 元素分析値:Ba 37.2%(計算値36.6%) Ti 13.4%(計算値12.8%) 実施例 2 実施例1と同一の装置に参考例2で調製した
SrTiO2(On―Bu)225.0g(0.080mol)およびデ
カリン50mlを仕込み、N2ガス雰囲気下室温でト
リエタノールアミン6.0g(0.040mol)を少しず
つ加えた。滴下に伴い発熱があつた。そのまま加
熱昇温したところ125℃位からn―BuOHの溜出
があつた。更に一時間加熱し反応を完結した。反
応系はゲル状になつた。溜出したn―BuOHは
5.7g(0.077mol)であつた。この反応液は大気
中6時間放置しても析出物なく透明であつた。得
られたゲル状物を減圧下、90℃までの温度でデカ
リンを溜出し、反応生成物25.4g(0.081mol)を
得た。固体(該反応生成物)の大気中での安定性
のデータを第1表に示した。 該反応生成物は、IR,NMRおよび元素分析か
らSrTiO2(On―Bu)〔(OCH2CH2)2N
(CH2)2OH〕1/2 の組成式であることを認めた。 また、p―キシレン溶液の氷点降下測定から分
子量2050で、7量体と推定した。 元素分析値:Sr 28.4%(計算値27.9%) Ti 15.2%(計算値15.3%) 実施例 3 実施例1と同一の装置に参考例3で調製した
KTiO(Oi―Pr)333.9g(0.121mol)およびp―
キシレン42.9gを仕込み撹拌しながら室温でトリ
エタノールアミン18.1g(0.121mol)をゆつくり
加えた。ほとんど発熱はなかつたが、そのまま加
熱、昇温したところ、約120℃位からi―PrOH
の溜出があつた。更に1時間加熱し反応を完結し
た。得られた反応液(液体)は大気中6時間放置
しても析出物なく透明であつた。得られた溶液を
減圧下、80℃でp―キシレンを溜去し反応生成物
30.2gを得た。固体(該反応生成物)の安定性の
データを第1表に示した。 該反応生成物は、IR,NMRおよび元素分析か
らKTiO〔N(CH2CH2O)3〕の組成式であること
を認めた。またp―キシレンの氷点降下測定から
分子量750であり、3量体と推定した。 該反応生成物のIRチヤートを第2図に示した。 元素分析値:Ti 18.8%(計算値19.2%) 実施例 4 実施例1と同一の装置に参考例1で調整した
BaTiO2(Oi―Pr)214.5g(0.043mol)およびp―
キシレン11.6gと、参考例1と同様の方法で調整
したSrTiO2(Oi―Pr)212.3g(0.043mol)および
デカリン24.5gを仕込み、撹拌しながら乳酸7.7
g(0.086mol)を滴下した。発熱を伴い系内よ
り白色沈殿が析出してきた。そのまま約95℃まで
加熱、昇温し、i―PrOHを溜出させた。溜出し
たi―PrOHは9.6g(0.16mol)であつた。得ら
れた反応液(溶液)は大気中6時間放置しても析
出物なく透明であつた。析出した白色沈殿はろ別
し、p―キシレン50mlで洗浄し、乾燥して、反応
生成物24.5gを得た。固体(該反応生成物)の安
定性のデータを第1表に示した。 該反応生成物はIR,NMR(濃DCl―D2O系で白
色粉末を分解して測定)および元素分析からBa0.
5Sr0.5TiO2〔OCH(CH3)COO〕の組成式である
ことを認めた。 該反応生成物のIRチヤートを第3図に示した。 元素分析値:Ti 17.9%(計算値17.1%) 【表】 応用例 1 実施例1〜4で得られた反応生成物(複合オキ
シアルコキシド誘導体)を熱分解せしめてチタン
酸塩類を製造した。その結果を第2表に示した。 【表】 応用例 2 実施例1で得た粉末15.5g(0.0413mol)をn
―BuOH370gに溶解し、BaTiO3換算で5重量
%の溶液を調整した。この溶液は空気中に放置し
ても安定であつたので、空気中で30mm×50mm×3
mm(厚さ)の石英ガラスに浸し、約1分後に40
cm/minで引上げた。10分風乾したのち、100℃
で1時間乾燥後電気炉で1100℃で3時間焼き付け
透明なBaTiO3の膜を得た。
の製造法に関する。更に詳しくは、エレクトロニ
クス分野における素子材料、その他セラミツク材
料等として有用な複合酸化物類たとえばチタン酸
カリウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロン
チウム等の製造原料として有用な化合物群及びそ
の製造法に関する。 複合酸化物類は、チタン酸塩類を例にとると酸
化チタンとアルカリ土類金属の炭酸塩類との高温
下における固相反応により従来より工業的に製造
されている。その反応式を下記に示す。 TiO2+MCO3→MTiO3+CO2 (ここに、Mはアルカリ土類金属を表す。) しかしながら、該方法により得られる複合酸化
物類は、比較的多量の不純物を含有し、また、組
成たとえばチタン酸塩類であればTi/M比が化
学量論値とならないばかりでなく、一定の条件下
の反応であつても一定の値を示すとは限らない。
さらに、得られる複合酸化物の粒径は数μ以上
で、かつ、粒径分布も広い。したがつて、高性能
化、小型化の要求されるエロクトロニクス分野に
おける原材料として、該方法で得られる複合酸化
物類は充分な性能を有するものとはいいがたい。 これら固相反応法の欠点を改良する方法として
溶液中での化学反応による複合酸化物類の製造方
法(以下、「溶液法」という。)が提案されてお
り、一般に下記の如き特徴を有している。 (1) 不純物の除去精製が比較的容易であり、高純
度の複合酸化物類が得られる。 (2) 得られる複合酸化物類の粒径が1μ以下であ
り、かつ粒度分布が狭い。 (3) 第3物質の添加が比較的に容易であり、得ら
れる複合酸化物類の性能を目的に応じ制御でき
る。 しかしながら、公知の溶液法においてもそれぞ
れ種々の欠点を有しており、工業的に採用するに
は問題がある。 J.A.C.S.77 6194(1954)及びJ.Amer.Ceram.
Soc.49 291(1966)に記載されたチタン酸バリウ
ム(BaTiO3)の製造法によれば、水酸化バリウ
ム(Ba(OH)2)の水溶液とチタンアルコキシド
との反応により粒状BaTiO3が得られるが、得ら
れるBaTiO3のTi/Ba比を化学量論値に規制す
ることが困難である。 バリウムアルコキシドとチタンアルコキシドと
の混合アルコール溶液を加水分解せしめて
BaTiO3を製造する方法(U.S.Pat.3647364)およ
び、バリウムアルコキシドに替えてストロンチウ
ムアルコキシドを用いチタン酸ストロンチウム
(SiTiO3)を製造する方法(J.Amer.Ceram.Soc.
53 91(1970)に記載)においては原料として使
用されるバリウムアルコキシドおよびストロンチ
ウムアルコキシドが高価であり、かつ、入手困難
であるので実用的ではない。 Ba(OH)2と四塩化チタン(TiCl4)とを反応せ
しめてBaTiO3を製造する方法(U.S.
Pat.3725539)、塩化バリウム(BaCl2)とTiCl4
とを過酸化水素(H2O2)で処理せしめてBaTiO3
を製造する方法(特開昭49―69599)等の、Tiの
原料ソースとしてチタンアルコキシド以外の化合
物を用いるBaTiO3の製造法においては、得られ
るBaTiO3のTi/Ba比を化学量論値に規制する
のが困難であり、また、反応操作が煩雑である。 チタンイオンとバリウムイオンとの存在下に蓚
酸を反応せしめて得られる蓚酸チタニルバリウム
を熱分解せしめてBaTiO3を製造する方法(U.S.
Pat.2758911)においては、蓚酸塩を700℃以上の
高温で熱分解せしめるため粒径が大きくなり、ま
た、第3物質の添加が困難である等の欠点を有す
る。 本発明者らは、上記欠点の改良した溶液法によ
る複合酸化物類(特開昭57―193491、特開昭57―
196722および特開昭58―15985)を報告したが、
これらは加水分解性、CO2ガスに対する安定性等
が必しも満足なものでなかつた。そこで加水分解
性、CO2に対する安定性等の改善された複合酸化
物類とその製造法を提供すべく鋭意研究の結果、
本発明に到達した。 すなわち、本発明は 一般式〔〕 [MTiOx(OR)4―x]o ……〔〕 (ここに、各繰返し単位内において、Mはアル
カリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から
選ばれた金属を、Rは置換又は非置換のアルキル
基、アルケニル基、シクロアルキル基およびアラ
ルキル基からなる群から選ばれた1種又は2種以
上に置換基を示し、Mがアルカリ金属の場合xは
1を、Mがアルカリ土類金属の場合xは2を表
し、nは1〜100の整数、nが2以上の場合各繰
返し単位間においてM及びRは同一又は相異な
る。)で表される複合オキシアルコキシド中の、
一部又は全部のOR基がOL基(ここに、OLは、
β―ジケトン類、トリスアルコールアミン類、α
―オキシ酸類およびβ―オキシ酸類からなる群か
ら選ばれた1種又は2種以上のキレート化剤又は
そのエノール体の分子中OH基からHがとれた残
基を表す。)で置換されてなる複合オキシアルコ
キシド誘導体、及び 有機溶剤の存在下又は非存在下 一般式〔〕 Ti(OR)4 ……〔〕 (ここに、Rは前記と同じ意味を表す。) で表されるチタンアルコキシド類と 一般式〔〕 M・(OH)x ……〔〕 (ここに、M,xは、前記と同じ意味を表す。) で表される金属水酸化物とを反応せしめることに
より生成する 一般式〔〕 〔MTiOx(OR)4―x〕o ……〔〕 (ここに、R,M,x,nは、前記と同じ意味
を表す。) で表される複合オキシアルコキシドと、β―ジケ
トン類、トリスアルコールアミン類、α―オキシ
酸類およびβ―オキシ酸類からなる群から選ばれ
た1種又は2種以上のキレート化剤とを反応せし
めることにより、該複合オキシアルコキシド中
の、一部又は全部のOR基をOL基(ここに、OL
は、前記キレート化剤又はそのエノール体の分子
中OH基からHがとれた残基を表す。)で置換す
ることを特徴とする複合オキシアルコキシド誘導
体の製造法である。 本発明において、一般式〔〕中のMはアルカ
リ金属たとえばリチウム、ナトリウム、カリウム
等およびアルカリ土類金属たとえばベリリウム、
マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バ
リウム等の1種の単独であるか、マグネシウム―
ストロンチウム、カルシウム―バリウム、ストロ
ンチウム―バリウム、カルシウム―ストロンチウ
ム―バリウム、カリウム―ストロンチウム、カリ
ウム―バリウム等の2種以上の複合体である。 これらの中でカリウム・ストロンチウム、バリ
ウムおよびストロンチウム―バリウムが好まし
い。 本発明において、一般式〔〕中のRは、鎖状
アルキル基たとえばメチル基、エチル基、プロピ
ル基、ブチル基、ヘキシル基等、置換された鎖状
アルキル基たとえば1,4―ブタンジオール残
基、グリコール類残基等OH基で置換された鎖状
アルキル基、セロソルブ残基等OR′基(ここに
R′はC1〜C3のアルキル基を表す。)で置換された
アルキル基、ハロゲン原子で置換されたアルキル
基等、シクロアルキル基たとえばシクロヘキシル
基、1―メチルシクロペンチル基等、アリル基、
クロチル基等の不飽和結合を有する置換基、およ
びアラルキル基たとえばベンジル基、フエニルエ
チル基等の群から選ばれた1種の置換基もしくは
2種以上の置換基である。 これらの中で鎖状アルキル基、アルケニル基の
群から選ばれた1種以上の置換基が好ましく中で
もイソプロピル基、ブチル基が特に好ましい。 本発明において用いるキレート化剤は、分子内
に同時に2つ以上の官能基例えば水酸基、アミノ
基、カルボニル基等を有するキレート化剤であ
り、例えば、アセチルアセトン、ベンゾイルアセ
トンなどのβ―ジケトン類、アセト酢酸、プロピ
オニル酪酸、ベンゾイル酢酸、アセチルギ酸、ベ
ンゾイルギ酸などのα―またはβ―ケトン酸類、
該ケトン酸類のメチル、エチル、プロピル、ブチ
ルなどのエステル類、グリコール酸、乳酸、α―
オキシ酪酸、ヒドロアクリル酸、サリチル酸など
のα―またはβ―オキシ酸類、該α―またはβ―
オキシ酸のメチル、エチル、プロピル、ブチルな
どのエステル類、ジアセトンアルコール、アセト
インなどのα―またはβ―オキシケトン類、グリ
コールアルデヒド、アルドールなどのα―または
β―オキシアルデヒド類、グリシン、アラニンな
どのα―アミノ酸類、アミノエチルアルコールな
どのα―またはβ―アミノアルコール類等であ
り、2個の官能基を有するものの2個がキレート
形成に関与するか官能基が2個以上有するものの
うちの2個がキレート形成に関与するよう使用す
るのが好ましい。好ましいキレート化剤としては
β―ジケトン類、トリスアルコールアミン類、α
―またはβ―オキシ酸類である。 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体は、加
水分解もしくは熱分解せしめることにより容易に
チタン酸塩類を生成する。 本発明において、Mは目的とするチタン酸塩の
性能に応じ、またRはチタン酸塩とするためのハ
ンドリングの仕様に応じ適宜選択することができ
る。 本発明における複合オキシアルコキシド誘導体
は、下記式(1) nTi(OR)4+nM(OH)x→〔MTiOx(OR)4―x〕o
……(1) で生成した複合オキシアルコキシドと所望のキレ
ート化剤とを反応させる方法(以下A法とか
く。)、チタンアルコキシドとキレート化剤とを反
応させチタンアルコキシレート化合物(n量体)
を生成せしめ、n・M(OH)xとを反応させる方
法(以下B法とかく。)等により合成される。こ
れらの製法においてOR基の30%以上がキレート
化剤で置換されるのが好ましい。またA法の方が
温和な反応条件で所望する形の誘導体が得やすい
ので有利である。 A法において、(1)式の原料のチタンアルコキシ
ドとしては、テトラメトキシチタン、テトライソ
プロポキシチタン、テトラブトキシチタン、ジエ
トキシ―ジイソプロポキシチタン、ジエトキシ―
ジブトキシチタン等の鎖状アルコキシチタン類を
用いるのが好ましく、特に工業的に製造され入手
し易いテトライソプロポキシチタンおよびテトラ
ブトキシチタンを用いるのが望ましい。 (1)式の反応は、有機溶剤の存在下または非存在
下のいずれでも進行するが、有機溶剤好ましくは
芳香族炭化水素、脂環族炭化水素等の非極性有機
溶剤の存在下におこなうことにより反応が温和に
進行して有利である。 また(1)式の反応は加水分解反応の防止および炭
酸ガスの混入による炭酸塩の生成を防止するた
め、N2ガス、アルゴンガス等の不活性ガス雰囲
気下、生成するアルコールまたは使用する有機溶
剤のガス雰囲気下で行う。反応温度および反応時
間は原料の種類、有機溶剤を使用する場合はその
種類等によつて変化させることができるが、一般
的には50〜300℃、好ましくは100〜250℃の反応
温度であり、0.5〜60時間、好ましくは1〜15時
間の反応時間である。さらに好ましい態様は有機
溶剤の還流下に1〜3時間反応を行う。 複合オキシアルコキシドとキレート化剤との反
応は(1)式の反応液をそのまま継続して用い、所望
するキレート化剤をこれに添加し、反応を完結す
ることができる。 勿論、いつたん(1)式により生成する反応液から
溶剤を蒸発留去し、単離した〔MTiOx(OR)4―
x〕oと、キレート化剤とを有機溶剤中で反応せし
めることも可能である。 複合オキシアルコキシドとキレート化剤との反
応条件としては、(1)式の反応と同様加水分解や炭
酸ガスによる炭酸塩の生成を避けるため、N2ガ
ス、アルゴンガスなどの不活性ガス雰囲気下、又
は生成するアルコールもしくは使用する有機溶剤
のガス雰囲気下に行ない、空気中の水分や炭酸ガ
スの混入のない状態で行なうことが好ましい。反
応温度、反応時間は、複合オキシアルコキシドや
キレート化剤および有機溶剤を使用する場合はそ
の種類、量に依存して変化させることができる
が、一般的には0〜300℃、好ましくは20〜250℃
で、0.5〜10時間、好ましくは1〜5時間である。 本発明の〔MTiOx(OR)4―x〕を構成ユニツト
とする複合オキシアルコキシド誘導体は、原料の
種類、その配合比、有機溶剤を使用する場合はそ
の種類、および量、反応温度反応時間等の反応条
件ならびに後処理の条件によつて異るが、一般に
上記構成ユニツトのくり返し単位の平均数が1〜
100である単量体ないし重合体であり、通常の条
件下では4〜12のものが得られる。 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体は、有
機溶剤可溶性であり、有機溶剤の種類によつては
かなり高濃度の溶液を得ることができる。また、
有機溶剤可溶性であるため、使用目的により化学
的および物理的手段の選択の自由度が大きく、広
範な用途に使用できる有用な化合物である。 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体および
その製造法は下記の特徴を有している。 (イ) 比較的安価で入手し易い原料から、簡単な方
法で製造でき、経済性が高い。 (ロ) 有機溶剤可溶性であるため、スプレー法、デ
イツピング法、ノズル吹出し法等の物理的手段
と、熱分解、加水分解等の化学的変性手段を適
宜組合せることにより、微粉末状、薄膜状、繊
維状その他の所望する形状のチタン酸塩類を容
易に、かつ、経済的に製造することができる。 (ハ) 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体自体
のTi/M比が化学量論値であるため、該複合
オキシアルコキシド類から得られるチタン酸塩
類のTi/M比も化学量論値に等しいかもしく
はそれに極めて近い値のものであり、エレクト
ロニクス用素子材料としての諸特性において従
来のチタン酸塩類と比較して格段とすぐれたチ
タン酸塩類を製造することが可能である。 (ニ) 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体を適
当な条件下で加水分解または熱分解せしめるこ
とにより、粒径が極めて微細で、かつ、粒径分
布の狭い微粉末状のチタン酸塩類を製造するこ
とが可能である。 (ホ) 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体、ま
たはその有機溶剤溶液は、種々の化合物との相
溶性および均一混合性が優れているため、チタ
ン酸塩にシフター、デプレサー、半導体化剤、
焼結助剤等の添加物を均質に添加したい場合に
本発明の複合オキシアルコキシド類と上記諸添
加剤とを混合することにより、上記目的を容易
に達成することができる。 (ヘ) 本発明の複合オキシアルコキシド誘導体は、
水、炭酸ガスに対して極めて安定であり、その
為に取扱い、貯蔵に有利である。 以下、本発明を参考例、実施例、応用例を挙げ
て更に詳細に説明する。ただし本発明はこれによ
り何ら限定を受けるものではない。 各例において次の略記を用いた。 (1) i−Pr=(CH3)2CH (イソプロピル基) (2) n−Bu=CH3(CH2)3 (n―ブチル基) (3) acac=CH3COCHCOCH3 参考例 1 Ba(OH)269.9g(0.409mol)、Ti(Oi―
Pr)4116.2g(0.409mol)ならびにp―キシレン
131gを還流冷却器、撹拌機および温度計を付け
て500ml4つ口フラスコに仕込んだ、N2雰囲気下
撹拌しながら昇温していくと反応温度90℃位から
i―PrOHが溜出してきた。さらにp―キシレン
の還流下反応を2時間続けた。この間、当初の白
濁した状態から淡黄色の溶液に変化した。溜出し
たi―PrOHは51.3g(0.855モル)であつた。得
られたBaTiO2(Oi―Pr)2はp―キシレン中
1.66mmol/gであつた。この溶液は大気中放置
し、2時間で白色結晶を析出した。固体の大気中
での安定性のデータを第1表に示した。 参考例 2 Sr(CH)234.1g(0.280mol)、Ti(On―
Bu)495.2g(0.280mol)ならびにデカリン250ml
を参考例1と同一の装置に仕込み、N2雰囲気下
撹拌しながら加熱した。約185℃からn―BuOH
が溜出し始めた。n―BuOHが、これ以上溜出し
ない点で反応を終了した。溜出したn―BuOHは
42.5g(0.574mol)であつた。この溶液は大気中
放置し、2時間で白色結晶を析出した。 固体の大気中での安定性のデータを第1表に示
した。 参考例 3 KOH6.8g(0.121mol)、Ti(Oi―Pr)434.5g
(0.121mol)ならびにp―キシレン50mlを還流冷
却器、撹拌機および温度計を取りつけた100ml4
つ口フラスコに仕込んだ。N2雰囲気下撹拌しな
がら昇温していくと反応温度95℃位からi―
PrOHが溜出してきた。さらにp―キシレンの還
流下反応を2時間続けた。i―PrOHの溜出量は
8.9g(0.148mol)であつた。この溶液は大気中
放置し、2時間で白色結晶を析出した。固体の大
気中での安定性のデータを第1表に示した。 実施例 1 還流冷却器、撹拌機および温度計を取付けた
200mlの4つ口フラスコに参考例1で調製した
BaTiO2(Oi―Pr)2の28.5g(0.085mol)およびp
―キシレン22.8gを仕込み、N2ガス雰囲気下室
温でアセチルアセトン8.5g(0.085mol)を徐々
に滴下した。滴下に伴い発熱があり、系内に一部
沈殿が生じた。ついで、加熱し反応温度が約100
℃に達した付近からi―PrOHが溜出してきた。
それと共に沈殿も溶解してきた。約2時間の加熱
でi―PrOHが4.3g(0.072mol)溜出した。得
られた反応液(溶液)は大気中6時間放置しても
析出物なく透明であつた。得られた反応液から減
圧下、50℃までの温度で溶媒を溜出し、反応生成
物32.1gを得た。固体(該反応生成物)の大気中
での安定性のデータを第1表に示した。 該反応生成物は、IR、NMRおよび元素分析の
結果、BaTiO2(Oi―Pr)(acac)の組成式である
ことを認めた。 また、p―キシレン溶液の氷点降下測定から分
子量は840であり、2量体であると推定した。 本実施例で得られた反応生成物のIRチヤート
を第1図に示した。 元素分析値:Ba 37.2%(計算値36.6%) Ti 13.4%(計算値12.8%) 実施例 2 実施例1と同一の装置に参考例2で調製した
SrTiO2(On―Bu)225.0g(0.080mol)およびデ
カリン50mlを仕込み、N2ガス雰囲気下室温でト
リエタノールアミン6.0g(0.040mol)を少しず
つ加えた。滴下に伴い発熱があつた。そのまま加
熱昇温したところ125℃位からn―BuOHの溜出
があつた。更に一時間加熱し反応を完結した。反
応系はゲル状になつた。溜出したn―BuOHは
5.7g(0.077mol)であつた。この反応液は大気
中6時間放置しても析出物なく透明であつた。得
られたゲル状物を減圧下、90℃までの温度でデカ
リンを溜出し、反応生成物25.4g(0.081mol)を
得た。固体(該反応生成物)の大気中での安定性
のデータを第1表に示した。 該反応生成物は、IR,NMRおよび元素分析か
らSrTiO2(On―Bu)〔(OCH2CH2)2N
(CH2)2OH〕1/2 の組成式であることを認めた。 また、p―キシレン溶液の氷点降下測定から分
子量2050で、7量体と推定した。 元素分析値:Sr 28.4%(計算値27.9%) Ti 15.2%(計算値15.3%) 実施例 3 実施例1と同一の装置に参考例3で調製した
KTiO(Oi―Pr)333.9g(0.121mol)およびp―
キシレン42.9gを仕込み撹拌しながら室温でトリ
エタノールアミン18.1g(0.121mol)をゆつくり
加えた。ほとんど発熱はなかつたが、そのまま加
熱、昇温したところ、約120℃位からi―PrOH
の溜出があつた。更に1時間加熱し反応を完結し
た。得られた反応液(液体)は大気中6時間放置
しても析出物なく透明であつた。得られた溶液を
減圧下、80℃でp―キシレンを溜去し反応生成物
30.2gを得た。固体(該反応生成物)の安定性の
データを第1表に示した。 該反応生成物は、IR,NMRおよび元素分析か
らKTiO〔N(CH2CH2O)3〕の組成式であること
を認めた。またp―キシレンの氷点降下測定から
分子量750であり、3量体と推定した。 該反応生成物のIRチヤートを第2図に示した。 元素分析値:Ti 18.8%(計算値19.2%) 実施例 4 実施例1と同一の装置に参考例1で調整した
BaTiO2(Oi―Pr)214.5g(0.043mol)およびp―
キシレン11.6gと、参考例1と同様の方法で調整
したSrTiO2(Oi―Pr)212.3g(0.043mol)および
デカリン24.5gを仕込み、撹拌しながら乳酸7.7
g(0.086mol)を滴下した。発熱を伴い系内よ
り白色沈殿が析出してきた。そのまま約95℃まで
加熱、昇温し、i―PrOHを溜出させた。溜出し
たi―PrOHは9.6g(0.16mol)であつた。得ら
れた反応液(溶液)は大気中6時間放置しても析
出物なく透明であつた。析出した白色沈殿はろ別
し、p―キシレン50mlで洗浄し、乾燥して、反応
生成物24.5gを得た。固体(該反応生成物)の安
定性のデータを第1表に示した。 該反応生成物はIR,NMR(濃DCl―D2O系で白
色粉末を分解して測定)および元素分析からBa0.
5Sr0.5TiO2〔OCH(CH3)COO〕の組成式である
ことを認めた。 該反応生成物のIRチヤートを第3図に示した。 元素分析値:Ti 17.9%(計算値17.1%) 【表】 応用例 1 実施例1〜4で得られた反応生成物(複合オキ
シアルコキシド誘導体)を熱分解せしめてチタン
酸塩類を製造した。その結果を第2表に示した。 【表】 応用例 2 実施例1で得た粉末15.5g(0.0413mol)をn
―BuOH370gに溶解し、BaTiO3換算で5重量
%の溶液を調整した。この溶液は空気中に放置し
ても安定であつたので、空気中で30mm×50mm×3
mm(厚さ)の石英ガラスに浸し、約1分後に40
cm/minで引上げた。10分風乾したのち、100℃
で1時間乾燥後電気炉で1100℃で3時間焼き付け
透明なBaTiO3の膜を得た。
第1図 実施例1で得られた反応生成物のIR
チヤート。第2図 実施例3で得られた反応生成
物のIRチヤート。第3図 実施例4で得られた
反応生成物のIRチヤート。
チヤート。第2図 実施例3で得られた反応生成
物のIRチヤート。第3図 実施例4で得られた
反応生成物のIRチヤート。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 一般式〔〕 [MTiOx(OR)4―x]o ……〔1〕 (ここに、各繰返し単位内において、Mはアル
カリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から
選ばれた金属を、Rは置換又は非置換のアルキル
基、アルケニル基、シクロアルキル基およびアラ
ルキル基からなる群から選ばれた1種又は2種以
上に置換基を示し、Mがアルカリ金属の場合xは
1を、Mがアルカリ土類金属の場合xは2を表
し、nは1〜100の整数、nが2以上の場合各繰
返し単位間においてM及びRは同一又は相異な
る。)で表される複合オキシアルコキシド中の、
一部又は全部のOR基がOL基(ここに、OLは、
β―ジケトン類、トリスアルコールアミン類、α
―オキシ酸類およびβ―オキシ酸類からなる群か
ら選ばれた1種又は2種以上のキレート化剤又は
そのエノール体の分子中OH基からHがとれた残
基を表す。)で置換されてなる複合オキシアルコ
キシド誘導体。 2 一般式〔〕においてMがカリウム、ストロ
ンチウム、バリウムおよびストロンチウム―バリ
ウムのいずれかである特許請求の範囲第1項記載
の複合オキシアルコキシド誘導体。 3 一般式〔〕において、Rが鎖状アルキル
基、アルケニル基の群から選ばれた1種又は2種
以上の置換基である特許請求の範囲第1項記載の
複合オキシアルコキシド誘導体。 4 一般式〔〕において、Rがイソロピル基、
ブチルである特許請求の範囲第1項記載の複合オ
キシアルコキシド誘導体。 5 有機溶剤の存在下又は非存在下 一般式〔〕 Ti(OR)4 ……〔〕 (ここに、Rは前記と同じ意味を表す。) で表されるチタンアルコキシド類と、 一般式〔〕 M・(OH)x ……〔〕 (ここに、M,xは、前記と同じ意味を表す。) で表される金属水酸化物とを反応せしめることに
より生成する。 一般式〔〕 〔MTiOx(OR)4―x〕o ……〔〕 (ここに、M,R,x,nは、前記と同じ意味
を表す。) で表される複合オキシアルコキシドと、β―ジケ
トン類、トリスアルコールアミン類、α―オキシ
酸類およびβ―オキシ酸類からなる群から選ばれ
た1種又は2種以上のキレート化剤とを反応せし
めることにより、該複合オキシアルコキシド中
の、一部又は全部のOR基をOL基(ここに、OL
は、前記キレート化剤又はそのエノール体の分子
中OH基からHがとれた残基を表す。)で置換す
ることを特徴とする複合オキシアルコキシド誘導
体の製造法。 6 一般式〔〕においてMがカリウム、ストロ
ンチウム、バリウムおよびストロンチウム―バリ
ウムのいずれかである特許請求の範囲第5項記載
の複合オキシアルコキシド誘導体の製造法。 7 一般式〔〕において、Rが鎖状アルキル
基、アルケニル基の群から選ばれた1種又は2種
以上の置換基である特許請求の範囲第5項記載の
複合オキシアルコキシド誘導体の製造法。 8 一般式〔〕において、Rがイソロピル基、
ブチル基である特許請求の範囲第5項記載の複合
オキシアルコキシド誘導体の製造法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17347481A JPS5874693A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 複合オキシアルコキシド誘導体及びその製造法 |
| EP82901538A EP0079392B1 (en) | 1981-05-25 | 1982-05-25 | Composite oxyalkoxides and derivatives thereof |
| PCT/JP1982/000190 WO1982004254A1 (fr) | 1981-05-25 | 1982-05-25 | Oxyalcoxydes composites et leurs derives |
| IT8248858A IT1212560B (it) | 1981-07-21 | 1982-07-20 | Ossi-alcossidi metallici misti eloro derivati, e procedimento per la loro sintesi |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17347481A JPS5874693A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 複合オキシアルコキシド誘導体及びその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5874693A JPS5874693A (ja) | 1983-05-06 |
| JPH0158196B2 true JPH0158196B2 (ja) | 1989-12-11 |
Family
ID=15961149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17347481A Granted JPS5874693A (ja) | 1981-05-25 | 1981-10-29 | 複合オキシアルコキシド誘導体及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5874693A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010528984A (ja) * | 2007-05-03 | 2010-08-26 | オーテラ インコーポレイテッド | チタニルのモノマーおよびポリマーを含有する生成物ならびにその製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004507551A (ja) * | 2000-08-28 | 2004-03-11 | アドバンスト テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | ソース材料組成物および化学的蒸着法による基板上への金属膜形成方法 |
-
1981
- 1981-10-29 JP JP17347481A patent/JPS5874693A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010528984A (ja) * | 2007-05-03 | 2010-08-26 | オーテラ インコーポレイテッド | チタニルのモノマーおよびポリマーを含有する生成物ならびにその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5874693A (ja) | 1983-05-06 |
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