JPH0158942U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158942U JPH0158942U JP15511287U JP15511287U JPH0158942U JP H0158942 U JPH0158942 U JP H0158942U JP 15511287 U JP15511287 U JP 15511287U JP 15511287 U JP15511287 U JP 15511287U JP H0158942 U JPH0158942 U JP H0158942U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- wafer
- contact
- comes
- pasting
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例を示す構成図、
第２図は本考案の第２の実施例を示す構成図、第
３図は本考案の第３の実施例を示す構成図、第４
図、第５図は従来のウエハ貼付器の構成図である
。 １１ａ，２１ａ，３１ａ……ビニールシート（
シート）、１３，２３，３３……ウエハ、１５，
１６，２５，２６……ローラ（導電性接触部材）
、３５，３６……接触片（導電性接触部材）。
第２図は本考案の第２の実施例を示す構成図、第
３図は本考案の第３の実施例を示す構成図、第４
図、第５図は従来のウエハ貼付器の構成図である
。 １１ａ，２１ａ，３１ａ……ビニールシート（
シート）、１３，２３，３３……ウエハ、１５，
１６，２５，２６……ローラ（導電性接触部材）
、３５，３６……接触片（導電性接触部材）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 シートにウエハを貼り付けるウエハ貼付器にお
いて、 上記シートがウエハに接触する前に接触する接
地した導電性接触部材を備えたことを特徴とする
静電気除去機能付きウエハ貼付器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15511287U JPH0158942U (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15511287U JPH0158942U (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158942U true JPH0158942U (ja) | 1989-04-13 |
Family
ID=31432442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15511287U Pending JPH0158942U (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0158942U (ja) |
-
1987
- 1987-10-09 JP JP15511287U patent/JPH0158942U/ja active Pending