JPH0160754B2 - - Google Patents
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- JPH0160754B2 JPH0160754B2 JP23073884A JP23073884A JPH0160754B2 JP H0160754 B2 JPH0160754 B2 JP H0160754B2 JP 23073884 A JP23073884 A JP 23073884A JP 23073884 A JP23073884 A JP 23073884A JP H0160754 B2 JPH0160754 B2 JP H0160754B2
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
- F24H9/00—Details
- F24H9/20—Arrangement or mounting of control or safety devices
- F24H9/2007—Arrangement or mounting of control or safety devices for water heaters
- F24H9/2014—Arrangement or mounting of control or safety devices for water heaters using electrical energy supply
- F24H9/2021—Storage heaters
-
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- F24H1/10—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium
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-
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- F24H15/37—Control of heat-generating means in heaters of electric heaters
-
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、脱イオン化水の加熱装置に関する。
脱イオン化水は、その脱イオン化の程度に応じ
て純水、高純水又は超純水とも呼ばれ、多くの物
質をイオン化して溶解させる性質があり、洗浄力
が高いので、半導体ウエハ、メツキ製品、化学機
器等の洗浄に使用される。また、脱イオン化水
は、加熱して温度を高めると、洗浄力が更に高く
なるので、加熱した温水状態で使用すれば、洗浄
度を高め、洗浄水を節約することができる。
て純水、高純水又は超純水とも呼ばれ、多くの物
質をイオン化して溶解させる性質があり、洗浄力
が高いので、半導体ウエハ、メツキ製品、化学機
器等の洗浄に使用される。また、脱イオン化水
は、加熱して温度を高めると、洗浄力が更に高く
なるので、加熱した温水状態で使用すれば、洗浄
度を高め、洗浄水を節約することができる。
ところが、脱イオン化水を加熱する場合、脱イ
オン化水と接触するタンクの内面やヒータの外面
が脱イオン化水によつて溶解し、その溶解物質に
よつて脱イオン化水が汚染されてしまうことがあ
る。そこで、タンクの内面やヒータの外面を脱イ
オン化水に不活性な材料、たとえば弗化炭素樹脂
で被覆することが考えられるが、ヒータの被覆が
厚いと、ヒータの加熱能力が低下し、また、ヒー
タの被覆が薄いと、その被覆にピンホールが発生
してヒータの外面が溶解し、その溶解物質によつ
て脱イオン化水が汚染されてしまうことがある。
オン化水と接触するタンクの内面やヒータの外面
が脱イオン化水によつて溶解し、その溶解物質に
よつて脱イオン化水が汚染されてしまうことがあ
る。そこで、タンクの内面やヒータの外面を脱イ
オン化水に不活性な材料、たとえば弗化炭素樹脂
で被覆することが考えられるが、ヒータの被覆が
厚いと、ヒータの加熱能力が低下し、また、ヒー
タの被覆が薄いと、その被覆にピンホールが発生
してヒータの外面が溶解し、その溶解物質によつ
て脱イオン化水が汚染されてしまうことがある。
即ち、脱イオン化水を能率よく加熱するのは非
常に困難である。
常に困難である。
本発明の目的は、上記のような欠点を改善し、
脱イオン化水を能率よく加熱することのできる加
熱装置を提供することである。
脱イオン化水を能率よく加熱することのできる加
熱装置を提供することである。
本発明は、脱イオン化水に不活性な材料で内面
を形成したタンクに、脱イオン化水に不活性な材
料で製作した外装管に電熱線を挿入したヒータを
内蔵し、ヒータの外装管の一端に乾燥ガスをタン
ク内の脱イオン化水より低い圧力で供給する乾燥
ガス供給装置を接続し、ヒータの外装管の他端に
乾燥ガスの湿度上昇を検出する湿度計を接続した
ことを特徴とする脱イオン化水の加熱装置であ
る。
を形成したタンクに、脱イオン化水に不活性な材
料で製作した外装管に電熱線を挿入したヒータを
内蔵し、ヒータの外装管の一端に乾燥ガスをタン
ク内の脱イオン化水より低い圧力で供給する乾燥
ガス供給装置を接続し、ヒータの外装管の他端に
乾燥ガスの湿度上昇を検出する湿度計を接続した
ことを特徴とする脱イオン化水の加熱装置であ
る。
この加熱装置においては、タンクの内面とヒー
タの外装管を脱イオン化水に不活性な材料で形成
しているので、それらが脱イオン化水によつて溶
解するおそれが少ない。また、ヒータの外装管に
ピンホールが発生した場合、タンク内の脱イオン
化水とヒータの外装管内の乾燥ガスの圧力差によ
り、そのピンホールを経てタンク内の脱イオン化
水がヒータの外装管内に微少量流入し、その微少
量の脱イオン化水が外装管内の電熱線に直接付着
せずに、外装管と電熱線の間を流通する乾燥ガス
に混入し、乾燥ガスの湿度が上昇して、その湿度
上昇が湿度計によつて検出されるので、ピンホー
ルの発生が検出される。また、ピンホールの発生
に伴つて生ずる汚染物質がヒータの外装管内に流
入するので、タンク内の脱イオン化水の汚染が防
止される。従つて、ヒータの外装管の肉厚を厚く
してヒータの加熱能力を低下させなくてもよい。
タの外装管を脱イオン化水に不活性な材料で形成
しているので、それらが脱イオン化水によつて溶
解するおそれが少ない。また、ヒータの外装管に
ピンホールが発生した場合、タンク内の脱イオン
化水とヒータの外装管内の乾燥ガスの圧力差によ
り、そのピンホールを経てタンク内の脱イオン化
水がヒータの外装管内に微少量流入し、その微少
量の脱イオン化水が外装管内の電熱線に直接付着
せずに、外装管と電熱線の間を流通する乾燥ガス
に混入し、乾燥ガスの湿度が上昇して、その湿度
上昇が湿度計によつて検出されるので、ピンホー
ルの発生が検出される。また、ピンホールの発生
に伴つて生ずる汚染物質がヒータの外装管内に流
入するので、タンク内の脱イオン化水の汚染が防
止される。従つて、ヒータの外装管の肉厚を厚く
してヒータの加熱能力を低下させなくてもよい。
結局、脱イオン化水を能率よく加熱することが
できる。
できる。
次に、本発明の実施例について説明する。
本例の加熱装置は、第１図に示すように、円筒
状のステンレス鋼製のタンク１の内面に弗化炭素
樹脂２、たとえば弗化ビニリデン樹脂又は米国デ
ユポン社の商品で商標名「テフロン」を内張り
し、タンク１の下端に弗化炭素樹脂製の流入管３
を接続し、流入管３の途中に弗化炭素樹脂製の弁
４を設け、流入管３の端を図示しない脱イオン化
水製造機に接続し、また、タンク１の上端に弗化
炭素樹脂製の流出管５を接続し、流出管５の途中
に弗化炭素樹脂製の弁６を設け、更に、タンク１
内にコイル状のヒータ７を設けている。ヒータ７
は、第２図に示すように、弗化炭素樹脂製の外装
管８内に耐熱性のガラス繊維を編んだ保護管９を
挿入し、保護管９内にコイル状の電熱線１０を挿
入している。タンク１の下端と上端から導出した
ヒータ７の両端の電熱線１０には、図示しないス
イツチを介入して電源を接続している。ヒータ７
の下端の外装管８は、タンク１の下端に設けた乾
燥ガスの充填室１７内に開口し、充填室１７に弁
１１付のガス供給管１２を接続し、ガス供給管１
２の端に乾燥ガス供給装置１３を接続し、また、
ヒータ７の上端の外装管８は、タンク１の上端に
設けた乾燥ガスの放出室１８内に開口し、放出室
１８に弁１４付のガス排出管１５を接続し、ガス
排出管１５の途中に湿度計１６を接続している。
乾燥ガス供給装置１３から供給する圧縮空気、ヘ
リウム、アルゴン又は窒素等の乾燥ガスは、タン
ク内のヒータの外装管８内にタンク１内の脱イオ
ン化水より低い圧力で圧送し、ヒータの外装管９
にピンホールが発生する等の原因により乾燥ガス
の湿度が上昇すると、その湿度上昇を湿度計１６
で検出し、脱イオン化水製造機の運転とヒータ７
の作動を停止させると共に警報を発するように装
置している。
状のステンレス鋼製のタンク１の内面に弗化炭素
樹脂２、たとえば弗化ビニリデン樹脂又は米国デ
ユポン社の商品で商標名「テフロン」を内張り
し、タンク１の下端に弗化炭素樹脂製の流入管３
を接続し、流入管３の途中に弗化炭素樹脂製の弁
４を設け、流入管３の端を図示しない脱イオン化
水製造機に接続し、また、タンク１の上端に弗化
炭素樹脂製の流出管５を接続し、流出管５の途中
に弗化炭素樹脂製の弁６を設け、更に、タンク１
内にコイル状のヒータ７を設けている。ヒータ７
は、第２図に示すように、弗化炭素樹脂製の外装
管８内に耐熱性のガラス繊維を編んだ保護管９を
挿入し、保護管９内にコイル状の電熱線１０を挿
入している。タンク１の下端と上端から導出した
ヒータ７の両端の電熱線１０には、図示しないス
イツチを介入して電源を接続している。ヒータ７
の下端の外装管８は、タンク１の下端に設けた乾
燥ガスの充填室１７内に開口し、充填室１７に弁
１１付のガス供給管１２を接続し、ガス供給管１
２の端に乾燥ガス供給装置１３を接続し、また、
ヒータ７の上端の外装管８は、タンク１の上端に
設けた乾燥ガスの放出室１８内に開口し、放出室
１８に弁１４付のガス排出管１５を接続し、ガス
排出管１５の途中に湿度計１６を接続している。
乾燥ガス供給装置１３から供給する圧縮空気、ヘ
リウム、アルゴン又は窒素等の乾燥ガスは、タン
ク内のヒータの外装管８内にタンク１内の脱イオ
ン化水より低い圧力で圧送し、ヒータの外装管９
にピンホールが発生する等の原因により乾燥ガス
の湿度が上昇すると、その湿度上昇を湿度計１６
で検出し、脱イオン化水製造機の運転とヒータ７
の作動を停止させると共に警報を発するように装
置している。
本例の加熱装置を作動すると、脱イオン化水製
造機から供給される脱イオン化水は、流入管３を
経てタンク１内に流入し、タンク１内において作
動中のヒータ７によつて加熱されて温水になり、
流出管５を経て流出する。この流出した温水の脱
イオン化水は半導体ウエハ等の洗浄に使用され
る。一方、乾燥ガス供給装置１３から供給される
乾燥ガスは、ガス供給管１２と充填室１７を経て
ヒータの外装管８内に流入し、タンク１内の外装
管８内を圧送され、放出室１８とガス排出管１５
を経て流出する。
造機から供給される脱イオン化水は、流入管３を
経てタンク１内に流入し、タンク１内において作
動中のヒータ７によつて加熱されて温水になり、
流出管５を経て流出する。この流出した温水の脱
イオン化水は半導体ウエハ等の洗浄に使用され
る。一方、乾燥ガス供給装置１３から供給される
乾燥ガスは、ガス供給管１２と充填室１７を経て
ヒータの外装管８内に流入し、タンク１内の外装
管８内を圧送され、放出室１８とガス排出管１５
を経て流出する。
なお、タンク１内の脱イオン化水の圧力は、通
常、３〜４Kgｆ／cm2位であり、ヒータの外装管８
内の乾燥ガスの圧力は、通常、1.5Kgｆ／cm2位で
ある。
常、３〜４Kgｆ／cm2位であり、ヒータの外装管８
内の乾燥ガスの圧力は、通常、1.5Kgｆ／cm2位で
ある。
万一、タンク１内のヒータの外装管８にピンホ
ールが発生した場合は、そのピンホールを経てタ
ンク１内の脱イオン化水がヒータの外装管８内に
微少量流入し、その微少量の脱イオン化水がヒー
タの外装管８内を流通する乾燥ガスに混入し、乾
燥ガスの湿度が上昇して、その湿度上昇が湿度計
１６によつて検出され、脱イオン化水製造機の運
転とヒータ７の作動が停止すると共に警報が発せ
られる。また、ピンホールの発生に伴つて生じた
汚染物質は、脱イオン化水と共に、ヒータの外装
管８内の乾燥ガスに混入する。なお、ヒータの外
装管８内に流入した微少量の脱イオン化水は、外
装管内の電熱線１０の周囲を流通する乾燥ガスに
混入し、電熱線１０に直接付着しない。
ールが発生した場合は、そのピンホールを経てタ
ンク１内の脱イオン化水がヒータの外装管８内に
微少量流入し、その微少量の脱イオン化水がヒー
タの外装管８内を流通する乾燥ガスに混入し、乾
燥ガスの湿度が上昇して、その湿度上昇が湿度計
１６によつて検出され、脱イオン化水製造機の運
転とヒータ７の作動が停止すると共に警報が発せ
られる。また、ピンホールの発生に伴つて生じた
汚染物質は、脱イオン化水と共に、ヒータの外装
管８内の乾燥ガスに混入する。なお、ヒータの外
装管８内に流入した微少量の脱イオン化水は、外
装管内の電熱線１０の周囲を流通する乾燥ガスに
混入し、電熱線１０に直接付着しない。
このように、ヒータの外装管８にピンホールが
発生しても、ピンホールの発生が検出されると共
に、脱イオン化水の汚染が防止されるので、ヒー
タの外装管８の肉厚を薄くしてヒータ７の加熱能
力を高めることができ、従つて、脱イオン化水を
能率よく加熱することができる。
発生しても、ピンホールの発生が検出されると共
に、脱イオン化水の汚染が防止されるので、ヒー
タの外装管８の肉厚を薄くしてヒータ７の加熱能
力を高めることができ、従つて、脱イオン化水を
能率よく加熱することができる。
第１図は本発明の実施例の脱イオン化水の加熱
装置の縦断略示正面図であり、第２図は同加熱装
置のヒータの一部破断斜視図である。 １：タンク、７：ヒータ、８：外装管、１０：
電熱線、１３：乾燥ガス供給装置、１６：湿度
計。
装置の縦断略示正面図であり、第２図は同加熱装
置のヒータの一部破断斜視図である。 １：タンク、７：ヒータ、８：外装管、１０：
電熱線、１３：乾燥ガス供給装置、１６：湿度
計。
Claims (1)
- １ 脱イオン化水に不活性な材料で内面を形成し
たタンクに、脱イオン化水に不活性な材料で製作
した外装管に電熱線を挿入したヒータを内蔵し、
ヒータの外装管の一端に乾燥ガスをタンク内の脱
イオン化水より低い圧力で供給する乾燥ガス供給
装置を接続し、ヒータの外装管の他端に乾燥ガス
の湿度上昇を検出する湿度計を接続したことを特
徴とする脱イオン化水の加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59230738A JPS61107046A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 脱イオン化水の加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59230738A JPS61107046A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 脱イオン化水の加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61107046A JPS61107046A (ja) | 1986-05-24 |
| JPH0160754B2 true JPH0160754B2 (ja) | 1989-12-25 |
Family
ID=16912525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59230738A Granted JPS61107046A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 脱イオン化水の加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61107046A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105674457B (zh) * | 2016-01-28 | 2018-08-24 | 温州医科大学 | 基于蜗牛状加热轨道的可回收式医用加湿方法及加湿器 |
-
1984
- 1984-10-31 JP JP59230738A patent/JPS61107046A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61107046A (ja) | 1986-05-24 |
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