JPH0164007U - - Google Patents

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JPH0164007U
JPH0164007U JP1987159569U JP15956987U JPH0164007U JP H0164007 U JPH0164007 U JP H0164007U JP 1987159569 U JP1987159569 U JP 1987159569U JP 15956987 U JP15956987 U JP 15956987U JP H0164007 U JPH0164007 U JP H0164007U
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target sheet
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displacement measuring
optical displacement
microcube
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の光学式変位測定装置用ターゲ
ツトシートの一実施例を示す構成図、第２図は本
考案の光学式変位測定装置用ターゲツトシートが
使用される光学式変位測定装置の一例を示す構成
図、第３図はターゲツトシートＴＳにおけるナチ
ユラルパターンＰｎの様子を示す図、第４図はタ
ーゲツトシートＴＳに形成する格子パターンＰｍ
の様子を示す図である。 １……光源、２１，２２……ハーフミラー、３
１，３２……レンズ、４……絞り、５ｘ，５ｙ…
…イメージセンサ、６……信号処理回路、ＴＧ…
…被測定物体（ターゲツト）、ＴＳ……ターゲツ
トシート、ＭＣＣ……マイクロキユーブコーナ、
Ｐｎ……ナチユラルパターン、Ｐｍ……格子パタ
ーン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マイクロキユーブコーナを一面に敷詰めるとと
    もにその表面に直交座標Ｘ、Ｙに応じた格子パタ
    ーンを形成するようにした光学式変位測定装置用
    ターゲツトシートにおいて、前記マイクロキユー
    ブコーナにより形成されるナチユラルパターンに
    対してこのナチユラルパターンが線対称となるよ
    うな対称軸を任意に選択するとともに、前記格子
    パターンに対してＸ＝Ｙなる直線を求め、この直
    線が前記対称軸と一致するように前記格子パター
    ンを形成してなる光学式変位測定装置用ターゲツ
    トシート。
JP15956987U 1987-10-19 1987-10-19 Expired - Lifetime JPH0543366Y2 (ja)

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JP15956987U JPH0543366Y2 (ja) 1987-10-19 1987-10-19

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JP15956987U JPH0543366Y2 (ja) 1987-10-19 1987-10-19

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Publication Number Publication Date
JPH0164007U true JPH0164007U (ja) 1989-04-25
JPH0543366Y2 JPH0543366Y2 (ja) 1993-11-01

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ID=31440898

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JP15956987U Expired - Lifetime JPH0543366Y2 (ja) 1987-10-19 1987-10-19

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JP (1) JPH0543366Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5373986B1 (ja) * 2013-02-15 2013-12-18 株式会社Ｉｈｉ 不陸寸法計測方法及び装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5373986B1 (ja) * 2013-02-15 2013-12-18 株式会社Ｉｈｉ 不陸寸法計測方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0543366Y2 (ja) 1993-11-01

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