JPH0165644U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0165644U JPH0165644U JP1987159356U JP15935687U JPH0165644U JP H0165644 U JPH0165644 U JP H0165644U JP 1987159356 U JP1987159356 U JP 1987159356U JP 15935687 U JP15935687 U JP 15935687U JP H0165644 U JPH0165644 U JP H0165644U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- sample
- partition plate
- loading mechanism
- reaction chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図、第２図は本案の第１の実施例の斜視図
、第３図は本案の第２の実施例の斜視図、第４図
は従来のマスクローデイング機構の一例の斜視図
である。 記号の説明：１…フオトマスク、２…ホルダ、
３…仕切弁、４…予備室、５…開閉扉、６…ピツ
クアツプ、７…Ｘ―Ｙステージ、８…エレベータ
、９…ハンドラ、１１…フオトマスク、１２…ホ
ルダ、１３…仕切弁、１４…予備室、１５…開閉
扉、１６…ピツクアツプ、１７…Ｘ―Ｙステージ
、１８…回転軸、１６１…吸着チヤツク。
、第３図は本案の第２の実施例の斜視図、第４図
は従来のマスクローデイング機構の一例の斜視図
である。 記号の説明：１…フオトマスク、２…ホルダ、
３…仕切弁、４…予備室、５…開閉扉、６…ピツ
クアツプ、７…Ｘ―Ｙステージ、８…エレベータ
、９…ハンドラ、１１…フオトマスク、１２…ホ
ルダ、１３…仕切弁、１４…予備室、１５…開閉
扉、１６…ピツクアツプ、１７…Ｘ―Ｙステージ
、１８…回転軸、１６１…吸着チヤツク。
Claims (1)
- 反応室の一部または外部に、該反応室とは仕切
板で、外界とは開閉扉で境した気密の予備室を設
け、ホルダに取付けた試料を該予備室を通つて該
反応室気密を保持した状態で搬入し装着する方式
の真空処理装置における試料ローデイング機構で
あつて、前記仕切り板が、一端が固定された回転
軸の回りに回転可能であり、ほぼ中央部に前記ホ
ルダを、該仕切板が閉じたときは該ホルダが前記
予備室内の試料ホールド位置するように、又該仕
切板が開いたときは該ホルダが試料ピツクアツプ
位置にあるように装着したことを特徴とする、真
空処理装置における試料ローデイング機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987159356U JPH0165644U (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987159356U JPH0165644U (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0165644U true JPH0165644U (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=31440494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987159356U Pending JPH0165644U (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0165644U (ja) |
-
1987
- 1987-10-20 JP JP1987159356U patent/JPH0165644U/ja active Pending
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