JPS6355531U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6355531U JPS6355531U JP14785186U JP14785186U JPS6355531U JP S6355531 U JPS6355531 U JP S6355531U JP 14785186 U JP14785186 U JP 14785186U JP 14785186 U JP14785186 U JP 14785186U JP S6355531 U JPS6355531 U JP S6355531U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- entrance
- reaction chamber
- lid
- fork
- hole
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
第１図は従来のソフトランデングローダ装置の
説明図、第２図及び第３図は本案実施例の側面図
及び正面図、第４図は本案の作用説明図である。 １……石英管、２……フオーク、３……半導体
ウエハ、４……蓋体、５……貫通孔、６……フオ
ーク水平移動用ローラ、７……重錘、８……アー
ム部、９……回動軸、１０……蓋体の上下移動用
ローラ。
説明図、第２図及び第３図は本案実施例の側面図
及び正面図、第４図は本案の作用説明図である。 １……石英管、２……フオーク、３……半導体
ウエハ、４……蓋体、５……貫通孔、６……フオ
ーク水平移動用ローラ、７……重錘、８……アー
ム部、９……回動軸、１０……蓋体の上下移動用
ローラ。
Claims (1)
- 半導体ウエハ搬送装置のフオークが移動自在に
挿通される貫通孔を中央部に有する反応室の入口
封鎖用蓋体と、反応室の入口近傍に回動自在に設
けられた上記蓋体押圧用アーム部とよりなること
を特徴とする半導体ウエハのソフトランデングロ
ーダ装置における外気巻込防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14785186U JPS6355531U (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14785186U JPS6355531U (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6355531U true JPS6355531U (ja) | 1988-04-14 |
Family
ID=31061595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14785186U Pending JPS6355531U (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6355531U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01183813A (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-21 | Tel Sagami Ltd | 熱処理炉に対する被処理体の搬送装置及び熱処理方法 |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP14785186U patent/JPS6355531U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01183813A (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-21 | Tel Sagami Ltd | 熱処理炉に対する被処理体の搬送装置及び熱処理方法 |