JPH0165850U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0165850U JPH0165850U JP1987160763U JP16076387U JPH0165850U JP H0165850 U JPH0165850 U JP H0165850U JP 1987160763 U JP1987160763 U JP 1987160763U JP 16076387 U JP16076387 U JP 16076387U JP H0165850 U JPH0165850 U JP H0165850U
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- JP
- Japan
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- heat insulating
- induction heating
- insulating member
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- vapor deposition
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- Pending
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
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Landscapes
- Furnace Details (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図、第２図は本考案断熱部材をソレノイド
コイル誘導加熱方式蒸着真空装置に適用した場合
を示す図で、第１図はその縦断面図、第２図は第
１図のＡ―Ａ矢視断面図である。第３図、第４図
は本考案断熱部材をトランスバースコイル誘導加
熱方式蒸着真空装置に適用した場合を示す図で、
第３図はその縦断面図、第４図は第３図のＢ―Ｂ
矢視断面図である。第５図、第６図は本考案断熱
部材を説明する図で、第５図はそのうちの一つの
斜視図、第６図は他のものゝ断面である。第７図
、第８図は従来の断熱材を適用したソレノイドコ
イル誘導加熱方式蒸着真空装置及びトランスバー
スコイル誘導加熱方式蒸着装置をそれぞれ示す。 図において、１は真空容器、２は反射板、３は
ソレノイド誘導加熱コイル、４はトランスバース
誘導加熱コイル、５は被蒸着板、６はるつぼ、７
は綿状、繊維状又は多孔質セラミツクス断熱材、
８は溶融金属、９はハニカム構造セラミツクス断
熱部材である。
コイル誘導加熱方式蒸着真空装置に適用した場合
を示す図で、第１図はその縦断面図、第２図は第
１図のＡ―Ａ矢視断面図である。第３図、第４図
は本考案断熱部材をトランスバースコイル誘導加
熱方式蒸着真空装置に適用した場合を示す図で、
第３図はその縦断面図、第４図は第３図のＢ―Ｂ
矢視断面図である。第５図、第６図は本考案断熱
部材を説明する図で、第５図はそのうちの一つの
斜視図、第６図は他のものゝ断面である。第７図
、第８図は従来の断熱材を適用したソレノイドコ
イル誘導加熱方式蒸着真空装置及びトランスバー
スコイル誘導加熱方式蒸着装置をそれぞれ示す。 図において、１は真空容器、２は反射板、３は
ソレノイド誘導加熱コイル、４はトランスバース
誘導加熱コイル、５は被蒸着板、６はるつぼ、７
は綿状、繊維状又は多孔質セラミツクス断熱材、
８は溶融金属、９はハニカム構造セラミツクス断
熱部材である。
Claims (1)
- ハニカム構造をもつセラミツクスを熱流方向に
対してハニカム孔を垂直となるように配置してな
ることを特徴とする真空装置用断熱部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987160763U JPH0165850U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987160763U JPH0165850U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0165850U true JPH0165850U (ja) | 1989-04-27 |
Family
ID=31443113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987160763U Pending JPH0165850U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0165850U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012021742A (ja) * | 2010-07-16 | 2012-02-02 | Murata Mfg Co Ltd | 熱処理炉 |
-
1987
- 1987-10-22 JP JP1987160763U patent/JPH0165850U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012021742A (ja) * | 2010-07-16 | 2012-02-02 | Murata Mfg Co Ltd | 熱処理炉 |