JPH0166047U - - Google Patents

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JPH0166047U
JPH0166047U JP1987162355U JP16235587U JPH0166047U JP H0166047 U JPH0166047 U JP H0166047U JP 1987162355 U JP1987162355 U JP 1987162355U JP 16235587 U JP16235587 U JP 16235587U JP H0166047 U JPH0166047 U JP H0166047U
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pressure
fluid
electrode
microphone type
movable
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JP1987162355U
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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図ないし第3図は本考案の基本的概念を説
明するためのものであつて、第1図は本考案に係
るコンデンサマイクロフオン型差圧検出器の基本
的構成図(クレーム対応図)、第2図イ〜ニは
夫々その作用説明図を示し、第3図は第1図の変
形例に係るコンデンサマイクロフオン型差圧検出
器の基本的構成図(クレーム対応図)を示して
いる。また、第4図ないし第7図は本考案の具体
的実施例を示し、第4図イは本考案に係るコンデ
ンサマイクロフオン型差圧検出器の外観斜視図、
第4図ロはその縦断側面図、第4図ハはその使用
状態を説明するための縮小縦断側面図であり、第
5図は要部(可動電極部材)の拡大斜視図であり
、第6図イはその一変形例の正面図、第6図ロは
その作用を説明するための第6図イの―線矢
視図であり、第7図イ,ロは夫々その更なる応用
例の要部拡大正面図である。更に、第8図および
第9図は、本考案の技術的背景ならびに従来技術
の問題点を説明するためのものであつて、第8図
は一般的な構成のコンデンサマイクロフオン型差
圧検出器を用いた赤外線ガス分析計を示す全体概
略構成図を示し、第9図は本考案の概念に最も関
連が深い従来構成に係るコンデンサマイクロフオ
ン型差圧検出器の縦断側面図を示している。 F……第1圧力流体、F……第2圧力流体
、1……可動電極、2……固定電極、S……感圧
センサー。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 第1圧力流体と第2圧力流体との差圧を検出す
    るのに用いられるコンデンサマイクロフオン型差
    圧検出器であつて、 可撓性を有するダイアフラム部材から成る可動
    電極が固定電極に対して適宜間隔を隔てて電気的
    絶縁状態で張設されているコンデンサマイクロフ
    オン型感圧センサーの機械的特性および電気的特
    性が実質的に同等である2個を、互いに適宜間隔
    を隔てると共にそれらの固定電極同士または可動
    電極同士が対向する状態に、ひとつの直線上に位
    置するように並設し、かつ、前記第1圧力流体と
    第2圧力流体の一方の流体を前記各感圧センサー
    における可動電極と固定電極との間の間隙内へ導
    入可能に構成すると共に、他方の流体を前記各感
    圧センサーにおける可動電極の外面側へ導入可能
    に構成してあることを特徴とするコンデンサマイ
    クロフオン型差圧検出器。
JP1987162355U 1987-10-22 1987-10-22 コンデンサマイクロフォン型差圧検出器 Expired - Lifetime JPH06744Y2 (ja)

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JP1987162355U JPH06744Y2 (ja) 1987-10-22 1987-10-22 コンデンサマイクロフォン型差圧検出器

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JP1987162355U JPH06744Y2 (ja) 1987-10-22 1987-10-22 コンデンサマイクロフォン型差圧検出器

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JPH0166047U true JPH0166047U (ja) 1989-04-27
JPH06744Y2 JPH06744Y2 (ja) 1994-01-05

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ID=31446103

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JP (1) JPH06744Y2 (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6037837U (ja) * 1983-08-20 1985-03-15 トキコ株式会社 ダイアフラム式センサ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6037837U (ja) * 1983-08-20 1985-03-15 トキコ株式会社 ダイアフラム式センサ

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Publication number Publication date
JPH06744Y2 (ja) 1994-01-05

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