JPH0166077U - - Google Patents

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JPH0166077U
JPH0166077U JP1987160032U JP16003287U JPH0166077U JP H0166077 U JPH0166077 U JP H0166077U JP 1987160032 U JP1987160032 U JP 1987160032U JP 16003287 U JP16003287 U JP 16003287U JP H0166077 U JPH0166077 U JP H0166077U
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measured
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effect transistor
circuit
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、本考案の表面電位分布検出装置の第
1の実施例を表わす主要部分の構成図、第2図は
、本考案の第2の実施例を表わす主要部分の構成
図、第3図は、本考案の第1の実施例及び第2の
実施例における検出出力を表わすグラフ、第4図
は、従来の表面電位分布検出装置の一例を表わす
主要部分の構成図である。 1……被測定物、2……検出用電極、3,5…
…電界効果トランジスタ(FET)、4,6……
スイツチ、7……差動増幅器、8……A/D変換
器、9……記憶回路、10……デジタル演算回路
、11……D/A変換器、12……増幅器、13
……電圧検出回路、14……補正回路、E,E
……直流電源、T……移動装置(移動機構)、
〜R……抵抗。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被測定物の表面との間に静電誘導現象を生じさ
    せる検出用電極と、 この検出用電極に誘起される電圧を電界効果ト
    ランジスタを介して検出する電圧検出回路と、 前記被測定物の表面と前記検出用電極を相対的
    に移動させる移動機構とより成る表面電位分布検
    出装置において、 前記検出回路の電界効果トランジスタのゲート
    端子へ流れ込む漏れ電流が検出出力の基準電位を
    上昇させるのを補正する補正回路を付加したこと
    を特徴とする表面電位分布検出装置。
JP1987160032U 1987-10-20 1987-10-20 Pending JPH0166077U (ja)

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JPH0166077U true JPH0166077U (ja) 1989-04-27

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