JPS5998517A - 半導体素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザービームを用いたマーカーを使用して
、特性分類を半導体ペレット表面に表示するのに適した
半導体素子に関する。

半導体デバイスを使用する場合に、特性のそろった複数
個のペレットを同時に使用する必要があることが多い。

このため半導体ウェハー状態で自動測定機を用いて個々
のペレットの特性を測定する際に、自動測定機と連動し
たレーザーマーカーを用い、個々のペレットの特性に応
じた分類記号をペレット表面に表示することが行なわれ
ている。

しかし、レーザービームで表示する際、その時生じる飛
粉がペレットに飛び散ル悪影響を及ぼしていた。

本発明の目的は、このレーザーマーカーを用いて特性分
類記号をペレット表面に表示するのに適した表示部を有
する半導体素子を提供することにある。

以下図面を参照しながら本発明をよシ詳細に説明する。

本発明の詳細な説明のための半導体ウェノ・−の概略平
面図を第１図に、半導体ペレットの概略平面図を第２図
に、半導体ペレット特性表示部の概略断面図を第３図に
示す。半導体ウェハー１の状態で、自動測定機を用いて
個々の半導体ペレット４の特性を測定し、その特性に応
じた特性分類記号を自動測定機と連動したレーザーマー
カーを用いてペレット表面の特性表示部６に表示する。

通常この特性表示部６は半導体基板もしくは各種金属が
用いられるが、レーザーマーカーによシ記号を表示しよ
うとする特性表示部６を構成する素材がレーザービーム
の熱によシ溶融し、その飛粉が飛び散って周囲に悪影響
（例えば電気的ショート等）を与えることになる。特に
ペレットサイズが小さく、特性表示部６が電極部５よシ
充分な距離を取ることが出来ない場合には半導体ペレッ
トの特性にまで影響を与えることになる。

本発明では、この特性表示部６にレーザービームによっ
て溶融しやすい金属（例えばアルミニウムもしくはアル
ミニウムと他の金属の多層構造より成る薄膜）を用いる
ことを特徴とする。

アルミニウムもしくはアルミニウムと他の金属との多層
薄膜に出力パワーを適当に調整したレーザービームを当
てると、薄膜が溶融するにとどまシ、周囲への飛まつの
飛散を防止することが出来る。

このため、周囲への影響を最小限にとどめられる。

したがって電極部５と特性表示部６との距離を小さくす
ることが出来、さらにはペレットサイズも小さくするこ
とが出来る。

また、アルミニウムを使用した場合には、レーザービー
ムを尚てて記号を記入した部分とのコントラストが強く
、他の素材を使用した特性表示部に比べて記号の識別が
容易になるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は特性測定および特性分類記号表示時点での半導
体ウェハーの概略平面図、第２図は本発明の詳細な説明
のための半導体ペレットの概略平面図、第３図は本発明
の詳細な説明のための特性表示部の概略断面図。 １・・・・・・半導体ウェハー、２．３・・・・・・ス
クライプ線、４・・・・・・半導体ペレット、５・・・
・・・電極、６・・・・・・特性表示部（アルミニウム
もしくはアルミニウムと他の金属の多層薄膜）、７・・
・・・・半導体基板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体ペレット表面にレーザービームを用いて該ペレッ
   トの一部に設けられた表示部に特性分類情報を印した半
   導体素子において、前記表示部はレーザービームによっ
   て溶融しやすい金属膜を含むことを特徴とする半導体素
   子。