JPH0170087U - - Google Patents
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- JPH0170087U JPH0170087U JP1987165429U JP16542987U JPH0170087U JP H0170087 U JPH0170087 U JP H0170087U JP 1987165429 U JP1987165429 U JP 1987165429U JP 16542987 U JP16542987 U JP 16542987U JP H0170087 U JPH0170087 U JP H0170087U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitrogen
- column
- liquid
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- rectification column
- Prior art date
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- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims 1
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- 238000010926 purge Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Description
第１図は本考案装置の一例を示すフローシート
、第２図は第１図の装置に気液セパレーターを設
けた変形例を示すフローシートであり、図中： １……原料空気、２……熱交換器、４……窒素
精留塔、６……窒素凝縮器、１０，１７……膨張
弁、１３……膨張タービン、１５……廃ガス、１
８……副凝縮器、２２……高純度窒素ガス、２４
……窒素ガス、２６……気液セパレーター、Ａ，
Ｂ……精留板、その他の符号は管路を示す。
、第２図は第１図の装置に気液セパレーターを設
けた変形例を示すフローシートであり、図中： １……原料空気、２……熱交換器、４……窒素
精留塔、６……窒素凝縮器、１０，１７……膨張
弁、１３……膨張タービン、１５……廃ガス、１
８……副凝縮器、２２……高純度窒素ガス、２４
……窒素ガス、２６……気液セパレーター、Ａ，
Ｂ……精留板、その他の符号は管路を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 水分、炭酸ガス等を除去し、熱交換器２で
冷却された原料空気を窒素精留塔４下部に導入し
、液化精留して塔頂に窒素を、下部に液体空気を
それぞれ分離し、前記分離窒素の一部を製品ガス
として採取するとともに、残部を前記液体空気と
熱交換して液化し、還流液とする高純度窒素製造
装置において、前記窒素精留塔４塔頂部からの窒
素ガスを塔底部からの液体空気を膨張させたもの
との熱交換により液化して前記塔頂部へ戻すため
の窒素凝縮器６と、前記窒素精留塔４下部からの
空気を前記窒素精留塔４の前記液体窒素戻り部よ
り下方からの高純度液体窒素を膨張させたものと
の熱交換により液化して前記窒素精留塔下部へ戻
すための副凝縮器とを設けたことを特徴とする高
純度窒素製造装置。 (2) 前記窒素凝縮器６がパージ管路７を具備す
る実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の高純度
窒素製造装置。 (3) 前記窒素凝縮器６に気液セパレーター２６
を併設した実用新案登録請求の範囲第(1)項記載
の高純度窒素製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16542987U JPH0410546Y2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16542987U JPH0410546Y2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0170087U true JPH0170087U (ja) | 1989-05-10 |
| JPH0410546Y2 JPH0410546Y2 (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=31451906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16542987U Expired JPH0410546Y2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0410546Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05187765A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-07-27 | Boc Group Inc:The | 超高純度窒素を製造するための方法と装置 |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP16542987U patent/JPH0410546Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05187765A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-07-27 | Boc Group Inc:The | 超高純度窒素を製造するための方法と装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0410546Y2 (ja) | 1992-03-16 |
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