JPH02753U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02753U JPH02753U JP7717788U JP7717788U JPH02753U JP H02753 U JPH02753 U JP H02753U JP 7717788 U JP7717788 U JP 7717788U JP 7717788 U JP7717788 U JP 7717788U JP H02753 U JPH02753 U JP H02753U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- gas flow
- pair
- insulator
- electrode
- Prior art date
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- Pending
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図及び第２図はそれぞれ本考案の第１及び
第２の実施例に係る模式的な横断面図である。 １……第１の放電電極、２……第２の放電電極
、３……絶縁体、４……放電空間、５……通常グ
ロー放電が起らない放電空間風下部分、６……ガ
ス流、７……ガス循環器、８……レーザ管、９…
…ガス流路、１０……ガス流ガイド、である。
第２の実施例に係る模式的な横断面図である。 １……第１の放電電極、２……第２の放電電極
、３……絶縁体、４……放電空間、５……通常グ
ロー放電が起らない放電空間風下部分、６……ガ
ス流、７……ガス循環器、８……レーザ管、９…
…ガス流路、１０……ガス流ガイド、である。
Claims (1)
- 一対の共振器用ミラーに挟まれたレーザ管を有
し、このレーザ管内に、光の誘導放出を可能にす
る放電を得るための一対の放電電極と、前記放電
電極対間隙の放電空間に高速なガス流を形成する
ためのガス循環器と、ガス流路とを少くとも備え
た放電励起高速繰り返しエキシマレーザ装置にお
いて、前記ガス流路の少くとも一部に絶縁体で形
成したガス流ガイドを備え、さらに、前記放電電
極対のうち少くとも一方の放電電極のグロー放電
を起す部分以外の少くとも一部の電極表面を絶縁
体によつて覆つた構造を持つことを特徴とする放
電励起高速繰り返しエキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7717788U JPH02753U (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7717788U JPH02753U (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02753U true JPH02753U (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=31302172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7717788U Pending JPH02753U (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02753U (ja) |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP7717788U patent/JPH02753U/ja active Pending
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