JPH0176044U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0176044U JPH0176044U JP1987171420U JP17142087U JPH0176044U JP H0176044 U JPH0176044 U JP H0176044U JP 1987171420 U JP1987171420 U JP 1987171420U JP 17142087 U JP17142087 U JP 17142087U JP H0176044 U JPH0176044 U JP H0176044U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- vacuum tweezers
- switch
- utility
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Description
第１図は本考案の実施例を示す真空ピンセツト
の構成図、第２図はその真空ピンセツトのスイツ
チ部であるＡ部の拡大断面図、第３図はそのＡ部
の操作状態を示す図、第４図はその真空ピンセツ
トの排気部であるＢ部の拡大断面図、第５図はＢ
部の動作状態を示す図、第６図は従来の真空ピン
セツトの構成図、第７図は本考案の他の実施例を
示す真空ピンセツトの構成図、第８図はその真空
ピンセツトの逆止弁（Ｃ部）の構成図、第９図は
その真空ピンセツトの逆止弁の動作説明図である
。 １１…ウエハ吸着板、１２…ステム、１３…本
体、１４…フレキジブルポンプ、１５…通気路、
１６，１８，５０…空洞、１７…開口、１９…排
気孔、２０…スイツチ、２１…スイツチボタン、
２２…ロツド、２３…通気穴、２４…鍔、２５，
３２，４１…バネ、２６，２７…Ｏリング、３０
…排気部、３１…開口弁、４０…逆止弁。
の構成図、第２図はその真空ピンセツトのスイツ
チ部であるＡ部の拡大断面図、第３図はそのＡ部
の操作状態を示す図、第４図はその真空ピンセツ
トの排気部であるＢ部の拡大断面図、第５図はＢ
部の動作状態を示す図、第６図は従来の真空ピン
セツトの構成図、第７図は本考案の他の実施例を
示す真空ピンセツトの構成図、第８図はその真空
ピンセツトの逆止弁（Ｃ部）の構成図、第９図は
その真空ピンセツトの逆止弁の動作説明図である
。 １１…ウエハ吸着板、１２…ステム、１３…本
体、１４…フレキジブルポンプ、１５…通気路、
１６，１８，５０…空洞、１７…開口、１９…排
気孔、２０…スイツチ、２１…スイツチボタン、
２２…ロツド、２３…通気穴、２４…鍔、２５，
３２，４１…バネ、２６，２７…Ｏリング、３０
…排気部、３１…開口弁、４０…逆止弁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) (a) 本体に設けられる通気路を開閉するス
イツチと、 (b) 前記本体の前端部に設けられるウエハ吸
着部と、 (c) 前記本体の後端部に設けられるフレキシ
ブルポンプと、 (d) 該フレキシブルポンプからの空気を排気
する排気部とを具備してなる真空ピンセツト。 (2) 前記スイツチと排気部間に逆止弁を設けて
なる実用新案登録請求の範囲第１項記載の真空ピ
ンセツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987171420U JPH0176044U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987171420U JPH0176044U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0176044U true JPH0176044U (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=31463238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987171420U Pending JPH0176044U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0176044U (ja) |
-
1987
- 1987-11-11 JP JP1987171420U patent/JPH0176044U/ja active Pending