JPH0177175U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による実施例の流体・流量制御
バルブの縦断面図、第２図は第１図の平面図、第
３図は第１図のＡ―Ａ断面図、第４図は本考案に
よる他の実施例の流体・流量制御バルブ。第５図
の従来例の流体流量制御バルブの縦断面図である
。 １……バルブ本体、２……円筒状部材、３……
弁座、６……垂直流路、７……ダイヤフラム、８
……積層型圧電素子、９……ダイヤフラム押え、
１０……流体室、１２……弁棒、１５……弁体、
１１……ナツト部材、１３……復帰ばね、１４…
…押圧ばね、１７……調節ねじ、１８……ナツト
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 左右に流入口ポートおよび流出口ポートを中央
   に前記流出入口ポート各々に連通する垂直流路お
   よびこの上に上部開放の流体室を有するバルブ本
   体と、このバルブ本体の流体室の側壁段差部に載
   せた薄板のダイヤフラムと、このダイヤフラム上
   面外周を押えるリング状のダイヤフラム押えと、
   このダイヤフラム押えの上面外周を押え前記バル
   ブ本体上面に立設して固定し上部内径が中間部下
   部の内径より小径である筒状部材と、最上部がお
   ねじ頭部で上部がおねじ部で中間部および下部が
   柱状でこの下部および中間部が前記筒状部材内に
   収容され上部おねじ部の一部が前記筒状部材の上
   端面より突出し、下部が前記ダイヤフラム押えを
   貫通して下端面が前記ダイヤフラムの中央部に接
   触した弁棒と、この弁棒上部のおねじに螺合し外
   周面上部が前記筒状部材の上部内径面にスライド
   可能に嵌合し外周面下部が大径で段差部を有する
   ナツト部材と、前記ダイヤフラム押えの上面と前
   記ナツト部材の下端面との間に設けた筒状の積層
   型圧電素子と、前記筒状部材の内周面の段差部と
   前記ナツト部材の外周面の段差部との間に挾着し
   た押圧ばねとからなることを特徴とする流体の流
   量制御バルブ。