JPH0177943U - - Google Patents
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- JPH0177943U JPH0177943U JP1988088055U JP8805588U JPH0177943U JP H0177943 U JPH0177943 U JP H0177943U JP 1988088055 U JP1988088055 U JP 1988088055U JP 8805588 U JP8805588 U JP 8805588U JP H0177943 U JPH0177943 U JP H0177943U
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/04—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient
- H01C7/042—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient mainly consisting of inorganic non-metallic substances
- H01C7/043—Oxides or oxidic compounds
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Description
第１ａ図〜第１ｇ図は本考案による抵抗測定セ
ンサの１実施例の製造過程を平面図と断面図で示
し、第２図は第１図による実施例の変更形を断面
図で示し、第３ａ図〜第３ｄ図は他の実施例の製
造過程を平面図と断面図で示し、かつ第４ａ図〜
第４ｄ′図は同じキヤリヤ上に第１の積層膜と対
称的に温度補償のための第２の積層到を有する、
実施例を平面図で示す。 １，２０，３０…キヤリヤ、２…ＮＴＣ素子、
４…被覆膜、５，２１，２２，３１，３２…電極
膜、７，２５，３５，３６…半導体金属酸化物膜
、８，２６，３８，４０…電極膜、１０，４２…
保護膜、１１，２７…被覆および絶縁膜、１２…
切り取り部。
ンサの１実施例の製造過程を平面図と断面図で示
し、第２図は第１図による実施例の変更形を断面
図で示し、第３ａ図〜第３ｄ図は他の実施例の製
造過程を平面図と断面図で示し、かつ第４ａ図〜
第４ｄ′図は同じキヤリヤ上に第１の積層膜と対
称的に温度補償のための第２の積層到を有する、
実施例を平面図で示す。 １，２０，３０…キヤリヤ、２…ＮＴＣ素子、
４…被覆膜、５，２１，２２，３１，３２…電極
膜、７，２５，３５，３６…半導体金属酸化物膜
、８，２６，３８，４０…電極膜、１０，４２…
保護膜、１１，２７…被覆および絶縁膜、１２…
切り取り部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 酸素濃度に依存する抵抗素子としての半導体
金属酸化物、定電圧をかけることにより抵抗を測
定するための触媒活性電極２個及び電気的に絶縁
性のセラミツク材料製キヤリヤを有する、ガス中
の酸素含量を検出するための抵抗測定センサにお
いて、機能上必要な部品としての第１電極、半導
体酸化物および第２電極が重ね合わされた膜の形
でキヤリヤ上に配置されていることを特徴とする
、ガス中の酸素含量を検出するための抵抗測定セ
ンサ。 ２ 半導体金属酸化物として二酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ２）、酸化ニツケル（ＮｉＯ）、酸化コバルト
（ＣｏＯ）、酸化マガジン（ＭｎＯ）、酸化亜鉛
（ＺｎＯ）、酸化銅（ＣｕＯ）、五酸化ニオブ（
Ｎｂ２Ｏ５）または二酸化錫（ＳｎＯ２）を使用
する、実用新案登録請求の範囲第１項記載の抵抗
測定センサ。 ３ 触媒活性電極材料としての白金または他の白
金族金属または白金族金属の合金を使用する、実
用新案登録請求の範囲第１項記載の抵抗測定セン
サ。 ４ 電極が触媒活性の電極材料の他にセラミツク
材料３０〜５０容量％含有する、実用新案登録請
求の範囲第３項記載の抵抗測定センサ。 ５ キヤリヤが発熱体を有するもう一つの層およ
び／またはサーミスタを有する層を有する、実用
新案登録請求の範囲第１項から第４項までのいず
れか１項記載の抵抗測定センサ。 ６ 発熱体もしくはサーミスタが白金族金属とセ
ラミツク材料との混合物から成るかまたはサーミ
スタがＮＴＣ―材料またはＰＴＣ―材料から成る
、実用新案登録請求の範囲第５項記載の抵抗測定
センサ。 ７ 半導体金属酸化物の抵抗の温度依存性を補償
するために同じキヤリヤが第１の構造に対して対
称的に膜状の、触媒不活性の電極を有する第２の
構造を有している、実用新案登録請求の範囲第１
項から第６項までのいずれか１項記載の抵抗測定
センサ。 ８ 半導体金属酸化物の抵抗の温度依存性を補償
するために同じキヤリヤが第１の構造に対して対
称的に同じ構成の膜状の構造を有しており、該膜
構造がガスの流入に対してほうろうの形状の気密
な被覆で保護されている、実用新案登録請求の範
囲第１項から第６項までのいずれか１項記載の抵
抗測定センサ。 ９ 外側の電極膜が酸化透過性の多孔性セラミツ
ク保護膜で覆われている、実用新案登録請求の範
囲第１項から第８項までのいずれか１項記載の抵
抗測定センサ。 １０ 抵抗測定センサがほうろう製絶縁膜で完全
に覆われており、その際縁部分も一緒に覆われて
おり、かつ電極の部分ではほうろうで覆われてい
ない表面が存在する、実用新案登録請求の範囲第
１項から第９項までのいずれか１項記載の抵抗測
定センサ。 １１ 発熱体もしくはサーミスタの下におよび／
またはキヤリヤの次に存在する電極の下におよび
／または導体路の下に付着基層が存在する、実用
新案登録請求の範囲第１項から第１０項までのい
ずれか１項記載の抵抗測定センサ。 〓(12)１２〓 付着基層が最大Ｐｔ２０容量％を
含むＡｌ２Ｏ３から成つており、また出発材料と
して仕上げ焼結されたキヤリヤの場合には珪酸塩
５〜３０容量％を含むＡｌ２Ｏ３から成つている
、特許請求の範囲第１１項記載の抵抗測定センサ
。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19792908916 DE2908916C2 (de) | 1979-03-07 | 1979-03-07 | Widerstandsmeßfühler zur Erfassung des Sauerstoffgehaltes in Gasen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungsmotoren und Verfahren zur Herstellung derselben |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0177943U true JPH0177943U (ja) | 1989-05-25 |
Family
ID=6064733
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2821480A Pending JPS55124059A (en) | 1979-03-07 | 1980-03-07 | Resistance measuring sensor for detecting oxygen content of gas and method of making said sensor |
| JP1988088055U Pending JPH0177943U (ja) | 1979-03-07 | 1988-07-04 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2821480A Pending JPS55124059A (en) | 1979-03-07 | 1980-03-07 | Resistance measuring sensor for detecting oxygen content of gas and method of making said sensor |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPS55124059A (ja) |
| DE (1) | DE2908916C2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005265548A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Tdk Corp | ガスセンサ |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5824850A (ja) * | 1981-08-07 | 1983-02-14 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | ヒータ付薄膜型酸素センサ |
| US4453397A (en) * | 1981-08-17 | 1984-06-12 | Nippon Soken, Inc. | Gas detecting sensor |
| NL8105116A (nl) * | 1981-11-12 | 1983-06-01 | Philips Nv | Sensor voor het bepalen van het zuurstofgehalte in een fluidum. |
| JPS58180936A (ja) * | 1982-04-17 | 1983-10-22 | Fuigaro Giken Kk | 燃焼状態検出素子およびその製造方法 |
| JPS6110756A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-18 | Shinei Kk | ガスセンサの製造法 |
| JPH06100561B2 (ja) * | 1985-07-11 | 1994-12-12 | フイガロ技研株式会社 | 排ガスセンサ |
| JPH06100563B2 (ja) * | 1986-02-24 | 1994-12-12 | フイガロ技研株式会社 | 排ガスセンサ |
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| USRE33980E (en) * | 1986-03-19 | 1992-06-30 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Thick-film gas-sensitive element |
| US5279855A (en) * | 1987-07-11 | 1994-01-18 | ROTH-Tecknik GmbH & Co. Forschung fur Automobil und Umwelttechnik | Manufacture of inert, catalytic or gas-sensitive ceramic layers for gas sensors |
| FR2636737B1 (fr) * | 1988-09-16 | 1993-12-03 | Thomson Csf | Capteur de type resistif, de mesure de concentrations relatives d'especes reactives fluides, compense en temperature |
| DE3921185C2 (de) * | 1989-06-28 | 1994-12-01 | Siemens Ag | Verfahren zur Messung des Sauerstoffpartialdruckes, mittels einer Sonde |
| DE3922331C2 (de) * | 1989-07-07 | 1998-12-03 | Bosch Gmbh Robert | Gasmeßfühler |
| DE3941837C2 (de) * | 1989-12-19 | 1994-01-13 | Bosch Gmbh Robert | Widerstandsmeßfühler zur Erfassung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen und Verfahren zu seiner Herstellung |
| EP0506897B1 (de) * | 1990-10-26 | 1995-12-06 | Robert Bosch Gmbh | Gasmessfühler, insbesondere zur bestimmung des sauerstoffgehaltes in abgasen von brennkraftmaschinen |
| DE4243733C2 (de) * | 1992-12-23 | 2003-03-27 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur Bestimmung von Gaskomponenten und/oder Gaskonzentrationen von Gasgemischen |
| DE4333898C2 (de) * | 1993-10-05 | 1996-02-22 | Bosch Gmbh Robert | Meßfühler zur Erfassung von Gaszusammensetzungen |
| DE4334410C3 (de) * | 1993-10-08 | 2002-05-29 | Fraunhofer Ges Forschung | Dünnschicht-Gassensor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52100296A (en) * | 1976-02-18 | 1977-08-23 | Philips Nv | Probe for selective detection of steams |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538196A (en) * | 1976-07-12 | 1978-01-25 | Hitachi Ltd | Detector for oxygen gas |
| GB1586117A (en) * | 1977-06-22 | 1981-03-18 | Rosemount Eng Co Ltd | Solid state sensor element |
-
1979
- 1979-03-07 DE DE19792908916 patent/DE2908916C2/de not_active Expired
-
1980
- 1980-03-07 JP JP2821480A patent/JPS55124059A/ja active Pending
-
1988
- 1988-07-04 JP JP1988088055U patent/JPH0177943U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52100296A (en) * | 1976-02-18 | 1977-08-23 | Philips Nv | Probe for selective detection of steams |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005265548A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Tdk Corp | ガスセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2908916A1 (de) | 1980-09-18 |
| DE2908916C2 (de) | 1986-09-04 |
| JPS55124059A (en) | 1980-09-24 |
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