JPH0179261U - - Google Patents

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JPH0179261U
JPH0179261U JP1987175466U JP17546687U JPH0179261U JP H0179261 U JPH0179261 U JP H0179261U JP 1987175466 U JP1987175466 U JP 1987175466U JP 17546687 U JP17546687 U JP 17546687U JP H0179261 U JPH0179261 U JP H0179261U
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【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の構成を示すブロ
ツク図、第２図は従来例の構成を示すブロツク図
、第３図は加速モード／減速モードの切換の説明
図である。 １……マシンホストコンピユータユニツト、２
……シーケンサマスタユニツト、３……シーケン
サローカルユニツト、４……ローカルリモートユ
ニツト、５，６……高電位部、７，８……マスタ
リモートユニツト、１１……ビームモニタユニツ
ト、１２……Ｑレンズ、・スキヤナコントロール
ユニツト、１３……エンドステーシヨンコントロ
ールユニツト、１４……ビームモニタユニツト、
２８……大地リレーパネル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マシンホストコンピユータユニツトと、第１の
    中央処理装置を内蔵し前記マシンホストコンピユ
    ータユニツトからの指令に基づいてエンドステー
    シヨンの各種機器の監視制御動作を実行するエン
    ドステーシヨンコントロールユニツトと、第２の
    中央処理装置を内蔵し前記マシンホストコンピユ
    ータユニツトからの指令に基づいてビーム系統の
    各種機器の監視制御動作を実行するビームコント
    ロールユニツトと、前記マシンホストコンピユー
    タユニツトからの指令に基づいて作動するビーム
    モニタユニツトと、第３の中央処理装置を内蔵し
    前記マシンホストコンピユータユニツトからの指
    令に基づいて前記エンドステーシヨンコントロー
    ルユニツトおよびビームコントロールユニツトで
    監視制御される各種機器以外の各種機器の監視制
    御動作を実行するシーケンサユニツトとを備えた
    イオン注入用制御装置。
JP1987175466U 1987-11-16 1987-11-16 イオン注入用制御装置 Expired - Lifetime JPH0723901Y2 (ja)

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JP6086845B2 (ja) 2013-08-29 2017-03-01 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 イオン注入装置及びイオン注入方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61243651A (ja) * 1985-04-19 1986-10-29 Toshiba Corp イオン注入装置
JPS62242496A (ja) * 1986-04-15 1987-10-23 Nissin Electric Co Ltd イオン注入監視制御装置

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JPS61243651A (ja) * 1985-04-19 1986-10-29 Toshiba Corp イオン注入装置
JPS62242496A (ja) * 1986-04-15 1987-10-23 Nissin Electric Co Ltd イオン注入監視制御装置

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