JPS63194835U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63194835U JPS63194835U JP8762387U JP8762387U JPS63194835U JP S63194835 U JPS63194835 U JP S63194835U JP 8762387 U JP8762387 U JP 8762387U JP 8762387 U JP8762387 U JP 8762387U JP S63194835 U JPS63194835 U JP S63194835U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafers
- boat
- cassette
- rolling
- wafer transfer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Special Conveying (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す半導体ウエ
ハの移し替え装置の位置調整治具の使用態様を示
す正面図、第２図は従来の半導体ウエハの移し替
え装置の位置調整方法を示す正面図である。 図において、２はカセツト、３はボート、４は
移し替えレール、５は揺動アーム、６はＶ溝ロー
ラ、７はＶ溝ローラ、８はスライダ、２１は位置
調整治具である。尚、図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。
ハの移し替え装置の位置調整治具の使用態様を示
す正面図、第２図は従来の半導体ウエハの移し替
え装置の位置調整方法を示す正面図である。 図において、２はカセツト、３はボート、４は
移し替えレール、５は揺動アーム、６はＶ溝ロー
ラ、７はＶ溝ローラ、８はスライダ、２１は位置
調整治具である。尚、図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- カセツトとボートとの間に半導体ウエハ移し替
えレールを配設すると共に、上記カセツトからボ
ートへ移し替えレールを介して半導体ウエハを転
動させるための揺動アームと、上記半導体ウエハ
が上記移し替えレールを転動途中に支持しながら
上記ボート上へ案内するスライダとを備え、半導
体ウエハを１枚ずつ移し替える装置において、上
記揺動アーム、カセツト、移し替えレール、ボー
ト、スライダの各溝に同時に接触する外形を備え
た半導体ウエハ移し替え装置の位置調整治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8762387U JPS63194835U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8762387U JPS63194835U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63194835U true JPS63194835U (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=30945001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8762387U Pending JPS63194835U (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63194835U (ja) |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP8762387U patent/JPS63194835U/ja active Pending
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