JPH0180467U - - Google Patents

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JPH0180467U
JPH0180467U JP1987176697U JP17669787U JPH0180467U JP H0180467 U JPH0180467 U JP H0180467U JP 1987176697 U JP1987176697 U JP 1987176697U JP 17669787 U JP17669787 U JP 17669787U JP H0180467 U JPH0180467 U JP H0180467U
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JP
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laser
laser light
marking
laser oscillator
optical path
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  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例１のシステム構成図、
第２図は第１図のシステムによつてレーザマーク
された半導体製品を示す図、第３図は本考案の実
施例２のシステム構成図、第４図は第２図のシス
テムによつてレーザマークされた半導体製品を示
す図である。 １……レーザ発振器、２……時分割光路切替部
、３ａ，３ｂ……フアイバ部、４ａ，４ｂ……照
射部、５ａ，５ｂ……マスク部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体製品に品名、規格等の印字パターンをマ
    ークする装置において、前記印字パターンを複数
    に分割した個々のパターン領域毎にレーザ光を照
    射する複数の照射部と、レーザ発振器からのレー
    ザ光を前記照射部に順次切替える光路切替部とを
    有することを特徴とするレーザマーク装置。
JP1987176697U 1987-11-19 1987-11-19 Pending JPH0180467U (ja)

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