JPH0184008U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0184008U
JPH0184008U JP1987180097U JP18009787U JPH0184008U JP H0184008 U JPH0184008 U JP H0184008U JP 1987180097 U JP1987180097 U JP 1987180097U JP 18009787 U JP18009787 U JP 18009787U JP H0184008 U JPH0184008 U JP H0184008U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
electrode
current value
current
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1987180097U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1987180097U priority Critical patent/JPH0184008U/ja
Publication of JPH0184008U publication Critical patent/JPH0184008U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は光位置検出装置の第1の実施例を示す
ブロツク図、第2図は光位置検出装置の第2の実
施例を示すブロツク図、第3図は光位置検出装置
の第3の実施例を示すPSDの断面図である。第
4図はPSDの一例を示す断面図、第5図はその
V―V線断面図である。 11:光位置検出素子、12:光源、13:コ
ントローラ、14:サンプルホールド回路、15
:減算回路、16:光位置演算回路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 受光素子およびこの受光素子に生ずる光電流を
    光の照射位置に応じた分配比で取り出す少くとも
    一対の電極を備えた光位置検出素子と、 前記各電極からの光電流について、第1の光量
    の光が照射されたときの電流値と、第1の光量よ
    りも大きい第2の光量の光が照射されたときの電
    流値との差を各電極ごとに演算する減算手段と、 演算された各電極における差電流に基づいて、
    各電極を流れる電流値の分配比を求めて光の照射
    位置を演算する光位置演算手段とを具備すること
    を特徴とする光位置検出装置。
JP1987180097U 1987-11-25 1987-11-25 Pending JPH0184008U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987180097U JPH0184008U (ja) 1987-11-25 1987-11-25

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987180097U JPH0184008U (ja) 1987-11-25 1987-11-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0184008U true JPH0184008U (ja) 1989-06-05

Family

ID=31471628

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987180097U Pending JPH0184008U (ja) 1987-11-25 1987-11-25

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0184008U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0184008U (ja)
JP4057964B2 (ja) レーザ受光器
JPH01170883A (ja) 光源の距離検出方法
JPS61168634U (ja)
JPH0378066U (ja)
JPH0239147U (ja)
JPH03110688U (ja)
JPS61120009A (ja) 半導体センサを利用した水準器
JPS6313457Y2 (ja)
JPH043305U (ja)
JPH0250750U (ja)
JPS6370010U (ja)
JPH0438518U (ja)
JPS62115103U (ja)
JPS62146911U (ja)
JPS62195781U (ja)
JPH0421877U (ja)
JPS5819208U (ja) 加工状態の検査装置
JPS6420461A (en) Solder short circuit detecting method
JPS6255145U (ja)
JPS63172930U (ja)
JPS61135378U (ja)
JPH0227126U (ja)
JPS638614U (ja)
JPH0312109U (ja)