JPH0184022U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0184022U JPH0184022U JP1987178813U JP17881387U JPH0184022U JP H0184022 U JPH0184022 U JP H0184022U JP 1987178813 U JP1987178813 U JP 1987178813U JP 17881387 U JP17881387 U JP 17881387U JP H0184022 U JPH0184022 U JP H0184022U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- heater
- fastening fittings
- flow controller
- tightening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例であるヒーターを分
解してマスフローコントローラーとの関係を示す
斜視図、第２図はヒーター組立時の正面図、第３
図は第２図の上面図、第４図は一部を断面で示し
た第２図の右側面図、第５図はマスフローコント
ローラーの断面図である。 １０……マスフローコントローラー、１４……
ベース部、１６……バルブ、２０……ヒーター、
２２ａ，２２ｂ……締付金具、２４ａ，２４ｂ…
…ねじ（着脱可能手段）、２６……プレート、２
８……加熱手段、３０……温度センサー、３２…
…断熱層、３４……保温カバー、３６ａ，３６ｂ
……ヒーターユニツト。
解してマスフローコントローラーとの関係を示す
斜視図、第２図はヒーター組立時の正面図、第３
図は第２図の上面図、第４図は一部を断面で示し
た第２図の右側面図、第５図はマスフローコント
ローラーの断面図である。 １０……マスフローコントローラー、１４……
ベース部、１６……バルブ、２０……ヒーター、
２２ａ，２２ｂ……締付金具、２４ａ，２４ｂ…
…ねじ（着脱可能手段）、２６……プレート、２
８……加熱手段、３０……温度センサー、３２…
…断熱層、３４……保温カバー、３６ａ，３６ｂ
……ヒーターユニツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 加熱手段を具えたプレートの長手方向の両端部
に締付金具を有する一対のヒーターユニツトの前
記締付金具を着脱可能手段により締付けることに
より、マスフローコントローラーのベース部の表
裏面を挟持することを特徴とする、 マスフローコントローラー用ヒーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17881387U JPH0623943Y2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | マスフローコントローラー用ヒーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17881387U JPH0623943Y2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | マスフローコントローラー用ヒーター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184022U true JPH0184022U (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0623943Y2 JPH0623943Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=31470412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17881387U Expired - Lifetime JPH0623943Y2 (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | マスフローコントローラー用ヒーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623943Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004066048A1 (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Fujikin Incorporated | クラスター化する流体の流量制御方法及びこれに用いるクラスター化する流体用の流量制御装置 |
| WO2015141437A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | 日立金属株式会社 | 熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置 |
-
1987
- 1987-11-26 JP JP17881387U patent/JPH0623943Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004066048A1 (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Fujikin Incorporated | クラスター化する流体の流量制御方法及びこれに用いるクラスター化する流体用の流量制御装置 |
| WO2015141437A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | 日立金属株式会社 | 熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置 |
| JPWO2015141437A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2017-04-06 | 日立金属株式会社 | 熱式質量流量計及びこれを用いた質量流量制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0623943Y2 (ja) | 1994-06-22 |