JPH0184185U - - Google Patents
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- JPH0184185U JPH0184185U JP1988147598U JP14759888U JPH0184185U JP H0184185 U JPH0184185 U JP H0184185U JP 1988147598 U JP1988147598 U JP 1988147598U JP 14759888 U JP14759888 U JP 14759888U JP H0184185 U JPH0184185 U JP H0184185U
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- JP
- Japan
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- alarm
- utility
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- detector
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- Granted
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- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims description 3
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims 1
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Landscapes
- Fire-Detection Mechanisms (AREA)
- Emergency Alarm Devices (AREA)
- Fire Alarms (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の概略図、第２図
はその回路図、第３図は光電式煙感知器とイオン
化式煙感知器との特性曲線図である。 １……シランガスボンベ、３……格納箱、６…
…窒化膜形成装置、８……除害装置、１０……検
出箱、１１……排気ダクト、Ｄ１，Ｄ２……燃焼
生成物を検出する火災感知器。
はその回路図、第３図は光電式煙感知器とイオン
化式煙感知器との特性曲線図である。 １……シランガスボンベ、３……格納箱、６…
…窒化膜形成装置、８……除害装置、１０……検
出箱、１１……排気ダクト、Ｄ１，Ｄ２……燃焼
生成物を検出する火災感知器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 半導体製造工程など、処理ガスとして有毒で
可燃性のシランガスを使用する箇所に、該シラン
ガスが漏洩し空気中の酸素と反応し燃焼すること
により生ずる燃焼生成物を検出する火災感知器を
設け、この感知器の出力変化により警報を発する
とともに消火装置などの防災装置および半導体製
造工程などを制御することを特徴とする半導体工
場などにおける警報および制御装置。 ２ 除害装置の２次側に、出力側にインバータを
備えた火災感知器が設けられた実用新案登録請求
の範囲第１項記載の半導体工場などにおける警報
および制御装置。 ３ 火災感知器がシランガスボンベを収納した格
納箱に設けられた実用新案登録請求の範囲第１項
記載の半導体工場などにおける警報および制御装
置。 ４ 火災感知器が、イオン化式煙感知器である実
用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項のいず
れかに記載された半導体工場などにおける警報お
よび制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988147598U JPH0237103Y2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988147598U JPH0237103Y2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184185U true JPH0184185U (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0237103Y2 JPH0237103Y2 (ja) | 1990-10-08 |
Family
ID=31418150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988147598U Expired JPH0237103Y2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0237103Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022138630A (ja) * | 2021-03-10 | 2022-09-26 | ホーチキ株式会社 | 火災検出装置、防災設備及び火災検出方法 |
| JP2023170467A (ja) * | 2022-05-19 | 2023-12-01 | 大陽日酸株式会社 | 高圧ガス設備監視システム及び高圧ガス設備監視方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138797U (ja) * | 1974-09-17 | 1976-03-23 | ||
| JPS5721350A (en) * | 1980-05-28 | 1982-02-04 | Naarden International Nv | Perfume composition and use |
-
1988
- 1988-11-14 JP JP1988147598U patent/JPH0237103Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138797U (ja) * | 1974-09-17 | 1976-03-23 | ||
| JPS5721350A (en) * | 1980-05-28 | 1982-02-04 | Naarden International Nv | Perfume composition and use |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022138630A (ja) * | 2021-03-10 | 2022-09-26 | ホーチキ株式会社 | 火災検出装置、防災設備及び火災検出方法 |
| JP2023170467A (ja) * | 2022-05-19 | 2023-12-01 | 大陽日酸株式会社 | 高圧ガス設備監視システム及び高圧ガス設備監視方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237103Y2 (ja) | 1990-10-08 |
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