JPH0237103Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0237103Y2 JPH0237103Y2 JP1988147598U JP14759888U JPH0237103Y2 JP H0237103 Y2 JPH0237103 Y2 JP H0237103Y2 JP 1988147598 U JP1988147598 U JP 1988147598U JP 14759888 U JP14759888 U JP 14759888U JP H0237103 Y2 JPH0237103 Y2 JP H0237103Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alarm
- silane gas
- fire
- semiconductor
- control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Emergency Alarm Devices (AREA)
- Fire Alarms (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、超LSI工場などにおける製造工程
において発生する処理がスとしてのシランガスの
漏洩あるいは火災発生を検出し、消火装置などの
防災装置および製造工程を適切に制御する半導体
工場などにおける警報および制御装置に関するも
のである。
において発生する処理がスとしてのシランガスの
漏洩あるいは火災発生を検出し、消火装置などの
防災装置および製造工程を適切に制御する半導体
工場などにおける警報および制御装置に関するも
のである。
近年大きな飛躍を遂げている超LSIなどの半導
体工場では、シリコンウエハに絶縁膜を設ける
際、シランガスを使用するが、このような処理ガ
スは有毒であるとともにその濃度が２〜５％以上
になると空気中の酸素と反応し着炎燃焼して危険
であり、ある超LSI工場でこれらガスが原因と思
われる火災が発生し、ただいの損害を被むつた。
体工場では、シリコンウエハに絶縁膜を設ける
際、シランガスを使用するが、このような処理ガ
スは有毒であるとともにその濃度が２〜５％以上
になると空気中の酸素と反応し着炎燃焼して危険
であり、ある超LSI工場でこれらガスが原因と思
われる火災が発生し、ただいの損害を被むつた。
この考案は以上の点にかんがみ、漏洩したシラ
ンガスが空気中の酸素と反応し燃焼し燃焼生成物
を発生している状態を直ちに検出し、事前にある
いは火災の初期段階において適切な制御を行なう
ことができる半導体工場などの警報および制御装
置を提供するものである。
ンガスが空気中の酸素と反応し燃焼し燃焼生成物
を発生している状態を直ちに検出し、事前にある
いは火災の初期段階において適切な制御を行なう
ことができる半導体工場などの警報および制御装
置を提供するものである。
以下この考案の一実施例を半導体ウエハに絶縁
膜を形成させる際に使用されるCVD装置
（Chemical Vapor Deposition）およびその周辺
装置に用いた場合について、図面により説明す
る。
膜を形成させる際に使用されるCVD装置
（Chemical Vapor Deposition）およびその周辺
装置に用いた場合について、図面により説明す
る。
第１図において、１はシランガスボンベ、２は
アンモニアガスボンベ、３はこれらボンベを収納
する格納箱、６は配管４，５を通じてシランガス
とアンモニアガスを供給し半導体ウエハに絶縁膜
を形成させる窒化膜形成装置（CVD）、８は装置
６から配管７を通じて流出される未反応のシラン
ガスに酸素を供給し強制的に酸化反応させる、す
なわち燃焼処理する除害装置、１０は除害装置８
より排気ダクト１１へ放出されるガスの状態を監
視するために配管９間に設けられた検出箱、１２
は形成装置６内を真空にする真空ポンプ、１３は
室内の空気を排気する排気口、１４は格納箱３と
排気ダクト１１とを結ぶ配管１５中に設けられた
ダンパである。また格納箱３と検出箱１０とに
は、シランガスが漏洩し空気中の酸素と反応し燃
焼したことにより生ずる燃焼生成物を検出する火
災感知器D1とD2とが設けられる。この場合燃焼
生成物を検出する火災感知器として光電式煙感知
器とイオン化式煙感知器が使用できるが、縦軸に
それぞれの感知器の出力、横軸にシランガスの燃
焼生成物の濃度が示された第３図の特性曲線図に
よれば、光電式煙感知器ａよりもイオン化式煙感
知器ｂの方がシランガスの燃焼生成物に対し高感
度でより早期にその発生が検出できる。さらに上
記感知器D1，D2は第２図に示すように、格納箱
３内に設けられた火災感知器D1は直接、また検
出箱１０に設けられた火災感知器D2はインバー
タＩを介してOR回路ORに接続され、その出力
は火災警報あるいは消火装置などの防災装置ある
いは半導体製造工程を適切に制御する図示されな
い継電装置に接続される。
アンモニアガスボンベ、３はこれらボンベを収納
する格納箱、６は配管４，５を通じてシランガス
とアンモニアガスを供給し半導体ウエハに絶縁膜
を形成させる窒化膜形成装置（CVD）、８は装置
６から配管７を通じて流出される未反応のシラン
ガスに酸素を供給し強制的に酸化反応させる、す
なわち燃焼処理する除害装置、１０は除害装置８
より排気ダクト１１へ放出されるガスの状態を監
視するために配管９間に設けられた検出箱、１２
は形成装置６内を真空にする真空ポンプ、１３は
室内の空気を排気する排気口、１４は格納箱３と
排気ダクト１１とを結ぶ配管１５中に設けられた
ダンパである。また格納箱３と検出箱１０とに
は、シランガスが漏洩し空気中の酸素と反応し燃
焼したことにより生ずる燃焼生成物を検出する火
災感知器D1とD2とが設けられる。この場合燃焼
生成物を検出する火災感知器として光電式煙感知
器とイオン化式煙感知器が使用できるが、縦軸に
それぞれの感知器の出力、横軸にシランガスの燃
焼生成物の濃度が示された第３図の特性曲線図に
よれば、光電式煙感知器ａよりもイオン化式煙感
知器ｂの方がシランガスの燃焼生成物に対し高感
度でより早期にその発生が検出できる。さらに上
記感知器D1，D2は第２図に示すように、格納箱
３内に設けられた火災感知器D1は直接、また検
出箱１０に設けられた火災感知器D2はインバー
タＩを介してOR回路ORに接続され、その出力
は火災警報あるいは消火装置などの防災装置ある
いは半導体製造工程を適切に制御する図示されな
い継電装置に接続される。
次に上記装置の作用について説明する。窒化膜
形成装置６は、この中に半導体ウエハを入れ、真
空ポンプ１２により真空にした後、シランガスボ
ンベ１とアンモニアガスボンベ２とを開きシラン
ガスとアンモニアガスとを装置６に供給し半導体
ウエハに必要な窒化膜、すなわち絶縁膜を生成さ
せる。また未反応ガスを含んだ処理後のガスは除
害装置８において強制的に酸化反応させて安全な
ものとして配管９を通じて排気ダクト１１より排
出される。
形成装置６は、この中に半導体ウエハを入れ、真
空ポンプ１２により真空にした後、シランガスボ
ンベ１とアンモニアガスボンベ２とを開きシラン
ガスとアンモニアガスとを装置６に供給し半導体
ウエハに必要な窒化膜、すなわち絶縁膜を生成さ
せる。また未反応ガスを含んだ処理後のガスは除
害装置８において強制的に酸化反応させて安全な
ものとして配管９を通じて排気ダクト１１より排
出される。
一方このような状態において、シランガスボン
ベ１よりシランガスが空気中の酸素と反応し燃焼
すると、その燃焼生成物により火災感知器D1が
動作し、OR回路ORを介して図されない火災警
報や消火置などの防災装置あるいはダンパ１４の
開度を全開とし漏洩したガスをダクト１１に放出
するなどこの製造工程を制御する継電装置を動作
させる。また検出箱１０においては、除害装置８
が正常に動作している間は、配管９を介して焼却
された燃焼生成物が配管９を通じて排気ダクト１
１へ排出されるので、火災感知器D2は燃焼生成
物を検出し動作するが、その出力はインバータＩ
により反転されるので、OR回路ORにはなんら
入力されず、OR回路ORは動作しない。ところ
が除害装置８が故障し未処理のままのシランガス
が放出され燃焼生成物が発生しなくなると、火災
感知器D2は不動作となるが、インバータＩによ
りその出力は反転され出力が発生するのでOR回
路ORを通じて図示されない火災警報や消火装置
などの防災装置あるいは製造工程を制御する継電
装置を動作させる。
ベ１よりシランガスが空気中の酸素と反応し燃焼
すると、その燃焼生成物により火災感知器D1が
動作し、OR回路ORを介して図されない火災警
報や消火置などの防災装置あるいはダンパ１４の
開度を全開とし漏洩したガスをダクト１１に放出
するなどこの製造工程を制御する継電装置を動作
させる。また検出箱１０においては、除害装置８
が正常に動作している間は、配管９を介して焼却
された燃焼生成物が配管９を通じて排気ダクト１
１へ排出されるので、火災感知器D2は燃焼生成
物を検出し動作するが、その出力はインバータＩ
により反転されるので、OR回路ORにはなんら
入力されず、OR回路ORは動作しない。ところ
が除害装置８が故障し未処理のままのシランガス
が放出され燃焼生成物が発生しなくなると、火災
感知器D2は不動作となるが、インバータＩによ
りその出力は反転され出力が発生するのでOR回
路ORを通じて図示されない火災警報や消火装置
などの防災装置あるいは製造工程を制御する継電
装置を動作させる。
この考案は以上のように半導体製造工程など、
処理ガスとしての有毒で可燃性のシランガスを使
用する箇所に、このガスの燃焼による燃焼生成物
を検出する火災感知器を設けるようにしたので、
事前にあるいは火災の初期段階において適切な制
御が行なうことができる半導体工場などにおける
警報および制御装置が得られる効果がある。
処理ガスとしての有毒で可燃性のシランガスを使
用する箇所に、このガスの燃焼による燃焼生成物
を検出する火災感知器を設けるようにしたので、
事前にあるいは火災の初期段階において適切な制
御が行なうことができる半導体工場などにおける
警報および制御装置が得られる効果がある。
第１図はこの考案の一実施例の概略図、第２図
はその回路図、第３図は光電式煙感知器とイオン
化式煙感知器との特性曲線図である。 １……シランガスボンベ、３……格納箱、６…
…窒化膜形成装置、８……除害装置、１０……検
出箱、１１……排気ダクト、D1，D2……燃焼生
成物を検出する火災感知器。
はその回路図、第３図は光電式煙感知器とイオン
化式煙感知器との特性曲線図である。 １……シランガスボンベ、３……格納箱、６…
…窒化膜形成装置、８……除害装置、１０……検
出箱、１１……排気ダクト、D1，D2……燃焼生
成物を検出する火災感知器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 半導体製造工程など、処理ガスとして有毒で
可燃性のシランガスを使用しまた焼却除害する
箇所に、該シランガスが漏洩し空気中の酸素と
反応し燃焼することにより生ずる燃焼生成物を
検出する火災感知器を設け、この感知器の出力
変化により警報を発するとともに消火装置など
の防災装置および半導体製造工程などを制御す
ることを特徴とする半導体工場などにおける警
報および制御装置。 ２ 使用済のシランガスを燃焼処理する除害装置
の２次側に、出力側にインバータを備えた火災
感知器が設けられた実用新案登録請求の範囲第
１項記載の半導体工場などにおける警報および
制御装置。 ３ 火災感知器がシランガスボンベを収納した格
納箱に設けられた実用新案登録請求の範囲第１
項記載の半導体工場などにおける警報および制
御装置。 ４ 火災感知器が、イオン化式煙感知器である実
用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項のい
ずれかに記載された半導体工場などにおける警
報および制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988147598U JPH0237103Y2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988147598U JPH0237103Y2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184185U JPH0184185U (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0237103Y2 true JPH0237103Y2 (ja) | 1990-10-08 |
Family
ID=31418150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988147598U Expired JPH0237103Y2 (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0237103Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7728089B2 (ja) * | 2021-03-10 | 2025-08-22 | ホーチキ株式会社 | 火災検出装置、防災設備及び火災検出方法 |
| JP7271769B1 (ja) * | 2022-05-19 | 2023-05-11 | 大陽日酸株式会社 | 高圧ガス設備監視システム及び高圧ガス設備監視方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5320798Y2 (ja) * | 1974-09-17 | 1978-05-31 | ||
| NL8003068A (nl) * | 1980-05-28 | 1982-01-04 | Naarden & Shell Aroma Chem | Parfumcomposities en geparfumeerde materialen en voorwerpen die esters van bicyclische monoterpeenzuren als grondstof bevatten. |
-
1988
- 1988-11-14 JP JP1988147598U patent/JPH0237103Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0184185U (ja) | 1989-06-05 |
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