JPH0186504U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0186504U JPH0186504U JP18303987U JP18303987U JPH0186504U JP H0186504 U JPH0186504 U JP H0186504U JP 18303987 U JP18303987 U JP 18303987U JP 18303987 U JP18303987 U JP 18303987U JP H0186504 U JPH0186504 U JP H0186504U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- polished
- polishing
- circular hole
- main body
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 7
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図１，２は本考案の実施例による研磨用ウ
エハキヤリアの平面図と一部断面図、第２図は従
来の研磨用ウエハキヤリアの平面図である。 １はエポキシ樹脂からなるキヤリア本体、２は
ガラス繊維、３はウエハ挿入用円形孔、４は歯車
、５は研磨布、である。
エハキヤリアの平面図と一部断面図、第２図は従
来の研磨用ウエハキヤリアの平面図である。 １はエポキシ樹脂からなるキヤリア本体、２は
ガラス繊維、３はウエハ挿入用円形孔、４は歯車
、５は研磨布、である。
Claims (1)
- 被研磨ウエハを挿入する円形孔を有する円板状
のウエハキヤリア本体と、該円形孔の側面に貼り
付けられた研磨布とを有し、研磨盤上を該ウエハ
キヤリア本体が遊星運動して被研磨ウエハを研磨
する際、該ウエハの面取り部分も同時に研磨でき
るようにしたことを特徴とする研磨用ウエハキヤ
リア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18303987U JPH0186504U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18303987U JPH0186504U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0186504U true JPH0186504U (ja) | 1989-06-08 |
Family
ID=31474472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18303987U Pending JPH0186504U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0186504U (ja) |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP18303987U patent/JPH0186504U/ja active Pending
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