JPH0187237U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0187237U JPH0187237U JP18196887U JP18196887U JPH0187237U JP H0187237 U JPH0187237 U JP H0187237U JP 18196887 U JP18196887 U JP 18196887U JP 18196887 U JP18196887 U JP 18196887U JP H0187237 U JPH0187237 U JP H0187237U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- floating dust
- detection section
- sampling air
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案によるレーザダストモニタの第
一の実施例を示す説明図、第２図は検出部を示す
部分拡大斜視図、第３図はダイクロイツクミラー
の特性を示すグラフ、第４図は第一及び第二の光
電変換器から信号処理回路へ入力する出力信号パ
ルスを示すタイミング線図、第５図は本考案の第
二の実施例を示す説明図、第６図は第三の実施例
を示す説明図、第７図は従来のレーザダストモニ
タを示す説明図である。 １，１ａ，１ｂ……検出部、２……Ｈｅ−Ｎｅ
レーザビーム、３……浮遊塵埃、４……散乱光、
５，５ａ，５ｂ……集光レンズ系、６ａ……第一
の光電変換器、６ｂ……第二の光電変換器、７…
…信号処理回路、１０……ダイクロイツクミラー
、１２……サンプリングエア、１４……紫外線レ
ーザビーム、１５……蛍光、１７……カツトフイ
ルタ、Ｂ……レーザビーム、Ｌ１，Ｌ２……集光
レンズ。
一の実施例を示す説明図、第２図は検出部を示す
部分拡大斜視図、第３図はダイクロイツクミラー
の特性を示すグラフ、第４図は第一及び第二の光
電変換器から信号処理回路へ入力する出力信号パ
ルスを示すタイミング線図、第５図は本考案の第
二の実施例を示す説明図、第６図は第三の実施例
を示す説明図、第７図は従来のレーザダストモニ
タを示す説明図である。 １，１ａ，１ｂ……検出部、２……Ｈｅ−Ｎｅ
レーザビーム、３……浮遊塵埃、４……散乱光、
５，５ａ，５ｂ……集光レンズ系、６ａ……第一
の光電変換器、６ｂ……第二の光電変換器、７…
…信号処理回路、１０……ダイクロイツクミラー
、１２……サンプリングエア、１４……紫外線レ
ーザビーム、１５……蛍光、１７……カツトフイ
ルタ、Ｂ……レーザビーム、Ｌ１，Ｌ２……集光
レンズ。
Claims (1)
- 無機物と有機物とが混合された浮遊塵埃を含ん
だサンプリングエアを検出部に導入し、この検出
部にレーザビームを照射し上記サンプリングエア
中の浮遊塵埃に当つて発生する散乱光を集光レン
ズ系で集光すると共に、この光を光電変換器で電
気信号に変換して信号処理回路で処理することに
より塵埃測定をするレーザダストモニタにおいて
、上記検出部のサンプリングエアに紫外線レーザ
ビームを照射し、浮遊塵埃から発生する散乱光と
その浮遊塵埃中の有機物のみから発生する蛍光と
を別々に検出することにより、上記浮遊塵埃中に
含まれる有機物数を測定するようにしたことを特
徴とするレーザダストモニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18196887U JPH0187237U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18196887U JPH0187237U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187237U true JPH0187237U (ja) | 1989-06-08 |
Family
ID=31473429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18196887U Pending JPH0187237U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0187237U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766342A (en) * | 1980-04-28 | 1982-04-22 | Agency Of Ind Science & Technol | Optical measuring method for suspension particles in medium |
| JPS61182238A (ja) * | 1985-02-07 | 1986-08-14 | Sharp Corp | レジスト等有機化合物残渣検査装置 |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP18196887U patent/JPH0187237U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766342A (en) * | 1980-04-28 | 1982-04-22 | Agency Of Ind Science & Technol | Optical measuring method for suspension particles in medium |
| JPS61182238A (ja) * | 1985-02-07 | 1986-08-14 | Sharp Corp | レジスト等有機化合物残渣検査装置 |
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