JPH0388128U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0388128U JPH0388128U JP14901989U JP14901989U JPH0388128U JP H0388128 U JPH0388128 U JP H0388128U JP 14901989 U JP14901989 U JP 14901989U JP 14901989 U JP14901989 U JP 14901989U JP H0388128 U JPH0388128 U JP H0388128U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concave mirror
- incident
- diffraction grating
- respect
- diffracted light
- Prior art date
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- Pending
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案に係わる分光装置の一実施例を
示す構成図、第２図イ及びロは回折格子の分光原
理を説明するための図、第３図は従来例である。 Ｈ……偏向素子、Ｋｆｉｘ……固定された回折
格子、Ｌ……集光レンズ、Ｍ３〜Ｍ６……凹面鏡
、Ｐ……光電素子。
示す構成図、第２図イ及びロは回折格子の分光原
理を説明するための図、第３図は従来例である。 Ｈ……偏向素子、Ｋｆｉｘ……固定された回折
格子、Ｌ……集光レンズ、Ｍ３〜Ｍ６……凹面鏡
、Ｐ……光電素子。
Claims (1)
- 固定された回折格子と、被測定光である平行光
が入射されその反射光を前記回折格子のｘｙ平面
に対する入射角を変化させて入射させるための偏
向素子及びこの偏向素子に対して焦点位置に配置
され前記偏向素子の反射光が入射される第１の凹
面鏡及びこの第１の凹面鏡の反射光が入射され前
記回折格子に対して焦点位置に配置された第２の
凹面鏡と、前記回折格子のｘｙ平面内での前記入
射角に対する反射方向の回折光を集光するための
前記回折格子に対して焦点位置に配置され前記回
折格子からの回折光が入射される第３の凹面鏡及
びこの第３の凹面鏡により反射された回折光が入
射される第４の凹面鏡及びこの第４の凹面鏡によ
り反射された回折光が入射される集光レンズと、
前記第４の凹面鏡の焦点位置に配置され前記集光
レンズにより集光された回折光を検出する光電素
子とを設けた構成としたことを特徴とする分光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14901989U JPH0388128U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14901989U JPH0388128U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388128U true JPH0388128U (ja) | 1991-09-09 |
Family
ID=31695444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14901989U Pending JPH0388128U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0388128U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023025742A (ja) * | 2021-08-11 | 2023-02-24 | 株式会社ディスコ | 光照射装置 |
-
1989
- 1989-12-25 JP JP14901989U patent/JPH0388128U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023025742A (ja) * | 2021-08-11 | 2023-02-24 | 株式会社ディスコ | 光照射装置 |