JPH0189738U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0189738U
JPH0189738U JP1987185087U JP18508787U JPH0189738U JP H0189738 U JPH0189738 U JP H0189738U JP 1987185087 U JP1987185087 U JP 1987185087U JP 18508787 U JP18508787 U JP 18508787U JP H0189738 U JPH0189738 U JP H0189738U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat treatment
treatment furnace
buffer
furnace according
buffers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1987185087U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH083004Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1987185087U priority Critical patent/JPH083004Y2/ja
Publication of JPH0189738U publication Critical patent/JPH0189738U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH083004Y2 publication Critical patent/JPH083004Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第５図は、この考案の実施例を示す図
で、第１図は、第１実施例を示す正面図、第２図
は、第１図のバツフアの拡大斜視図、第３図は、
第２実施例を示す拡大正面図で第２図に相当する
図、第４図は、第３実施例を示す拡大断面図、第
５図は、第３実施例を示す拡大断面図で第４図に
相当する図である。 １……反応管、２……ガス入口、３……バツフ
ア。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 反応管内のガス入口側にバツフアを設けた
    熱処理炉において、前記バツフアがガス入口側に
    傾斜していることを特徴とする熱処理炉。 (2) バツフアが、摺動自在であることを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の熱処理
    炉。 (3) バツフアが、円弧状バツフアであることを
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
    熱処理炉。 (4) 円弧状バツフアが、ガス通孔を備えている
    ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第３項
    記載の熱処理炉。 (5) バツフアが、その下部に切欠部部を備えて
    いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    １項記載の熱処理炉。 (6) バツフアが、間隔をあけて複数枚設けられ
    ていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
    第１項記載の熱処理炉。 (7) 複数枚のバツフアが、連結部材に固着され
    ていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
    第６項記載の熱処理炉。 (8) 複数枚のバツフアが、複数個形成した支持
    盤の傾斜溝に嵌着されていることを特徴とする実
    用新案登録請求の範囲第６項記載の熱処理炉。
JP1987185087U 1987-12-04 1987-12-04 熱処理炉 Expired - Lifetime JPH083004Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987185087U JPH083004Y2 (ja) 1987-12-04 1987-12-04 熱処理炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987185087U JPH083004Y2 (ja) 1987-12-04 1987-12-04 熱処理炉

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0189738U true JPH0189738U (ja) 1989-06-13
JPH083004Y2 JPH083004Y2 (ja) 1996-01-29

Family

ID=31699772

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987185087U Expired - Lifetime JPH083004Y2 (ja) 1987-12-04 1987-12-04 熱処理炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH083004Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016163025A (ja) * 2015-03-05 2016-09-05 三菱電機株式会社 半導体製造装置および半導体デバイスの製造方法
WO2021052917A1 (fr) * 2019-09-20 2021-03-25 Semco Smartech France Dispositif d'homogeneisation

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50159252A (ja) * 1974-06-12 1975-12-23
JPS58130538A (ja) * 1982-01-28 1983-08-04 Matsushita Electric Works Ltd 酸化炉
JPS61166023A (ja) * 1985-01-17 1986-07-26 Matsushita Electronics Corp 半導体ウエハの熱処理方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50159252A (ja) * 1974-06-12 1975-12-23
JPS58130538A (ja) * 1982-01-28 1983-08-04 Matsushita Electric Works Ltd 酸化炉
JPS61166023A (ja) * 1985-01-17 1986-07-26 Matsushita Electronics Corp 半導体ウエハの熱処理方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016163025A (ja) * 2015-03-05 2016-09-05 三菱電機株式会社 半導体製造装置および半導体デバイスの製造方法
WO2021052917A1 (fr) * 2019-09-20 2021-03-25 Semco Smartech France Dispositif d'homogeneisation
CN114746992A (zh) * 2019-09-20 2022-07-12 法国塞姆科智能科技公司 均化装置
TWI861220B (zh) * 2019-09-20 2024-11-11 法商塞姆科智慧科技法國公司 均質裝置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH083004Y2 (ja) 1996-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0189740U (ja)
JPS6015310U (ja) 咬合全頚用トレ−
JPS6193318U (ja)
JPS6111773U (ja) 拡散炉
JPH01135479U (ja)
JPS6429796U (ja)
JPS6439709U (ja)
JPS6233735U (ja)
JPS5820112U (ja) 蓋付ガスこんろ
JPS62145671U (ja)
JPH01102642U (ja)
JPS62118938U (ja)
JPS59144325U (ja) ガンタイプバ−ナ
JPH0425519U (ja)
JPH044127U (ja)
JPS59105998U (ja) 加熱炉
JPH0192863U (ja)
JPS5849149U (ja) スト−ブの安全装置
JPS648348U (ja)
JPH02140143U (ja)
JPS6365895U (ja)
JPH03119538U (ja)
JPS61177293U (ja)
JPH0191650U (ja)
JPS6386521U (ja)