JPH0189950U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案による蒸着治具の組立図。第
２図は、長方形の試料取り付け用溝Ａを有する本
考案の試料ホルダの平面図。第３図は、蒸着膜厚
を制御する四つの長方形の空隙を有する、中心部
より折り曲げ出来るマスク台平面図。第４図は、
従来の円板上の平面に試料を置いた試料ホルダの
平面図。 １……マスク台、２……試料ホルダ、３……試
料、１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ……マスク台の突起
、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ……試料ホルダの突起
、Ａ……試料取り付け用溝、Ｂ……マスク台の折
り曲げ部、Ｃ……切り抜きの空隙。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空蒸着により金属等の蒸着膜を試料表面に形
   成するための蒸着治具に於て、試料を設置した試
   料ホルダと蒸発源との間にマスク台を取り付け、
   試料ホルダにはマスク台を固定するための複数個
   の突起を設け、マスク台には切り抜きの空隙を設
   け、切り抜きの空隙に対し線対称になる様中央部
   より折り曲げる構造とし、切り抜きの空隙の真下
   にマスク台の折り曲げ位置に線対称に試料を固定
   し、マスク台は試料面に対して傾斜角度をもつて
   屋根形を形成する様構成したことを特徴とする蒸
   着治具。