JPS6190854U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6190854U JPS6190854U JP17242184U JP17242184U JPS6190854U JP S6190854 U JPS6190854 U JP S6190854U JP 17242184 U JP17242184 U JP 17242184U JP 17242184 U JP17242184 U JP 17242184U JP S6190854 U JPS6190854 U JP S6190854U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat
- engages
- processing apparatus
- vacuum processing
- circumferential surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は従来例の一部截断側面図、第２図は本
考案の実施例の正面図、第３図はその平面図、第
４図は第２図の−線部分の一部を省略した拡
大断面図、第５図及び第６図は本考案の他の実施
例の一部を省略した断面図である。 １…取付部材、２…前面、３…平坦部材、７…
凹孔、８…周面、９…回転部材、１１…スプリン
グプランジヤ、１４…ストツパ。
考案の実施例の正面図、第３図はその平面図、第
４図は第２図の−線部分の一部を省略した拡
大断面図、第５図及び第６図は本考案の他の実施
例の一部を省略した断面図である。 １…取付部材、２…前面、３…平坦部材、７…
凹孔、８…周面、９…回転部材、１１…スプリン
グプランジヤ、１４…ストツパ。
Claims (1)
- スパツタリング装置等の真空処理装置に設けら
れた平板電極その他の平坦面を有する取付部材の
前面に、トレー、基板ホルダ等の平坦部材を係脱
自在に取付けするようにしたものに於いて、該平
坦部材の周面に凹孔を形成し、該取付部材に該平
坦部材の周面に沿つて回転自在で且つ前記凹孔と
係合するスプリングプランジヤを備えた回転部材
を設け、該プランジヤが該平坦部材の凹孔と係合
する取付位置より前方へ該回転部材が回転するの
を防止するストツパを設けて成る真空処理装置に
於ける部材係着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17242184U JPH037391Y2 (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17242184U JPH037391Y2 (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190854U true JPS6190854U (ja) | 1986-06-12 |
| JPH037391Y2 JPH037391Y2 (ja) | 1991-02-25 |
Family
ID=30730087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17242184U Expired JPH037391Y2 (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH037391Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-11-15 JP JP17242184U patent/JPH037391Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH037391Y2 (ja) | 1991-02-25 |