JPH0191222U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0191222U JPH0191222U JP18631887U JP18631887U JPH0191222U JP H0191222 U JPH0191222 U JP H0191222U JP 18631887 U JP18631887 U JP 18631887U JP 18631887 U JP18631887 U JP 18631887U JP H0191222 U JPH0191222 U JP H0191222U
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- JP
- Japan
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- target
- measuring device
- light
- tape
- code plate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
第１図は本考案に係る装置の一実施例の構成説
明図、第２図は本考案装置に用いられるコード板
の構成説明図、第３図は本考案装置の一使用例を
示す図、第４図は本考案装置の動作を説明する為
のコード板の説明図、第５図乃至第９図は夫々偏
心誤差の補正を説明する為の図、第１０図は偏心
誤差を補正する回路の一例の接続図、第１１図は
本考案を説明する為の２次元変位計の構成図であ
る。 １０……レーザダイオード、３１，３２……イ
メージセンサ、９０……コード板、９１，９２…
…パターン。
明図、第２図は本考案装置に用いられるコード板
の構成説明図、第３図は本考案装置の一使用例を
示す図、第４図は本考案装置の動作を説明する為
のコード板の説明図、第５図乃至第９図は夫々偏
心誤差の補正を説明する為の図、第１０図は偏心
誤差を補正する回路の一例の接続図、第１１図は
本考案を説明する為の２次元変位計の構成図であ
る。 １０……レーザダイオード、３１，３２……イ
メージセンサ、９０……コード板、９１，９２…
…パターン。
Claims (1)
- レーザ光を光学系を介してターゲツトに照射す
ると共にその反射光をイメージセンサを含む測定
系に与えてターゲツトの変位を測定するようにし
た測定装置において、前記ターゲツトに光再帰性
のテープを用い、このテープに円周方向と半径方
向に夫々等ピツチのパターンを形成したコード板
を用いたことを特徴とする回転角度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18631887U JPH0191222U (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18631887U JPH0191222U (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0191222U true JPH0191222U (ja) | 1989-06-15 |
Family
ID=31477549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18631887U Pending JPH0191222U (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0191222U (ja) |
-
1987
- 1987-12-07 JP JP18631887U patent/JPH0191222U/ja active Pending
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