JPH03264799A - ファンフィルタユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本第１発明は、吸気用開口を回転軸芯方向に開口させ、
かつ、回転軸芯周りで周方向に複数の羽根を並設したロ
ータを備える遠心ファンに関し、本第２発明はケーシン
グの一側壁部に、吸入口を形成し、かつ、対向壁部に、
そのほぼ全面にわたる吹出口を形成し、前記吹出口にフ
ィルタを配置すると共に、前記吸入口から前記ケーシン
グ内へ対象気を取込むファンを前記ケーシングに内装シ
たファンフィルタユニットに関する。

〔従来の技術〕

従来、遠心ファンは第８図（イ）、　（０）　　に示す
ように、ロータ（１４）の周部及び両側部を覆うファン
ケースとしての胴（２０）を有し、その胴（２０）の側
部に、ロータ（１４〉の吸気用開口（１４ｂ）　　に対
向する吸込口（２１）を形成すると共に、胴（２０）の
周部の一部箇所に、送風気を一方向に向けて吐出する吐
出口（２２）を形成した構造となっている。

又、第９図は、吐出向きが互いに逆向きの吐出口（２２
）を２ケ所に形成したものである。

−４、ｊＫ１０図（イ）、（ロ）は従来のファンフィル
タユニットを示し、対象気をケーシング（１０）内に取
込むファンとして上述の第８図や第９図に示す如き遠心
ファン（１３°）を、胴（２０）における吸込口（２１
）がケーシング（１０）における吸入口（１１）に対向
するようにしてケーシング（１０）内に配置している。

（４）は吹出口（１２）に配置したフィルタである。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来の遠心ファンは、送風気の吐出方向が第８
図に示すものでは１方向だけに、又、第９図に示すもの
においても互いに逆向きの２方向に限られ、しかも、回
転軸芯（Ｐ）方向視でファン周りの３６０°方向のうち
送風気の吐出範囲が極めて限られた角度範囲であるため
、それらのことが各種分野への適用上の制約となって用
途が制限される面があった。

一方、このような遠心ファンを使用している第１０図に
示す従来のファンフィルタユニットでは、ケーシング（
１０）の−側壁部の吸入口（１１）から吸入した対象気
を、対向壁部の吹出口（１２）に位置するフィルタ（４
）　の面方向に沿う方向で遠心ファン（１３”）の吐出
口（２２）からケーシング（１０〉内へ吐出することに
おいて、上述の如く遠心ファン（１３°）における送風
気の吐出方向、及び、吐出範囲が限られているために、
フィルタ（４）においてファン（１３’）の吐出動圧が
片寄った状態で局所的に作用し、そのため、フィルタ（
４）通過後における吹出口（１２）からの対象気吹出し
１こおいて、吹出口（１２）各部の吹出速度が互いに大
きく異なって吹出速度分布が不均一となる問題があった
。

そして、このように吹出速度分布が不均一となることを
抑制防止するために、ケーシング（１０）の内部をファ
ン配置側とフィルタ配置側とに仕切る整風用多孔板（２
３）を設けることも行われているが、吹出速度分布を均
一化しようとすると整風用多孔板（２３）にかなりの大
抵抗のもの、すなわち、整風に大きな圧力損失を伴うも
のを使用しなければならず、そのため、吹出風量が制限
されたり、必要ファン動力が嵩む等の問題を派生してい
た。

本第１発明の目的は、従来の遠心ファンで得られなかっ
た送風気吐出特性を合理的なファン構成をもって得るこ
とにより、従来の遠心ファンでは送風気吐出特性上、使
用に難があった用途に対する遠心ファンの対応性を高め
る点にある。

又、本第２発明の目的は、本第１発明による遠心ファン
の使用により、前述の如き従来のファンフィルタユニッ
トにおける問題の解消を図る点にある。

〈第１発明） 〔課題を解決するための手段〕 本第１発明による遠心ファンの第１の特徴構成は、吸気
用開口を回転軸芯方向に開口させ、かつ、回転軸芯周り
で周方向に複数の羽根を並設したロータを備える基本構
成に対し、前記ロータの外周近傍において、３以上のベ
ーンをロータ周方向に分散配置し、前記ベーンの夫々に
おいて、ロータ回転向きで上手側のベーン端部又はその
近傍から下手側のベーン端部又はその近傍にわたり、か
つ、ロータ回転向きの下手側ほど前記ロータから離間す
るロータ側向きの内向案内面と、前記の上手側ベーン端
部又はその近傍から延びてロータ回転向きの下手側ほど
前記ロータから離間する反ロータ側向きの外向案内面と
を形成し、回転軸芯方向視において前記内向案内面の始
端と終端を結ぶ仮想直線が、その仮想直線と前記内向案
内面との間に前記ロータが不存となる側に位置して前記
ロータに対し非通過となるように、前記内向案内面を形
成してあることにあり、その作用・効果は次の通りであ
る。

〔作　用〕

つまり、上述本第１発明の第１特徴構成を有する遠心フ
ァンではく第４図参照）、ロータ回転向き（Ｒ）の下手
側ほどロータ（１４）から離間する内向案内面（１５ａ
）及び外向案内面（１５ｂ）が夫々に形成され、かつ、
ロータ（１４）の外周近傍においてロータ（１４〉の周
方向に分散配置されたベーン（１５）の作用により、ロ
ータ（１４）の回転に伴い回転軸芯（Ｐ）方向視にてベ
ーン（１５）間から外側へ送風気が吐出され、又、それ
に伴いロータ（１４）の吸気用開口（１４ｂ）からロー
タ（１４）の内部へ吸気される。

そして、この送風気吐出において、ロータ周方向に分散
配置されて上述の如く送風気吐出に寄与するベーン〈１
５〉が３以上であることから、送風気は回転軸芯（Ｐ）
方向視にて３以上の方向へ放射状に吐出される。

又、各ベーン（１５〉において、ロータ回転向き（Ｒ）
で上手側のベーン端部又はその近傍から下手側のベーン
端部又はその近傍にわたり、かつ、ロータ回転向き（Ｒ
）の下手側ほどロータ（１４）から離間する内向案内面
（１５ａ）を形成するにあたり、回転軸芯（Ｐ）方向視
にて内向案内面＜１５ａ）の始端（ａ）　と終端（ｂ）
を結ぶ仮想直線（ｌが、その仮想直線（ｌ）と内向案内
面（１５ａ）との間にロータ（１４）が不存となる側に
位置してロータ（１４）に対し非通過となるように、内
向案内面（１５ａ）を形成することにより、略言すれば
、回転軸芯（Ｐ）方向視にて１つの内向案内面（１５ａ
）が、従来の遠心ファン（第８図、第９図参照）におけ
る胴（２０）の内周面の如く不必要に長くロータ周部を
覆うことのないようにすることにより、前述の如く送風
気吐出方向を放射状の３方向以上とすることと相俟って
、回転軸芯（Ｐ）方向視におけるファン周りの３６０°
方向中、送風気吐出範囲としての角度範囲を大巾に増大
できる。

〔発明の効果〕

以上作用の結果、本第１発明の第１特徴構成によれば、
特定された１方向や２方向へ指向性のある状態で送風気
が吐出される従来遠心ファンの送風気吐出特性と異なり
、回転軸芯方向視にてファン周りの全周から均等に外側
へ広く拡がる形態で送風気が吐出されるといった形容に
近い新たな送風気吐出特性を持った遠心ファンとするこ
とができ、ひいては、従来の遠心ファンでは送風気吐出
特性上、使用に難があった各種用途において、その使用
上の難点の解消に大きく寄与し得るに至った。

尚、本第１発明による遠心ファンの第２の特徴構成は、
前記ベーンを、吸音材を主材として形成してあることに
あり、この第２特徴構成を採用すれば、吸音材を主材と
するベーンの吸音作用により、又、吸音作用を奏するベ
ーンが前述第１特徴構成上、ロータの周方向に３以上の
複数分散配置されていることにより、ファン騒音が極め
て効果的に低減される。

（第２発明） 〔課題を解決するための手段〕 本第２発明によるファンフィルタユニットの第１の特徴
構成は、ケーシングの一側壁部に、吸入口を形成し、か
つ、対向壁部に、そのほぼ全面にわたる吹出口を形成し
、前記吹出口にフィルタを配置すると共に、前記吸入口
から前記ケーシング内へ対象気を取込むファンを前記ケ
ーシングに内装する構成において、 前記ファンとして前述本第１発明の第１特徴構成を有す
る遠心ファンを、そのロータの吸気用開口が前記吸入口
に対向する状態で前記ケーシング内に配置したことにあ
り、その作用・効果は次の通りである。

〔作　用〕

つまり、上述本第２発明の第１特徴構威を有するファン
フィルタユニットでは（第２図ないし第４図参照）、遠
心ファン（１３）により吸入口（１１）から対象気が吸
入されて、その吸入対象前がフィルタ（４）の面方向に
沿う方向でケーシング（１０）内へ吐出されるが、この
ことにおいて吸入対象前は、前述本第１発明の第１特徴
構成を有する遠心ファン（１３）の送風気吐出特性上、
ファン回転軸芯（Ｐ）方向視（フィルタ面視）にてファ
ン周りの全周から均等に外側へ広く拡がるというに近い
形態でケーシング（１０）内へ吐出されるから、従来の
如くフィルタ（４）においてファン（１３）の吐出動圧
が片寄った状態で局所的に作用するといったことが効果
的に解消される。

〔発明の効果〕 以上作用の結果、本第２発明の第１特徴構成によれば、
フィルタ通過後における吹出口からの対象気吹出しにお
いて吹出口各部の吹出速度を効果的に均等化し得て、フ
ァンフィルタユニットにおける対象気吹出性を従来に比
べ大巾に向上し得るに至った。

又、このように本第１発明の遠心ファンを利用すること
をもって吹出口からの吹出速度を効果的に均等化し得る
ことで、仮にケーシング内部をファン配置側とフィルタ
配置側とに仕切る整風用多孔板を付加的に設けるとして
も、小抵抗の整風用多孔板ですみ、整風用多孔板を設け
るために吹出風量が制限されたり、又、必要ファン動力
が増大したりするといった派生的問題が生じることを最
小限にとどめ得る。

尚、本第２発明によるファンフィルタユニットの第２の
特徴構成は、前述本第１発明の第１特徹構成を有する遠
心ファンを用いるにおいて、この遠心ファンのベーンを
前記ケーシングの吸入口形成側壁部に取付けたことにあ
り、この第２特徴構戒を採用すれば、ファンフィルタユ
ニットにおけるケーシングの一側壁部の一部をファンケ
ースに兼用利用する状態で遠心ファンを構成できて、フ
ァンフィルタユニット全体としての構造の簡略化、軽量
化、及び、製作コストの低減を図り得る。

〔実施例〕

次に本第１発明及び本第２発明の詳細な説明する。

第１図はクリーンルーム設備を示し、対象室（１）の天
井裏を給気チャンバ（２）とし、空調器〈３）により温
湿度調整した新鮮外気を給気チャンバ（２）に供給する
ようにしてある。

そして、対象室（１）の天井には、給気チャンバ（２）
内の空気を吸入して、この吸入気をフィルタ（４）によ
り浄化した後、対象室（１）へ吹出し供給するファンフ
ィルタユニット（５）を配設してある。

一方、対象室（１）の床下は排気チャンバ（６）とし、
ファンフィルタユニット（５）からの浄化空気の吹出し
供給に伴い、室内気を多孔板製の床（７）を介し排気チ
ャンバ（６）へ排気するようにしてある。

排気チャンバ（６）に排気された空気は還気風路（８）
を介し給気チャンバ（２）に還気させるが、排気チャン
バ（６）への排気空気のうち空調器（３）からの外気供
給量に相当する量は還気風路（８）から分流して排気路
（９）を介し屋外へ廃棄するようにしてある。

第２図ないし第４図に示すように、ファンフィルタユニ
ット（５）は、土壁部（１０ａ）のほぼ中央に吸入口（
１１）を形成し、かつ、下面部のほぼ全面を吹出口（１
２）として開口させたケーシング（１０）を備え、吸入
口（１１）から対象気（給気チャンバ（２）内の空気）
を吸入してケーシング（１０）内へ取込む遠心ファン（
１３）、及び、吹出口（１２）に臨設して吹出口（１２
）への送出過程で対象気を浄化する前記のフィルタ（４
）をケーシング（１０）に内装してある。

遠心ファン（１３）は、回転軸芯（Ｐ）周りで周方向に
複数の羽根（１４ａ）を並設した筒状のロータ（１４〉
を備え、このロータ（１４）の筒状形状における一底部
には回転軸芯（Ｐ）方向に開口する吸気用開口（１４ｂ
）を形成し、地底部はメクラ板（１４ｃ）により閉塞し
てある。

そして、ロータ（１４）の外周近傍において３個のベー
ン（１５）をロータ周方向に等間隔で分散配置し、これ
らベーン（１５）の夫々において、ロータ回転向き（矢
印Ｒで示す）で上手側のベーン端ｎ　（ａ）から下手側
のベーン端部（ｂ）にわたり、かつ、ロータ回転向き（
Ｒ）の下手側ほどロータ（１４〉から離間するロータ側
向きの内向案内面（１５ａ）、及び、上手側ベーン端Ｈ
（ａ）から延びてロータ回転向きの下手側ほどロータ（
１４）から離間する反ロータ側向きの外向案内面（１５
ｂ）を形成してある。

内向案内面（１５ａ）及び外向案内面（１５ｂ）は夫々
、ロータ（１４）の周方向に沿う側に湾曲する湾曲面に
形成してあり、又、ロータ回転向き（Ｒ）の下手側ほど
ロータ（１４）から離間する離間度合については、外向
案内面（１５ｂ）の方が内向案内面（１５ａ）よりも大
きな度合で離間していく配置としてあり、略言すれば各
ベーン（１５）は回転軸芯（Ｐ）方向視にて湾曲クサビ
形状に形成してある。

又、上記遠心ファン（１３）を構成するにあたっては、
ロータ（１４）の吸気用開口（１４ｂ）をファンフィル
タユニット（５）におけるケーシング（１０）の吸入口
（１１）に対向させる配置でロータ（１４）をファンフ
ィルタユニット（５）のケーシング（１０）に内装する
のに対して、各ベーン〈１５）はファンフィルタユニッ
ト（５）におけるケーシング（１０）の土壁部（吸入口
形成側壁部）（１０ａ）に取付けてあり、そして、ロー
タ（１４）のメクラ板（１４Ｃ）側（ロータ（１４）の
下側）には円板状の仕切板（１６）を配設してある。

つまり、′遠心ファン（１３）を構成するにあたり、フ
ァンフィルタユニット（５）のケーシング（１０）にお
ける上壁ａ（１０ａ）の吸入口（１１）周り部分をファ
ンケースの構成部材に兼用利用した状態で、その上壁部
（１０ａ）の吸入口（１１）周り部分と上記の仕切板（
１６）とをもってファンケースを構威してある。

尚、仕切板（１６）は、各ベーン（１５）をケーシング
（１０）の土壁部（１０ａ）に対する連結脚具に利用し
てケーシング（１０）に連結固定してある。

上記遠心ファン（１３〉では、ロータ（１４）の回転に
対しベーン（１５）の作用により、回転軸芯（Ｐ）方向
視にてベーン（１５）間から外側へ放射状で３方向に送
風気が吐出され、又、それに伴い、ファンケースにおけ
る吸込口に相当するケーシング（１０）の吸入口（１１
）、及び、ロータ（１４）の吸気用開口（１４ｂ）を介
しロータ（１４）の内部へ吸気される。

図中〈１７）はロータ（１４）を回転させるファン用モ
ータである。

各ベーン（１５）を構成するにあたり内向案内面（１５
ａ）については、回転軸芯（Ｐ）方向視にて内向案内面
（１５ａ）の始端（ａ）と終１（ｂ）を結ぶ仮想直線（
ｆ）が、その仮想直線＜ｉ＞　　と内向案内面（１５ａ
）　　との間にロータ（１４）が不存となる側に位置し
てロータ（１４）に対し非通過となるように、内向案内
面（１５ａ）を形成してあり、略言すれば、回転軸芯（
Ｐ）方向視にて１つの内向案内面（１５ａ）が、第８図
や第９図に示す如き遠心ファンにおける胴（２０〉の内
周面の如く不必要に長くロータ（１４）周部を覆うこと
のないようにしてある。

すなわち、各内向案内面（１５ａ）を上述の如く構成す
ることと、前述の如く送風気の吐出方向を放射状の３方
向とすることとにより、第８図や第９図に示す遠心ファ
ンに比べ、回転軸芯（Ｐ）方向視におけるファン周りの
３６０°方向中における送風気吐出範囲としての角度範
囲を大巾に増大させ、遠心ファン（１３）の送風気吐出
特性として、回転軸芯（Ｐ）方向視てファン（１３）周
りの全周から均等に外側へ広く拡がるというに近い形態
で送風気が吐出されるようにしてある。

そして、ファンフィルタユニット（５）を構成するにあ
たり、ロータ（１４）の吸気用開口（１４ｂ）をケーシ
ング（１０〉の吸入口（１１）に対向させてケーシング
＜１０）に内装する遠心ファンとして、上述の如き送風
気吐出特性の遠心ファン（１３）を採用することにより
、吸入口（１１〉からの吸入対象気ヲ遠心ファン（１３
）がフィルタ（４）の面方向に沿う方向でケーシング（
１０）内へ吐出することにおいて、その吐出動圧が局所
的に片寄った状態でフィルタ（４）に作用することを回
避し、もって、吹出口（１２）からの対象気吹出におい
て吹出口（１２）各部における吹出速度の均等化を図っ
である。

遠心ファン（１３〉において上記ベーン（１５）の中央
部はグラスウールや硬化フオーム材等の吸音材（１５ｃ
）　　により形成してあり、ロータ（１４）の周方向に
複数分散配置するベーン（１５）を、このように吸音材
（１５ｃ）をもって形成することにより、ファン騒音の
低減を図っである。

尚、ベーン（１５）において吸音材（１５ｃ）の局部は
多孔板状材（１５ｄ）　により被覆してあり、この多孔
板状材（１５ｄ）　により、吸音材（１５ｃ）の吸音作
用を十分発揮させながら吸音材（１５ｃ）を補強及び保
護するようにしてある。

〔別実施例〕

次に本第１及び第２発明夫々の別実施例を列記する。

（第１発明） 本第１発明の遠心ファンを構成するに、（イ）　ロータ
（１４）の周方向に分散配置するベーン（１５）の個数
は３個に限定されるものではなく、第５図や第６図に示
すように、３個以上の複数個であれば、その個数は何個
であっても良い。

（０）　　前述実施例においてはファンフィルタユニッ
ト（５）におけるケーシング（１０）の一部をファンケ
ースに兼用利用したが、第７図に示すように、ファンケ
ースを構成する一対の専用板材（１６Ａ）、　（１６Ｂ
）をロータ〈１４）の両側方に振分は配置するとともに
、その専用板材（１６Ａ）に、ロータ（１４）の吸気用
開口（１４ｂ）に対向するファン吸込口（２１）を形成
し、もって、独立の遠心ファン（１３）を構成しても良
い。

（ハ）　ロータ（１４）の両側夫々に吸気用開口（１４
ｂ）を形成して、所謂両吸込型の遠心ファンとしても良
い。

（ニ）　ベーン（１５）の内向案内面（１５ａ）及び外
向案内面（１５ｂ）の夫々を前述実施例の如く湾曲面に
形成するに代えて、それら案内面（１５ａ）。

（１５ｂ）の一方、ないし、両方を回転軸芯（Ｐ）方向
視にて直線状となる面に形成してもよい。

（ホ〉　ベーン（１５〉の内向案内面（１５ａ）及び外
向案内面（１５ｂ）夫々について、ロータ回転向き（１
’ｌ）の下手側ほどどの程度の率でロータ（１４）から
離間させるかは種々の構成変更が可能である。

（へ）　前述実施例では、ロータ回転向き（Ｒ）で上手
側のベーン端部を内向案内面（１５ａ）及び外向案内面
（１５ｂ）夫々の始端とし、かつ、ロータ回転向き（Ｒ
）で下手側のベーン端部を内向案内面（１５ａ）の終端
としたが、内向案内面（１５ａ）の始端（ａ）や外向案
内面（１５ｂ＞の始端を上手側ベーン端部の近傍位置と
したり、又、内向案内面（１５ａ）の終端（ｂ）を下手
側ベーン端部の近傍位置としたりして、上手側ベーン端
部とその近傍の案内面始端との間や、下手側ベーン端部
とその近傍の案内面終端との間に、種々のベーン局部形
状を施す構成としても良い。

（ト）　　吸音材（１５ｃ）を主材としてベーン（１５
ｃ）を形成する場合、吸音材（１５ｃ）　には従来周知
の種々の材質のものを適用でき、又、吸音材（１５Ｃ）
　に対する保形・保護・補強等のための構造は種々の改
良が可能である。

尚、本第１発明においてベーン（１５）　（７）形Ｊｆ
ｆｌ材は吸音材（１５Ｃ）に限定されるものでは無く、
吸音材（１５Ｃ）以外の材料をもってベーン（１５）を
形成しても良い。

（第２発明） 本第２発明のファンフィルタユニットをａ或するに、 （チ）　吸入口（１１）と吹出口（１２）とを互いに対
向する壁部に形成することにおいて、吸入口（１１）を
形成する一側壁部は、ケーシング（１０）における土壁
部、下壁部、横壁部等のいずれであっても良い。

〈す）　　前述実施例においては、ケーシング（１０）
の一部を遠心ファン（１３）のファンケースに兼用利用
したが、本第１発明による遠心ファンであって第７図に
示す如くファンとして独立に完成した遠心ファン（１３
）をケーシング（１０）内に配設するようにしても良い
。

（ヌ〉　内装遠心ファン（１３）の個数は１個に限定さ
れるものではなく、２個以上の複数であっても良い。

（ル）　イージング（１０）内をファン配置側とフィル
タ配置側とに仕切る整風用の多′ＰＬ板状体を必要に応
じ付加装備しても良５）。

尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にする為
に符号を記すが、該記入により本発明は添付図面の構造
に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は実施例を示し、第１図はクリーン
ルーム設備の構成図、第２図は斜視図、第３図は側面視
断面図、第４図は平面視断面図である。第５図ないし第
７図は夫々、別実施例を示し、第５図及び第６図は回転
軸芯方向筏における遠心ファンの構成図、第７図は遠心
ファンの斜視図である。第８図（イ）、（ロ）は従来の
遠心ファンを示す斜視図と断面図、第９図は他の従来遠
心ファンを示す断面図、第１０図（イ）。 （ロ）は従来のファンフィルタユニットを示す斜視図と
側面視断面図である。 （４）・・・・・・フィルタ、（１０）・・・・・・ケ
ーシング、（１０ａ）・・・・・・壁部、（１１〉・・
・・・・吸入口、（１２）・・・・・・吹出口、（１３
）・・・・・・ファン、（１４）・・・・・・ロータ、
（１４ａ）・・・・・・羽根、（１４ｂ）・・・・・・
吸気用開口、（１５）・・・・・・ベーン、（１５ａ）
・・・・・・内向案内面、（１５ｂ）・・・・・・外向
案内面、（１５Ｃ）・・・・・・吸音材、（Ｐ）・・・
・・・回転軸芯、（Ｒ）・・・・・・回転向き。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、吸気用開口（１４ｂ）を回転軸芯（Ｐ）方向に開口
   させ、かつ、回転軸芯（Ｐ）周りで周方向に複数の羽根
   （１４ａ）を並設したロータ（１４）を備える遠心ファ
   ンであって、 前記ロータ（１４）の外周近傍において、３以上のベー
   ン（１５）をロータ周方向に分散配置し、前記ベーン（
   １５）の夫々において、ロータ回転向き（Ｒ）で上手側
   のベーン端部又はその近傍から下手側のベーン端部又は
   その近傍にわたり、かつ、ロータ回転向き（Ｒ）の下手
   側ほど前記ロータ（１４）から離間するロータ側向きの
   内向案内面（１５ａ）と、前記の上手側ベーン端部又は
   その近傍から延びてロータ回転向き（Ｒ）の下手側ほど
   前記ロータ（１４）から離間する反ロータ側向きの外向
   案内面（１５ｂ）とを形成し、回転軸芯（Ｐ）方向視に
   おいて前記内向案内面（１５ａ）の始端（ａ）と終端（
   ｂ）を結ぶ仮想直線（ｌ）が、その仮想直線（ｌ）と前
   記内向案内面（１５ａ）との間に前記ロータ（１４）が
   不存となる側に位置して前記ロータ（１４）に対し非通
   過となるように、前記内向案内面（１５ａ）を形成して
   ある遠心ファン。 ２、前記ベーン（１５）を、吸音材（１５ｃ）を主材と
   して形成してある請求項１記載の遠心ファン。 ３、ケーシング（１０）の一側壁部（１０ａ）に、吸入
   口（１１）を形成し、かつ、対向壁部に、そのほぼ全面
   にわたる吹出口（１２）を形成し、前記吹出口（１２）
   にフィルタ（４）を配置すると共に、前記吸入口（１１
   ）から前記ケーシング（１０）内へ対象気を取込むファ
   ン（１３）を前記ケーシング（１０）に内装したファン
   フィルタユニットであって、 前記ファン（１３）として請求項１記載の遠心ファンを
   、前記ロータ（１４）の前記吸気用開口（１４ｂ）が前
   記吸入口（１１）に対向する状態で前記ケーシング（１
   ０）内に配置したファンフィルタユニット。 ４、請求項１記載の遠心ファン（１３）における前記ベ
   ーン（１５）を、前記ケーシング（１０）の吸入口形成
   側壁部（１０ａ）に取付けた請求項３記載のファンフィ
   ルタユニット。