JPH0193142A - 半導体基板収納治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体基板（以下、ウェハという）の収納治具
に関する。

〔従来の技術〕

一般的にウェハの保管あるいは処理装置から処理装置ま
での移動はキャリアに収納して行われる。

保管あるいは移動を行う場合はウェハをとりまく周囲環
境中の塵埃などがウェハに付着するのを防ぐためにキャ
リア全体をキャリアケースに収め簡易的な密閉状態にし
ている。このとき、キャリアとキャリアケースは別個の
もので、キャリアケースからのキャリアの取り出しは自
在になっている。また、このキャリアケースに収められ
たウェハを処理装置に供給するためには、まず、キャリ
アケースを取り外してキャリアを処理装置のウェハ供給
装置に設置する。ウェハ供給装置はほとんどの処理装置
において、キャリアの昇降機構（以下「エレベータ機構
」と記す）とベルト搬送機構を組合せたものである。

キャリアをエレベータ機構に設置すると、ウェハ１枚分
のピッチだけ下降し、ベルト搬送機構によりウェハが取
り出され、処理装置に供給される。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来のキャリアに対し、本発明はキャリアを密
閉状態に維持したままで該キャリアからウェハを取り出
し、ウェハと周囲環境との接触を極力避けるという相違
点を有する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は複数の半導体基板を上下に積層して収納するキ
ャリアをキャリアベース上に有し、該キャリアをキャリ
アカバーの底部開口から該キャリアカバー内に抜差可能
に収容′し、前記キャリア内の最下段の半導体基板と前
記キャリアベースとの”間に、キャリアへの半導体基板
の授受を行う・搬送機構の挿入用空隙を備えたことを特
徴とする半導体基板収納治具である。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図により説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の第１の実施例を示す斜視図である。

本発明はキャリア２と、キャリアカバー４と、キャリア
ベース３とを有する。キャリア２は該キャリア２の対向
内壁に、ウェハ１の端縁を保持する溝２ａ、２ａを上下
に複数段（通常２５段）備えており、各段の対をなす溝
２ａ、２ａによりウェハ１の端縁を水平に嵌合保持し、
複数のウェハ１，１・・・を上下に積層−て収納する。

前記キャリア２はキャリアベース３上に設置し、−該キ
ャリアベース３上に、キャリア２の外周を取り囲むガイ
ド６を設け、該キャリア２をキャリアカバー４の底部開
口４ａから該キャリアカバー４内に゛抜差可能に収容す
る。また、キャリアカバー４の両側壁には支持用溝５を
設けである。一方、キャリア２内の最下段のウェハｌａ
とキャリアベース３との間に、キャ：ノア２へのウェハ
１の授受を行う搬送機構の挿入用空隙１０を備えている
。

第２図はキャリアをウェハ供給装置に設置した場合の概
略図である。

マシンベース２５にはベルトローダ２４が固定されてい
る。またエレベータベース２３はマシンベース２５上に
矢印Ａｂ　−Ａｆの方向に移動可能なように設置されて
いる。エレベータベース２３上にエレベータ２１および
カバーハンド２２が固定されている。エレベータ２１は
エレベータ用モータ３１とリードスクリューなどによっ
て昇降できるようになっている。

カバーハンド２２は支持部材２２ａ上に矢印Ｂｂ　−Ｂ
ｆの方向に移動可能なように設置されている。

第３図は本発明のウェハ供給装置の動作を示す模式図で
ある。キャリア２にウェハ１が収納された状態でキャリ
アカバー４をかぶせ、ウェハを保管あるいは移動させる
。ウェハ１を処理装置で処理する場合はキャリアベース
３を介してキャリア２をエレベータ２１に設置する。エ
レベータ２１にキリア２が設置されると、まずカバーハ
ンド２２がエアシリンダ３２により矢印Ｂｆの方向に移
動しキャリアカバー４に設けられている支持用溝５に嵌
合しカバーハンド２２はキャリアカバー４を定位置に保
持する。

次にエレベータ２１が下降し、これに伴いキャリアベー
ス３とキャリア２が下降する。空隙１０の高さがベルト
ローダ２４の高さと一致すると、エレベータ２１は一旦
停止する。次にエアシリンダ３３によりエレベータベー
ス２３が矢印Ａｆの方向に移動し空隙１０にベルトロー
ダ２４が相対的に挿入される。

この段階でこんどはエレベータ２１がウェハ１枚分だけ
のピッチを下降し１枚目のウェハがベルトローダ２４に
接触する。ベルトローダ２４のベルトはベルト用モータ
３４などにより動作し、ウェハを取り出し処理装置へ搬
送する。

１枚目のウェハの搬送が終了すると、エレベータ２１は
もう１ピツチ下降し２、枚目のウェハを取り出す。以下
同様の動作を繰り返し、キャリア２内のウェハをすべて
取り出し処理装置に搬送する。

その後、エレベータ２１は上昇し空隙１０の位置にベル
トローダ２４がくるまで上昇する。そしてエアシリンダ
３３によりエレベータペニス２３は矢印Ａｂの方向に移
動する。エレベータ２１はまた上昇し上限に達すると、
キャリア２はキャリアカバー４の中に収納され、元の状
態になる。そしてエアシリンダ３２によりカバーハンド
２２は矢印Ｂｂの方向へ移動する。

（実施例２） 第４図は本発明の実施例２の斜視図である。

この実施例は実施例１の支持用溝５に対し突起状の支持
部材、支持用突起５ａを設けたものである。

実施例１のキャリアケースでは支持用溝５をキヤリアカ
バー４に設けるため、厚手のカバー４にしなければなら
ないが、この実施例では支持用突起５ａをキャリアカバ
ー４に外付けするため、キャリアカバ−４自体が薄くで
き軽量化できる利点がある。

尚、実施例では、キャリアカバー４は内部透視可能なよ
うに透明材にて構成されている。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ウェハを処理装置に供給
する寸前まで密閉空間内に保管することになり、ウェハ
が周囲環境と接触する機会が減少し、ウェハへの塵埃の
付着が低減される。また、キャリアカバーとキャリアと
をユニット化して装置にセットすることができ、キャリ
アカバーを取り外す必要がなく、該キャリアカバーの保
管空間を不要にすることができる効果を有するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す斜視図、第２図は
本発明に係る半導体基板収納治具をウェハ供給装置にセ
ットした状態を示す斜視図、第３図は本発明の動作を示
す模式図、第４図は本発明の第２の実施例を示す斜視図
である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の半導体基板を上下に積層して収納するキャ
   リアをキャリアベース上に有し、該キャリアをキャリア
   カバーの底部開口から該キャリアカバー内に抜差可能に
   収容し、前記キャリア内の最下段の半導体基板と前記キ
   ャリアベースとの間に、キャリアへ半導体基板の授受を
   行う搬送機構の挿入用空隙を備えたことを特徴とする半
   導体基板収納治具。