JPH0193733U - - Google Patents

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JPH0193733U
JPH0193733U JP18945687U JP18945687U JPH0193733U JP H0193733 U JPH0193733 U JP H0193733U JP 18945687 U JP18945687 U JP 18945687U JP 18945687 U JP18945687 U JP 18945687U JP H0193733 U JPH0193733 U JP H0193733U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案によるロボツトを用いた搬送装
置の実施例の斜視図、第２図ａは第１図のロボツ
トによつてウエハカセツトをハンドリングする姿
勢を示す側面図、第２図ｂは第２図ａのウエハカ
セツトをウエハ処理装置へ搬入出する姿勢を示す
側面図、第３図は５軸多関節ロボツトの例を示す
斜視図、第４図は物品をハンドリングする場合の
４軸及び５軸の姿勢であつて、ａは４軸が垂直の
場合の状態を示す側面図、ｂは４軸が垂直でない
場合の状態を示す側面図、第５図ａは物品がロボ
ツト１軸旋回中心に対しラジアル方向にある場
合における物品のハンドリングをする姿勢の平面
図、第５図ｂは物品がロボツト１軸旋回中心に
対しラジアル方向にない場合における物品のハン
ドリングをする姿勢の平面図である。 １……５軸多関節ロボツト、２……スライド機
構、３……旋回機構、４Ａ，４Ｂ……カセツトボ
ツクス、５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ……ウエハカセ
ツト、６……ウエハ処理装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ５軸多関節ロボツトとハンドリングすべき物品
    を直線スライド可能にした別置のスライド機構又
    はハンドリングすべき物品を旋回中心周を旋回可
    能にした別置の旋回機構とを組み合せ、それによ
    りロボツトハンドリングの自由度を増すようにし
    たことを特徴とするロボツトを用いた搬送装置。
JP1987189456U 1987-12-15 1987-12-15 ロボットを用いた搬送装置 Expired - Lifetime JPH0632684Y2 (ja)

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JPH0193733U true JPH0193733U (ja) 1989-06-20
JPH0632684Y2 JPH0632684Y2 (ja) 1994-08-24

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Publication number Publication date
JPH0632684Y2 (ja) 1994-08-24

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