JPH0195637U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0195637U JPH0195637U JP19191987U JP19191987U JPH0195637U JP H0195637 U JPH0195637 U JP H0195637U JP 19191987 U JP19191987 U JP 19191987U JP 19191987 U JP19191987 U JP 19191987U JP H0195637 U JPH0195637 U JP H0195637U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermocouple
- wavy
- mounting structure
- guide tube
- spiral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例である熱電対の取り
付け構造を示す断面図、第２図は、本考案になる
他の実施例を示す断面図である。 １……案内管、１１，１２……取り付けネジ、
２……シース熱電対、２１……先端部、２２……
取り付けネジ部、２３……中間部の波状部、２３
′……中間部の螺旋状部。
付け構造を示す断面図、第２図は、本考案になる
他の実施例を示す断面図である。 １……案内管、１１，１２……取り付けネジ、
２……シース熱電対、２１……先端部、２２……
取り付けネジ部、２３……中間部の波状部、２３
′……中間部の螺旋状部。
Claims (1)
- 測温接点と少なくとも二種類の熱電対素線を絶
縁物を介してシース内に封入した熱電対と、被温
度測定部に挿入、固定されその内部に前記熱電対
を案内、保護する案内管とから成る熱電対の取り
付け構造において、前記熱電対の少なくとも一部
は波状あるいは螺旋状に成形され、この熱電対の
波状あるいは螺旋状部が前記案内管の内壁面に接
触していることを特徴とする熱電対の取り付け構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19191987U JPH0195637U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19191987U JPH0195637U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195637U true JPH0195637U (ja) | 1989-06-23 |
Family
ID=31482803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19191987U Pending JPH0195637U (ja) | 1987-12-17 | 1987-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0195637U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010185766A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 撹拌装置 |
| CN114427917A (zh) * | 2020-10-29 | 2022-05-03 | 株式会社国际电气 | 温度传感器、加热器单元、基板处理装置、半导体装置的制造方法和存储介质 |
-
1987
- 1987-12-17 JP JP19191987U patent/JPH0195637U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010185766A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 撹拌装置 |
| CN114427917A (zh) * | 2020-10-29 | 2022-05-03 | 株式会社国际电气 | 温度传感器、加热器单元、基板处理装置、半导体装置的制造方法和存储介质 |
| JP2022072048A (ja) * | 2020-10-29 | 2022-05-17 | 株式会社Kokusai Electric | 温度センサ、ヒータユニット、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |