JPH0196823A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0196823A JPH0196823A JP25254187A JP25254187A JPH0196823A JP H0196823 A JPH0196823 A JP H0196823A JP 25254187 A JP25254187 A JP 25254187A JP 25254187 A JP25254187 A JP 25254187A JP H0196823 A JPH0196823 A JP H0196823A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor
- film
- magnetic recording
- recording medium
- vapor deposition
- Prior art date
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体に係り、さらに詳しくは垂直磁気
特性に優れた磁性層を有する磁気記Ｒｊｊｔ：体の製造
方法に関する。
特性に優れた磁性層を有する磁気記Ｒｊｊｔ：体の製造
方法に関する。
近年、磁気記録の高密度化に伴ない、磁気記録媒体の膜
面に対して垂直方向に磁化して記録再生を行う垂直磁気
記録方式の研究開発が活発に行われている。
面に対して垂直方向に磁化して記録再生を行う垂直磁気
記録方式の研究開発が活発に行われている。
垂直磁気記録方式に関して、さらにその性能を高めるた
めに、パーマロイなどの軟磁性層上に、磁気記録媒体の
膜面垂直方向に磁化容易軸を有するＧｏ−Ｃｒ合金など
よりなる硬磁性層を、真空蒸着法またはスパッタリング
法などの成膜法により順次積層した２層構造の垂直磁気
記録媒体が提案されている〔アイ・イー・イー・イー、
トランザクションオンマグネチックス、エムエージ−１
５、６（１９７９年１１月）第１４５６頁から第１４５
８頁（ＴＥ Ｅ Ｅ 、 Ｔｒａｎｓ、、 Ｍａｇｎｅ
ｔｉｃｓ、 ＭＡＧ１５．６（Ｎｏｖ、、 １９７９）
ｐｐ １４５６〜１４５８） Ｌ （アイ・イー・イ
ー・イー、トランザクションオンマグネチックス、エム
エージ−２０，１（１９８４年１月）第９９頁から第１
０１頁（Ｉ Ｅ Ｅ Ｅ 、 Ｔｒａｎｓ、 、 Ｍａ
ｇｎｅｔｉｃｓ。
めに、パーマロイなどの軟磁性層上に、磁気記録媒体の
膜面垂直方向に磁化容易軸を有するＧｏ−Ｃｒ合金など
よりなる硬磁性層を、真空蒸着法またはスパッタリング
法などの成膜法により順次積層した２層構造の垂直磁気
記録媒体が提案されている〔アイ・イー・イー・イー、
トランザクションオンマグネチックス、エムエージ−１
５、６（１９７９年１１月）第１４５６頁から第１４５
８頁（ＴＥ Ｅ Ｅ 、 Ｔｒａｎｓ、、 Ｍａｇｎｅ
ｔｉｃｓ、 ＭＡＧ１５．６（Ｎｏｖ、、 １９７９）
ｐｐ １４５６〜１４５８） Ｌ （アイ・イー・イ
ー・イー、トランザクションオンマグネチックス、エム
エージ−２０，１（１９８４年１月）第９９頁から第１
０１頁（Ｉ Ｅ Ｅ Ｅ 、 Ｔｒａｎｓ、 、 Ｍａ
ｇｎｅｔｉｃｓ。
ＭＡＧ２０．１ （Ｊａｎ、、 １９８４） ｐｐ ９
９〜１０１） ）。
９〜１０１） ）。
このような２層構造の磁気記録媒体は、記録再生時にお
ける感度は向上するものの、パーマロイなどの軟磁性層
上に形成されたＣｏ−Ｃｒ合金などからなる垂直磁化膜
の結晶配向性が大きく乱され、特にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化
膜の膜厚が薄いと十分な磁気特性を保持することができ
ないという問題があった。この問題を解消するために、
軟磁性層としてＣｏ膜あるいは非磁性のＣｏ−Ｃｒ合金
膜などを用いることが試みられているが、いまだ磁気特
性を充分に満足させる垂直磁気記録媒体を得ることがで
きなかった。
ける感度は向上するものの、パーマロイなどの軟磁性層
上に形成されたＣｏ−Ｃｒ合金などからなる垂直磁化膜
の結晶配向性が大きく乱され、特にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化
膜の膜厚が薄いと十分な磁気特性を保持することができ
ないという問題があった。この問題を解消するために、
軟磁性層としてＣｏ膜あるいは非磁性のＣｏ−Ｃｒ合金
膜などを用いることが試みられているが、いまだ磁気特
性を充分に満足させる垂直磁気記録媒体を得ることがで
きなかった。
上述したごとく、従来技術におけるパーマロイなどの軟
磁性層とＧｏ−Ｃｒ合金などの硬磁性層よりなる２Ｎ構
造の垂直磁気記録媒体においては、軟磁性層上に形成さ
れるＧ ｏ −Ｃｒ垂直磁化膜の結晶配向性が乱され、
そのため垂直磁気特性が低下するという問題があった。
磁性層とＧｏ−Ｃｒ合金などの硬磁性層よりなる２Ｎ構
造の垂直磁気記録媒体においては、軟磁性層上に形成さ
れるＧ ｏ −Ｃｒ垂直磁化膜の結晶配向性が乱され、
そのため垂直磁気特性が低下するという問題があった。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消し、真空
蒸着法によって、垂直磁気特性に優れたＣ ｏ −Ｃｒ
垂直磁化膜を有する磁気記録媒体を製造する方法を提供
することにある。
蒸着法によって、垂直磁気特性に優れたＣ ｏ −Ｃｒ
垂直磁化膜を有する磁気記録媒体を製造する方法を提供
することにある。
本発明者らは１種々研究を重ねた結果、基板上にＧｏ−
Ｃｒ合金を真空蒸着法によって成膜する際、ＣｏとＣｒ
の蒸気をイオン化するか、または上記蒸気流に不活性ガ
スのイオンを照射すると、形成されるＣｏ−Ｃｒ垂直磁
化膜の結晶配向性が向上し保磁力が低下することを見い
出した。
Ｃｒ合金を真空蒸着法によって成膜する際、ＣｏとＣｒ
の蒸気をイオン化するか、または上記蒸気流に不活性ガ
スのイオンを照射すると、形成されるＣｏ−Ｃｒ垂直磁
化膜の結晶配向性が向上し保磁力が低下することを見い
出した。
すなわち、上記本発明の目的は、基板上にＧ。
−Ｃｒの垂直磁化膜を真空蒸着法によって形成させる場
合において、蒸着の初期に、ＧｏとＣｒの蒸気の一部ま
たは全部を高周波電極などによってイオン化するか、ま
たはイオン銃などによってＡｒなどの不活性ガスのイオ
ンをＣｏとＣｒの蒸気流に照射して、イオンを含む蒸気
流として蒸着を行い、まず基板上に低保磁力を有するＧ
ｏ−Ｃｒ膜を蒸着し、その上にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を
形成させることによって、下層部で低保磁力、上層部で
高保磁力を有し、かつ下層部から上層部にかけて極めて
結晶配向性が良好で垂直磁気特性に優れたＧｏ−Ｃｒ垂
直磁化膜を成膜することにより、達成される。
合において、蒸着の初期に、ＧｏとＣｒの蒸気の一部ま
たは全部を高周波電極などによってイオン化するか、ま
たはイオン銃などによってＡｒなどの不活性ガスのイオ
ンをＣｏとＣｒの蒸気流に照射して、イオンを含む蒸気
流として蒸着を行い、まず基板上に低保磁力を有するＧ
ｏ−Ｃｒ膜を蒸着し、その上にＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜を
形成させることによって、下層部で低保磁力、上層部で
高保磁力を有し、かつ下層部から上層部にかけて極めて
結晶配向性が良好で垂直磁気特性に優れたＧｏ−Ｃｒ垂
直磁化膜を成膜することにより、達成される。
本発明の方法によって製造される磁気記録媒体は、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリイミド、
ポリアミド、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂製のフィル
ムあるいはＡＱ 、ＡＱ合金。
エチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリイミド、
ポリアミド、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂製のフィル
ムあるいはＡＱ 、ＡＱ合金。
Ｔｉ、Ｔｉ合金、ステンレスなどの金属板などを基体と
するテープ、シート、カード、ディスク状などの種々の
形態の磁気記録媒体を包含するものである。
するテープ、シート、カード、ディスク状などの種々の
形態の磁気記録媒体を包含するものである。
以下に本発明の一実施例を挙げ図面を参照しながらさら
に詳細に説明する。
に詳細に説明する。
（実施例１）
第１図に示す構造の真空蒸着装置を用い垂直磁気記録媒
体を作製した。図において、基板１はヒータ２によって
蒸着を行う前に１５０℃の温度に加熱されている。蒸発
源３に装填されているＧ ｏ −１０ｗｔ％Ｃｒ合金は
、電子銃４からの電子線により加熱蒸発され、基板１上
に膜厚が５００人になるまで高周波電極５により蒸着蒸
気をイオン化し、蒸着速度を２０人／秒として蒸着した
。この時、印加した高周波電力は３００Ｗである。つい
で、高周波電力の印加を停止して、蒸着速度２０人／秒
で、合計膜厚が２５００人のＧｏ−１９ｗｔ％Ｃｒから
なる垂直磁化膜を形成させて磁気ディスクを作製した。
体を作製した。図において、基板１はヒータ２によって
蒸着を行う前に１５０℃の温度に加熱されている。蒸発
源３に装填されているＧ ｏ −１０ｗｔ％Ｃｒ合金は
、電子銃４からの電子線により加熱蒸発され、基板１上
に膜厚が５００人になるまで高周波電極５により蒸着蒸
気をイオン化し、蒸着速度を２０人／秒として蒸着した
。この時、印加した高周波電力は３００Ｗである。つい
で、高周波電力の印加を停止して、蒸着速度２０人／秒
で、合計膜厚が２５００人のＧｏ−１９ｗｔ％Ｃｒから
なる垂直磁化膜を形成させて磁気ディスクを作製した。
（実施例２）
第２図に示す構造の真空蒸着装置を用い垂直磁気記録媒
体を作製した。図において、基板１は供給ロール９から
回転ドラム１０を介して巻取ロール１１に巻取られる。
体を作製した。図において、基板１は供給ロール９から
回転ドラム１０を介して巻取ロール１１に巻取られる。
回転ドラム１０は内部に設けられているヒータにより２
５０℃に加熱されている。蒸発源１２に装填されている
Ｃｏおよび蒸発源１３に装填されているＣｒは、電子銃
４によって電子線加熱により蒸発させ、成膜速度を３０
０人／秒として。
５０℃に加熱されている。蒸発源１２に装填されている
Ｃｏおよび蒸発源１３に装填されているＣｒは、電子銃
４によって電子線加熱により蒸発させ、成膜速度を３０
０人／秒として。
基板１上に膜厚が２５００人のＧ ｏ−１９ｗ ｔ％Ｃ
ｒよりなる垂直磁化膜を形成させた。この時、基板１上
に蒸着される蒸気の初期入射部に設けられているイオン
銃１４からＡｒイオンを照射しながら成膜した。Ａｒイ
オンの加速電圧は１ ｋＶ、電流は３０ｍＡであった。
ｒよりなる垂直磁化膜を形成させた。この時、基板１上
に蒸着される蒸気の初期入射部に設けられているイオン
銃１４からＡｒイオンを照射しながら成膜した。Ａｒイ
オンの加速電圧は１ ｋＶ、電流は３０ｍＡであった。
（比較例１）
蒸着初期に高周波電極５による蒸着用蒸気のイオン化を
行わない他は、実施例１と同様にしてＧ ｏ −Ｃｒ垂
直磁化膜を形成させ磁気記録媒体を作成した。
行わない他は、実施例１と同様にしてＧ ｏ −Ｃｒ垂
直磁化膜を形成させ磁気記録媒体を作成した。
（比較例２）
蒸着初期に高周波電極５によって蒸着用蒸気のイオン化
を行いつつ蒸着した厚さ５００人のＧ ｏ −Ｃｒ合金
膜の代りに、厚さＳＯＯ人のＧｏ（純度９９，９％）を
蒸着した他は、実施例１と同様にしてＧ。
を行いつつ蒸着した厚さ５００人のＧ ｏ −Ｃｒ合金
膜の代りに、厚さＳＯＯ人のＧｏ（純度９９，９％）を
蒸着した他は、実施例１と同様にしてＧ。
からなる垂直磁化膜を形成させ磁気記録媒体を作製した
。
。
上記の実施例および比較例において作製した磁気記録媒
体について、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の結晶配向性（Ｘ線
回折のＣ軸の分散Δθ２０ ）と垂直磁気特性〔膜面垂
直方向に測定した初期蒸着膜（５００人）の保磁力Ｈｅ
上および成膜した垂直磁化膜の保磁力Ｈｃｌ）を調べた
。その結果を第１表に示す。
体について、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の結晶配向性（Ｘ線
回折のＣ軸の分散Δθ２０ ）と垂直磁気特性〔膜面垂
直方向に測定した初期蒸着膜（５００人）の保磁力Ｈｅ
上および成膜した垂直磁化膜の保磁力Ｈｃｌ）を調べた
。その結果を第１表に示す。
第 １ 表
第１表から明らかなごとく、本発明のＣｏ−Ｃｒ垂直磁
化膜は、いずれも初期蒸着膜（５００人）の保磁力が低
く、上層部において高保磁力を有し。
化膜は、いずれも初期蒸着膜（５００人）の保磁力が低
く、上層部において高保磁力を有し。
かつ結晶配向性が良好で、優れた垂直磁気特性を示して
いる。
いる。
以上詳細に説明したごとく、本発明のＣｏ−Ｃｒ垂直磁
化膜の成膜初期における蒸着用蒸気流をイオン化するこ
とによって、Ｇｏ−Ｃｒ膜の結晶配向性を著しく向上さ
せることができ、垂直磁気特性に優れた垂直磁化膜を有
する磁気記録媒体を得ることができる。
化膜の成膜初期における蒸着用蒸気流をイオン化するこ
とによって、Ｇｏ−Ｃｒ膜の結晶配向性を著しく向上さ
せることができ、垂直磁気特性に優れた垂直磁化膜を有
する磁気記録媒体を得ることができる。
第１図は本発明の実施例１において用いた真空蒸着装置
の構造を示す模式図、第２図は本発明の実施例２におい
て用いた真空蒸着装置の構造を示す模式図である。 ｌ・・・基板 ２・・・ヒータ３・・・蒸
発源 ４・・・電子銃５・・・高周波コイル
６・・・マツチングボックス７・・・高周波電源
８・・・真空排気系９・・・供給ロール １ｏ・
・・回転ドラム１１・・・巻取ロール １２．１３・
・・蒸発源Ｉ４・・・イオン銃 代理人弁理士 中 村 純之助 第１図 ？ ５−唱凧奢雪栢 第２図 １１−−ぷりＲローも
の構造を示す模式図、第２図は本発明の実施例２におい
て用いた真空蒸着装置の構造を示す模式図である。 ｌ・・・基板 ２・・・ヒータ３・・・蒸
発源 ４・・・電子銃５・・・高周波コイル
６・・・マツチングボックス７・・・高周波電源
８・・・真空排気系９・・・供給ロール １ｏ・
・・回転ドラム１１・・・巻取ロール １２．１３・
・・蒸発源Ｉ４・・・イオン銃 代理人弁理士 中 村 純之助 第１図 ？ ５−唱凧奢雪栢 第２図 １１−−ぷりＲローも
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非磁性基板上に、直接もしくは下地層を介して、真
空蒸着法によりコバルトとクロムを主成分とする磁性層
を形成させて磁気記録媒体を製造する方法において、上
記磁性層の蒸着の初期に、コバルトとクロムを主成分と
する蒸着用蒸気流をイオン化して上記基板上に蒸着する
か、または上記蒸着用蒸気流に不活性ガスのイオンを照
射し、イオンを含む蒸着用蒸気流として上記基板上に蒸
着を行った後、上記蒸着用蒸気流のイオン化またはイオ
ン照射を停止して、引き続き蒸着を行いコバルトとクロ
ムを主成分とする垂直磁化膜を形成させることを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。 ２、コバルトとクロムを主成分とする蒸着用蒸気流をイ
オン化する手段が、上記蒸気流中に設けられた高周波電
極によることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の磁気記録媒体の製造方法。 ３、コバルトとクロムを主成分とする蒸着用蒸気流にイ
オンを照射する手段が、イオン銃によるアルゴンイオン
の照射であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25254187A JPH0196823A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25254187A JPH0196823A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0196823A true JPH0196823A (ja) | 1989-04-14 |
Family
ID=17238809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25254187A Pending JPH0196823A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0196823A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998015668A1 (en) * | 1996-10-07 | 1998-04-16 | Hitachi, Ltd. | Production method of laminate body, and the laminate body |
| WO2003012160A1 (en) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Asahi Optronics, Ltd. | High frequency ion plating vapor deposition system |
-
1987
- 1987-10-08 JP JP25254187A patent/JPH0196823A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998015668A1 (en) * | 1996-10-07 | 1998-04-16 | Hitachi, Ltd. | Production method of laminate body, and the laminate body |
| WO2003012160A1 (en) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Asahi Optronics, Ltd. | High frequency ion plating vapor deposition system |
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