JPH06103571A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH06103571A JPH06103571A JP25301992A JP25301992A JPH06103571A JP H06103571 A JPH06103571 A JP H06103571A JP 25301992 A JP25301992 A JP 25301992A JP 25301992 A JP25301992 A JP 25301992A JP H06103571 A JPH06103571 A JP H06103571A
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- Japan
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- magnetic
- magnetic layer
- vapor deposition
- film
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸着型の磁性層の表面に適当な粗さを付け
る。 【構成】 ＰＥＴフィルム６に電子ビーム銃９により加
熱して蒸発させたＣｏ−Ｃｒ合金を付着させた後，その
蒸着面にイオン銃11によりＮ2 等のガスイオンを照射す
る。
る。 【構成】 ＰＥＴフィルム６に電子ビーム銃９により加
熱して蒸発させたＣｏ−Ｃｒ合金を付着させた後，その
蒸着面にイオン銃11によりＮ2 等のガスイオンを照射す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法に関する。
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で金属を蒸着してなるバ
インダーを全く含まない蒸着型テープとがある。
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で金属を蒸着してなるバ
インダーを全く含まない蒸着型テープとがある。
【０００３】蒸着型テープは、磁性層にバインダーを含
まないことから磁性材料の密度を高められるため、高密
度記録に有望であるとされている。図２（ａ）は現在発
売又は開発されている蒸着型テープの基本構成を示して
いる。フィルムは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）、ポリイミド、アラミドなどが用いられている。厚
さは２〜50μｍまでいろいろ用いられている。
まないことから磁性材料の密度を高められるため、高密
度記録に有望であるとされている。図２（ａ）は現在発
売又は開発されている蒸着型テープの基本構成を示して
いる。フィルムは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）、ポリイミド、アラミドなどが用いられている。厚
さは２〜50μｍまでいろいろ用いられている。
【０００４】磁性層は、フィルム上に、真空蒸着法を用
いて、例えばＣｏ−Ｃｒ合金（80％−20％）を1500Åの
厚さで付着させている。バックコート層は、フィルムの
磁性層蒸着面とは反対側の面に形成されており、その役
割は、導電性を持たせて帯電防止効果によるゴミの付着
防止、表面性（摩擦係数）をコントロールすることによ
る走行安定性向上、硬さなどの点で表の磁性層と裏との
バランスをとることによる反りの発生防止である。一例
としては、カーボンをバインダー中に分散させて、塗布
している。
いて、例えばＣｏ−Ｃｒ合金（80％−20％）を1500Åの
厚さで付着させている。バックコート層は、フィルムの
磁性層蒸着面とは反対側の面に形成されており、その役
割は、導電性を持たせて帯電防止効果によるゴミの付着
防止、表面性（摩擦係数）をコントロールすることによ
る走行安定性向上、硬さなどの点で表の磁性層と裏との
バランスをとることによる反りの発生防止である。一例
としては、カーボンをバインダー中に分散させて、塗布
している。
【０００５】ところで、磁性層を蒸着により形成する
と、均一な膜厚となるため、その表面は下地層の表面の
凹凸をそのまま反映する。従って、フィルム上に磁性層
を直接蒸着すると、図２（ａ）に示されているように、
磁性層の表面が極めて平坦な状態となってしまい、摩擦
係数が大となって、走行安定性が悪化する。
と、均一な膜厚となるため、その表面は下地層の表面の
凹凸をそのまま反映する。従って、フィルム上に磁性層
を直接蒸着すると、図２（ａ）に示されているように、
磁性層の表面が極めて平坦な状態となってしまい、摩擦
係数が大となって、走行安定性が悪化する。
【０００６】そこで、図２（ｂ）に示すように、フィル
ム上にスラリーを含有するアンダーコート層を設けて、
表面を粗くし、この上に磁性層を蒸着することにより、
磁性層の表面性を改善している。
ム上にスラリーを含有するアンダーコート層を設けて、
表面を粗くし、この上に磁性層を蒸着することにより、
磁性層の表面性を改善している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、アンダーコート層を設けることに
より、製造工程が煩雑になり、価格の上昇を招くことは
否めなかった。本発明は、このような実情に鑑み、アン
ダーコート層を設けることなく、磁性層の表面性を改善
することを目的とする。
うな従来の方法では、アンダーコート層を設けることに
より、製造工程が煩雑になり、価格の上昇を招くことは
否めなかった。本発明は、このような実情に鑑み、アン
ダーコート層を設けることなく、磁性層の表面性を改善
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、非
磁性支持体上に磁性層を形成するに際し、真空中にて、
非磁性支持体に金属を蒸着させて後、その蒸着面にガス
イオンを照射することを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法を提供する。
磁性支持体上に磁性層を形成するに際し、真空中にて、
非磁性支持体に金属を蒸着させて後、その蒸着面にガス
イオンを照射することを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法を提供する。
【０００９】
【作用】すなわち、磁性層を真空蒸着により形成する
と、すなわち金属のままであると、表面粗さ（中心線平
均粗さ）Ｒａが 0.1〜１ｎｍと非常に平坦のままで、摩
擦係数が 0.6〜 1.0と高くなり、走行安定性が悪くなる
ので、蒸着面にガスイオンを照射し、その衝突によって
表面を粗くして、磁性層の表面粗さを適正範囲にする。
これにより、Ｒａ＝２〜５ｎｍに調整することができ、
摩擦係数についても0.1〜 0.4にすることが可能であ
る。
と、すなわち金属のままであると、表面粗さ（中心線平
均粗さ）Ｒａが 0.1〜１ｎｍと非常に平坦のままで、摩
擦係数が 0.6〜 1.0と高くなり、走行安定性が悪くなる
ので、蒸着面にガスイオンを照射し、その衝突によって
表面を粗くして、磁性層の表面粗さを適正範囲にする。
これにより、Ｒａ＝２〜５ｎｍに調整することができ、
摩擦係数についても0.1〜 0.4にすることが可能であ
る。
【００１０】尚、イオン照射の方法としては、カウフマ
ンタイプと、ＥＣＲ（高周波）タイプとがある。ガスと
しては、Ｎ2 、Ｏ2 、Ｃｌ2 、ＣＨ4 など、イオン化可
能なガスであればよい。
ンタイプと、ＥＣＲ（高周波）タイプとがある。ガスと
しては、Ｎ2 、Ｏ2 、Ｃｌ2 、ＣＨ4 など、イオン化可
能なガスであればよい。
【００１１】
【実施例】以下に本発明の一実施例を説明する。図１の
真空蒸着装置を用いて、非磁性支持体である厚さ 9.8μ
ｍのＰＥＴフィルムの上に、真空蒸着により、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金（80％−20％）を1500Å付着させて、磁性層を形
成した。
真空蒸着装置を用いて、非磁性支持体である厚さ 9.8μ
ｍのＰＥＴフィルムの上に、真空蒸着により、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金（80％−20％）を1500Å付着させて、磁性層を形
成した。
【００１２】図１の真空蒸着装置について説明する。真
空容器１は、ターボポンプ２とロータリポンプ３との運
転により真空状態とされる。真空容器１内には、巻出し
ロール４と巻取りロール５とが設けられ、巻出しロール
４から巻出されて巻取りロール５に巻取られる間で、Ｐ
ＥＴフィルム６は冷却キャン７の下側面に巻掛けられて
走行するようになっている。
空容器１は、ターボポンプ２とロータリポンプ３との運
転により真空状態とされる。真空容器１内には、巻出し
ロール４と巻取りロール５とが設けられ、巻出しロール
４から巻出されて巻取りロール５に巻取られる間で、Ｐ
ＥＴフィルム６は冷却キャン７の下側面に巻掛けられて
走行するようになっている。
【００１３】冷却キャン７の下方にはＭｇＯ製のルツボ
８が置かれ、この中にＣｏ−Ｃｒ合金が入れられてい
る。そして、ルツボ８中のＣｏ−Ｃｒ合金に対し斜め上
方の電子ビーム銃９から電子ビームを照射し、これによ
り加熱してＣｏ−Ｃｒ合金を蒸発させるようになってい
る。
８が置かれ、この中にＣｏ−Ｃｒ合金が入れられてい
る。そして、ルツボ８中のＣｏ−Ｃｒ合金に対し斜め上
方の電子ビーム銃９から電子ビームを照射し、これによ
り加熱してＣｏ−Ｃｒ合金を蒸発させるようになってい
る。
【００１４】そして、ルツボ８と冷却キャン７との間に
ＰＥＴフィルム６への蒸着範囲を規制するための遮蔽板
10を配置してある。そして、冷却キャン７上で蒸着部の
下流側にあるＰＥＴフィルム６に向けて、カウフマン・
イオン銃11を配置してある。このイオン銃11にはガス導
入管12が接続される。この例では、Ｎ2 をイオン化し、
1.5ＫＶの加速電圧でＣｏ−Ｃｒ合金の蒸着面を照射す
るようになっている。
ＰＥＴフィルム６への蒸着範囲を規制するための遮蔽板
10を配置してある。そして、冷却キャン７上で蒸着部の
下流側にあるＰＥＴフィルム６に向けて、カウフマン・
イオン銃11を配置してある。このイオン銃11にはガス導
入管12が接続される。この例では、Ｎ2 をイオン化し、
1.5ＫＶの加速電圧でＣｏ−Ｃｒ合金の蒸着面を照射す
るようになっている。
【００１５】ここにおいて、ＰＥＴフィルム６を巻出し
ロール４にセットして、冷却キャン７上を走行させ、電
子ビーム銃９により加熱されて蒸発されるＣｏ−Ｃｒ合
金を付着させた。そして、Ｃｏ−Ｃｒ合金の蒸着面にカ
ウフマン・イオン銃11によりＮ2 イオンを照射して、適
当な表面粗さを得た。そして、磁性層の蒸着と表面処理
とを終えたＰＥＴフィルム６は巻取りロール５に巻取っ
た。
ロール４にセットして、冷却キャン７上を走行させ、電
子ビーム銃９により加熱されて蒸発されるＣｏ−Ｃｒ合
金を付着させた。そして、Ｃｏ−Ｃｒ合金の蒸着面にカ
ウフマン・イオン銃11によりＮ2 イオンを照射して、適
当な表面粗さを得た。そして、磁性層の蒸着と表面処理
とを終えたＰＥＴフィルム６は巻取りロール５に巻取っ
た。
【００１６】その後、ＰＥＴフィルムの裏面にバックコ
ート層を塗布又は蒸着により形成して、図２（ｃ）に示
すような磁気フィルムを得た。ここで、磁性層としてＣ
ｏ−Ｃｒ合金を蒸着させただけのものと、イオン照射を
行ったものとについて、比較したところ、Ｃｏ−Ｃｒ合
金を蒸着させただけのものはＲａ＝ 0.5ｎｍ、摩擦係数
＝0.8 であったが、イオン照射により、Ｒａ＝３ｎｍ、
摩擦係数＝0.25と適正範囲になった。
ート層を塗布又は蒸着により形成して、図２（ｃ）に示
すような磁気フィルムを得た。ここで、磁性層としてＣ
ｏ−Ｃｒ合金を蒸着させただけのものと、イオン照射を
行ったものとについて、比較したところ、Ｃｏ−Ｃｒ合
金を蒸着させただけのものはＲａ＝ 0.5ｎｍ、摩擦係数
＝0.8 であったが、イオン照射により、Ｒａ＝３ｎｍ、
摩擦係数＝0.25と適正範囲になった。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、非
磁性支持体に金属を蒸着させて後、その蒸着面にガスイ
オンを照射するようにしたので、磁性層の表面粗さを適
正なものとして、走行安定性を良好にすることができ
る。よって、アンダーコート層が不要となり、製造工数
を低減し、価格的にも安価にすることができる。
磁性支持体に金属を蒸着させて後、その蒸着面にガスイ
オンを照射するようにしたので、磁性層の表面粗さを適
正なものとして、走行安定性を良好にすることができ
る。よって、アンダーコート層が不要となり、製造工数
を低減し、価格的にも安価にすることができる。
【図１】 本発明の一実施例で用いる真空蒸着装置の概
略図
略図
【図２】 磁性層の表面性について説明する図
１ 真空容器 ４ 巻出しロール ５ 巻取りロール ６ ＰＲＴフィルム ７ 冷却キャン ８ ルツボ（Ｃｏ−Ｃｒ合金入り） ９ 電子ビーム銃 10 遮蔽板 11 カウフマン・イオン銃 12 ガス導入管
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性支持体上に磁性層を形成するに際
し、真空中にて、非磁性支持体に金属を蒸着させて後、
その蒸着面にガスイオンを照射することを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25301992A JPH06103571A (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25301992A JPH06103571A (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06103571A true JPH06103571A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=17245358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25301992A Pending JPH06103571A (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103571A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5679166A (en) * | 1994-02-28 | 1997-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording media, magnetic recording media fabrication method, and fabrication equipment |
-
1992
- 1992-09-22 JP JP25301992A patent/JPH06103571A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5679166A (en) * | 1994-02-28 | 1997-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording media, magnetic recording media fabrication method, and fabrication equipment |
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