JPH02102141A - 石英ガラス製角槽 - Google Patents
石英ガラス製角槽Info
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- JPH02102141A JPH02102141A JP25487188A JP25487188A JPH02102141A JP H02102141 A JPH02102141 A JP H02102141A JP 25487188 A JP25487188 A JP 25487188A JP 25487188 A JP25487188 A JP 25487188A JP H02102141 A JPH02102141 A JP H02102141A
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 22
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 abstract 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 abstract 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
- C03B23/203—Uniting glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は上部が開口された角型石英ガラス容器、好まし
くは半導体ウェハ等の洗浄槽又は薬液処理槽等として用
いられる石英ガラス製角槽に関する。
くは半導体ウェハ等の洗浄槽又は薬液処理槽等として用
いられる石英ガラス製角槽に関する。
「従来の技術」
例えば半導体ウェハ等の洗浄槽や薬液処理槽においては
化学的安定性と不純物の溶出を避ける為に一般に石英ガ
ラス製の処理槽が用いられているが、該処理槽の形状は
操作の利便性と前記半導体ウェハを収納するキャリアの
形状等に対応させる為に上部が開口された角型状に形成
するのが常である。
化学的安定性と不純物の溶出を避ける為に一般に石英ガ
ラス製の処理槽が用いられているが、該処理槽の形状は
操作の利便性と前記半導体ウェハを収納するキャリアの
形状等に対応させる為に上部が開口された角型状に形成
するのが常である。
そしてこのような角形状の処理槽（以下角槽という）は
従来より底面及び４つの側面を形成する５枚の平板状石
英ガラス板を方形状に溶接して方形容器を形成した後、
グラインダ等で該容器の溶接跡を除去する事により製造
されるが、グラインダの形状は円板状か又はベルト状で
ある為に、溶接跡が存在する特に内周側に位置する凹稜
線部分の溶接跡を除去するのは多大な手間と熟練を必要
し且つ特にその角隅部に位置する溶接跡を完全に除去す
るのは極めて困難である。
従来より底面及び４つの側面を形成する５枚の平板状石
英ガラス板を方形状に溶接して方形容器を形成した後、
グラインダ等で該容器の溶接跡を除去する事により製造
されるが、グラインダの形状は円板状か又はベルト状で
ある為に、溶接跡が存在する特に内周側に位置する凹稜
線部分の溶接跡を除去するのは多大な手間と熟練を必要
し且つ特にその角隅部に位置する溶接跡を完全に除去す
るのは極めて困難である。
この為従来は、前記稜線部分の一部に溶接跡が残存した
まま薬液や洗浄液を投入する処理槽として利用されてい
たが、例えばバブリング洗浄等において、ウェハより洗
浄液側に移行したパーティクル等の微細な塵埃が前記溶
接跡に入り込んだ場合、例えフッ酸を用いて前記槽を洗
浄した場合にも簡単には散切れない。
まま薬液や洗浄液を投入する処理槽として利用されてい
たが、例えばバブリング洗浄等において、ウェハより洗
浄液側に移行したパーティクル等の微細な塵埃が前記溶
接跡に入り込んだ場合、例えフッ酸を用いて前記槽を洗
浄した場合にも簡単には散切れない。
而も前記角槽においては、パーティクルの沈積する部位
である底面四辺とその角隅部に溶接跡が多く形成される
構造である為に、前記入り込みは一層多くなる。
である底面四辺とその角隅部に溶接跡が多く形成される
構造である為に、前記入り込みは一層多くなる。
そしてこれら溶接跡に一旦入り込んだ塵埃等は、前述し
たように中々取切れないのみならず。
たように中々取切れないのみならず。
再使用時において再度洗節液中に戻入してしまう場合が
あり、これがウェハに再付着して製品欠陥の原因になる
など効果的な洗浄を行えない場合があった。
あり、これがウェハに再付着して製品欠陥の原因になる
など効果的な洗浄を行えない場合があった。
「発明が解決しようとする問題点」
かかる欠点を解消する為に、第５図に示すように底面１
００ａの各辺に夫々４つの側壁面１００ｂを一体的に連
接した、いわゆる展開図状の石英ガラス板１００を形成
し、該石英ガラス板１００の側壁面部位１００ｂを起立
させてその接合部１０１を溶接するようにした技術が開
示されているが、かかる技術においては底面周囲に位置
する各辺には接合部が形成されないが、底面角隅部より
立ち上がる垂直の稜線部とその下端角隅部には当然に接
合部が形成される事になる為に、尚これらの溶接跡を完
全に除去し得ないという前記欠点を解消し出来ない。
００ａの各辺に夫々４つの側壁面１００ｂを一体的に連
接した、いわゆる展開図状の石英ガラス板１００を形成
し、該石英ガラス板１００の側壁面部位１００ｂを起立
させてその接合部１０１を溶接するようにした技術が開
示されているが、かかる技術においては底面周囲に位置
する各辺には接合部が形成されないが、底面角隅部より
立ち上がる垂直の稜線部とその下端角隅部には当然に接
合部が形成される事になる為に、尚これらの溶接跡を完
全に除去し得ないという前記欠点を解消し出来ない。
この為例えば特開昭５８−８８１２！３号において、複
数の石英ガラス部材を用いて石英ガラス製角槽を形成す
る事なく、粉末状の石英ガラス原料と中子を用い、回転
溶融炉の内壁面と中子との間隙部に石英ガラス粉末を充
填し、炉を回転させながら前記中子を引き抜いた後、前
記原料粉末をアーク炎又はガス炎により加熱溶融して前
記角槽を形成する技術が提案されているが、かかる技術
においては原料粉末を直接溶融する構成を取る為に、大
型の角槽の形成が困難であり且つ原料粉末が炉壁と直接
接触する為に不純物が混入され易く、近年のように大口
径で且つ高集積化されたウェハを大量処理する為の製造
工程には適さない。
数の石英ガラス部材を用いて石英ガラス製角槽を形成す
る事なく、粉末状の石英ガラス原料と中子を用い、回転
溶融炉の内壁面と中子との間隙部に石英ガラス粉末を充
填し、炉を回転させながら前記中子を引き抜いた後、前
記原料粉末をアーク炎又はガス炎により加熱溶融して前
記角槽を形成する技術が提案されているが、かかる技術
においては原料粉末を直接溶融する構成を取る為に、大
型の角槽の形成が困難であり且つ原料粉末が炉壁と直接
接触する為に不純物が混入され易く、近年のように大口
径で且つ高集積化されたウェハを大量処理する為の製造
工程には適さない。
本発明はかかる従来技術の欠点に鑑み、複数の石英ガラ
ス部材の接合部を溶接して石英ガラス製角槽を形成しつ
つも、前記ガラス部材の接合部をグラインダの研削の容
易な位置に形成し、これにより溶接跡部の平滑化を達成
させて、洗浄液や処理液中に混入したパーティクル溶接
跡に入り込む事のない角槽を提供する事を目的とする。
ス部材の接合部を溶接して石英ガラス製角槽を形成しつ
つも、前記ガラス部材の接合部をグラインダの研削の容
易な位置に形成し、これにより溶接跡部の平滑化を達成
させて、洗浄液や処理液中に混入したパーティクル溶接
跡に入り込む事のない角槽を提供する事を目的とする。
「問題点を解決しようとする手段」
本発明はかかる技術的課題を達成する為に、円筒管を縦
割りにして形成される弧状部材１０Ａ、１０Ｂと、少な
くとも一部が湾曲された板状部材（以下湾曲板状部材と
いう） ２ＯＡ、２０Ｂ、２０Ｇと、角槽の各壁面幅よ
り小なる幅をもって形成された平板状部材３０の内、選
択された部材同士を組み合わせて前記角槽を形成した点
を要旨とするものである。
割りにして形成される弧状部材１０Ａ、１０Ｂと、少な
くとも一部が湾曲された板状部材（以下湾曲板状部材と
いう） ２ＯＡ、２０Ｂ、２０Ｇと、角槽の各壁面幅よ
り小なる幅をもって形成された平板状部材３０の内、選
択された部材同士を組み合わせて前記角槽を形成した点
を要旨とするものである。
この場合前記湾曲板状部材には、第３図中央部を陥没さ
せその四辺周縁部全域が隆起された部材２０Ｃ１各壁面
幅より小なる幅を有する平板状部材３０の所定部位を折
曲し「コ」又はＬ字状に折曲した部材２０８更には一辺
先端側のみを湾曲して３字状に形成した部材２ＯＡも含
む。
せその四辺周縁部全域が隆起された部材２０Ｃ１各壁面
幅より小なる幅を有する平板状部材３０の所定部位を折
曲し「コ」又はＬ字状に折曲した部材２０８更には一辺
先端側のみを湾曲して３字状に形成した部材２ＯＡも含
む。
又本発明において平板状部材３０を用いる場合があるが
、その縦及び横方向長さが、角槽の各壁面幅より小なる
幅を有する部材３０である事が前提である。
、その縦及び横方向長さが、角槽の各壁面幅より小なる
幅を有する部材３０である事が前提である。
更に前記前記弧状部材には、先端が丸封された円筒管１
０Ａや両端が開口された円筒管１０Ｂのいずれをも含む
。
０Ａや両端が開口された円筒管１０Ｂのいずれをも含む
。
即ち弧状部材は第４図に示されるように両端が軸線と直
交する方向に切断された円筒管ＩＡと。
交する方向に切断された円筒管ＩＡと。
端が丸封された円筒管ＩＢの夫々について、軸方向に沿
って４つ割りにして形成される弧状部材１０Ａ。
って４つ割りにして形成される弧状部材１０Ａ。
１０Ｂを２種類用いる。ここで、前記各円筒管ＩＡ、１
Ｂを４つ割りにした理由は前記弧状部材１０Ａ。
Ｂを４つ割りにした理由は前記弧状部材１０Ａ。
１０Ｂがいずれも稜線及び複数の稜線が集合する角隅部
に配置される為にその挟角である３０°に対応させた為
であるが、必ずしも４つ割りのみに限定されるものでは
なく、６つ割りや３つ割りをする場合がある。
に配置される為にその挟角である３０°に対応させた為
であるが、必ずしも４つ割りのみに限定されるものでは
なく、６つ割りや３つ割りをする場合がある。
又弧状部材１０Ａ、ＩＯＢを用いる理由は、第１図（ｂ
）や第２図（ｂ）に示すように、隣接する稜線部位に設
けた部材同士を接合する場合、両者間を直接接合させた
のでは、その接合部が稜線及び角隅部上に位置してしま
う。
）や第２図（ｂ）に示すように、隣接する稜線部位に設
けた部材同士を接合する場合、両者間を直接接合させた
のでは、その接合部が稜線及び角隅部上に位置してしま
う。
そこで前記稜線上に前記弧状部材１０Ａ 、 ＩＯＢを
介在させ、両者間が直接接合するのを避ける、言い換え
ればその接合部４０が稜線及び角隅部上に位置してしま
うのを避けるとともに、この場合単に第４図（ａ）に示
すような弧状部材１０Ａを用いた場合はその角隅部に尚
楔状空間が形成されてしまう。そこで＝好ましくは前記
稜線上に位置する部材が、第４図（ｂ）に示すような丸
封された円筒管ＩＢを縦割りにして形成される弧状部材
１０Ｂを用いる事により前記楔状空間が形成される事な
くその接合部４０が稜線及び角隅部上に位置してしまう
のを避ける事が可能となる。
介在させ、両者間が直接接合するのを避ける、言い換え
ればその接合部４０が稜線及び角隅部上に位置してしま
うのを避けるとともに、この場合単に第４図（ａ）に示
すような弧状部材１０Ａを用いた場合はその角隅部に尚
楔状空間が形成されてしまう。そこで＝好ましくは前記
稜線上に位置する部材が、第４図（ｂ）に示すような丸
封された円筒管ＩＢを縦割りにして形成される弧状部材
１０Ｂを用いる事により前記楔状空間が形成される事な
くその接合部４０が稜線及び角隅部上に位置してしまう
のを避ける事が可能となる。
「作用」
従って本技術手段によれば、先ず前記平板状部材３０は
角槽の各壁面幅より小なる幅をもって形成されている為
に、稜線及び複数の稜線が集合する角隅部に位置する部
材には前記平板状部材３０の各辺や角隅部が位置する事
は全くなく、少なくとも円筒管ＩＡ、ＩＢを縦割りにし
て形成される弧状部材１０Ａ、ＩＯＢか、湾曲板状部材
２ＯＡ、２０Ｂ、２０Ｇのいずれかである。
角槽の各壁面幅より小なる幅をもって形成されている為
に、稜線及び複数の稜線が集合する角隅部に位置する部
材には前記平板状部材３０の各辺や角隅部が位置する事
は全くなく、少なくとも円筒管ＩＡ、ＩＢを縦割りにし
て形成される弧状部材１０Ａ、ＩＯＢか、湾曲板状部材
２ＯＡ、２０Ｂ、２０Ｇのいずれかである。
そして本発明は前項で詳説したように、このような弧状
部材１０Ａ 、 ＩＯＢや湾曲板状部材２ＯＡ、２０Ｂ
。
部材１０Ａ 、 ＩＯＢや湾曲板状部材２ＯＡ、２０Ｂ
。
２０Ｃの曲面を効果的に利用して、これらの部材同士の
接合部４０を少なくとも稜線及び複数の稜線が集合する
角隅部から外れた位置に設けて溶接する事が可能となり
、この点が本発明の特徴とする所である。
接合部４０を少なくとも稜線及び複数の稜線が集合する
角隅部から外れた位置に設けて溶接する事が可能となり
、この点が本発明の特徴とする所である。
「実施例」
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例を例示的に
詳しく説明する。ただしこの実施例に記載されている構
成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特
定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれのみに
限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない、尚第
１図乃至第３図は本発明の各実施例を示すが、いずれも
説明の明瞭化の為に肉厚を誇張して図示しており、実際
の肉厚は第４図の円筒管ＩＡ、１Ｂの説明に示される程
度である。
詳しく説明する。ただしこの実施例に記載されている構
成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特
定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれのみに
限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない、尚第
１図乃至第３図は本発明の各実施例を示すが、いずれも
説明の明瞭化の為に肉厚を誇張して図示しており、実際
の肉厚は第４図の円筒管ＩＡ、１Ｂの説明に示される程
度である。
第１図は前記２種類の弧状部材（以下ａ弧状部材１０Ａ
とｂ弧状部材１０Ｂとに区別する）と、角槽の各壁面幅
より小なる幅を有する平板状部材３０とを用いて形成し
た角槽で、第１図（ａ）に示すように底壁側に位置する
角四辺にはａ弧状部材１０Ａが、又隣接する各二辺の該
ａ弧状部材１０Ａに挟まれる、垂直に立設する稜線部分
にはｂ弧状部材１０Ｂを夫々配設し、又これらの弧状部
材１０Ａ、ＩＯＢに挟まれる各平面空間には、対応形状
の平板状部材３０が配設されている。
とｂ弧状部材１０Ｂとに区別する）と、角槽の各壁面幅
より小なる幅を有する平板状部材３０とを用いて形成し
た角槽で、第１図（ａ）に示すように底壁側に位置する
角四辺にはａ弧状部材１０Ａが、又隣接する各二辺の該
ａ弧状部材１０Ａに挟まれる、垂直に立設する稜線部分
にはｂ弧状部材１０Ｂを夫々配設し、又これらの弧状部
材１０Ａ、ＩＯＢに挟まれる各平面空間には、対応形状
の平板状部材３０が配設されている。
この結果第１図（ｂ）に示すように稜線や角隅部を避け
て接合部４０を形成する事が出来、グラインダによる接
合部４０の溶接跡の除去が容易になる。
て接合部４０を形成する事が出来、グラインダによる接
合部４０の溶接跡の除去が容易になる。
第２図は３字状とコの字状の２種類の湾曲板状部材（以
下Ｊ状部材２０Ｂとコ状部材２０Ａとに区別する）と、
ｂ弧状部材１０Ｂとを用いて形成した角槽で、第２図（
ａ）（ｂ）に示すように先ず底面と対向する二側壁面を
連接させてコ状部材２ＯＡで形成するとともに、他の二
側壁面と底面間に形成される稜線部分に接合部４０が来
るのを避ける為に、平板状部材３０の底縁をＲ状に湾曲
させたＪ成部材２０Ｂを用い、該Ｊ状部材２０Ｂをコ状
部材２ＯＡの腹側に当接させて他の一対の側壁面を形成
する。そして前記両部材に挟まれる、垂直に立設する稜
線部分にはｂ弧状部材１０Ｂを夫々配設して角槽を形成
する。
下Ｊ状部材２０Ｂとコ状部材２０Ａとに区別する）と、
ｂ弧状部材１０Ｂとを用いて形成した角槽で、第２図（
ａ）（ｂ）に示すように先ず底面と対向する二側壁面を
連接させてコ状部材２ＯＡで形成するとともに、他の二
側壁面と底面間に形成される稜線部分に接合部４０が来
るのを避ける為に、平板状部材３０の底縁をＲ状に湾曲
させたＪ成部材２０Ｂを用い、該Ｊ状部材２０Ｂをコ状
部材２ＯＡの腹側に当接させて他の一対の側壁面を形成
する。そして前記両部材に挟まれる、垂直に立設する稜
線部分にはｂ弧状部材１０Ｂを夫々配設して角槽を形成
する。
この結果第２図（ｂ）に示すように稜線や角隅部を避け
て接合部４０を形成する事が出来、グラインダによる接
合部４０の溶接跡の除去が容易になる。
て接合部４０を形成する事が出来、グラインダによる接
合部４０の溶接跡の除去が容易になる。
第３図はコの字状と盆状の２種類の湾曲板状部材（後者
を盆状部材２０Ｇという）を用いて形成した角槽で、第
３図（ａ）に示すように底面を形成する盆状部材２０Ｇ
上面側の周縁上に沿って、その中央線上を挟んで一対の
コ状部材２ＯＡを設置する事により角槽が簡単に形成さ
れる。そして前記のような盆状部材２０Ｇは、平板状部
材３０の周縁を酸水素ガスバーナによりあぶりながら軟
化させて且つ隆起させる事により、比較的簡単に形成出
来る。
を盆状部材２０Ｇという）を用いて形成した角槽で、第
３図（ａ）に示すように底面を形成する盆状部材２０Ｇ
上面側の周縁上に沿って、その中央線上を挟んで一対の
コ状部材２ＯＡを設置する事により角槽が簡単に形成さ
れる。そして前記のような盆状部材２０Ｇは、平板状部
材３０の周縁を酸水素ガスバーナによりあぶりながら軟
化させて且つ隆起させる事により、比較的簡単に形成出
来る。
この結果第３図（ｂ）に示すように稜線や角隅部を避け
て接合部４０を形成する事が出来、グラインダによる接
合部４０の溶接跡の除去が容易になる。
て接合部４０を形成する事が出来、グラインダによる接
合部４０の溶接跡の除去が容易になる。
「発明の効果」
以上記載の如く本発明によれば、複数の石英ガラス部材
の接合部を溶接して石英ガラス製角槽を形成しつつも、
前記ガラス部材の接合部をグラインダの研削の容易な位
置に形成し、これにより平滑な溶接跡部が形成し得、洗
浄液や処理液中に混入したパーティクル溶接跡に入り込
む事のない角槽を得る事が出来、これにより洗浄工程時
又は薬液処理工程時にように角形処理槽を用いる各製造
工程でのウェハー面へのパーティクル付着を大幅に抑制
する事が出来、その実用的価値は極めて大である。
の接合部を溶接して石英ガラス製角槽を形成しつつも、
前記ガラス部材の接合部をグラインダの研削の容易な位
置に形成し、これにより平滑な溶接跡部が形成し得、洗
浄液や処理液中に混入したパーティクル溶接跡に入り込
む事のない角槽を得る事が出来、これにより洗浄工程時
又は薬液処理工程時にように角形処理槽を用いる各製造
工程でのウェハー面へのパーティクル付着を大幅に抑制
する事が出来、その実用的価値は極めて大である。
第１図乃至第３図は本発明の各実施例に係る石英ガラス
製角槽を示し、いずれも（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は
要部拡大斜視図である。 第４図（ａ）（ｂ）は前記角層に用いられる弧状部材の
製造手順を示す作用図、第５図は従来技術に係る石英ガ
ラス製角槽の製造手順を示す斜視図である。 特許出願人：株式会社 山形信越石英 （ａ） 又２０Ｃ 図 第 図 （ｂ） 図
製角槽を示し、いずれも（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は
要部拡大斜視図である。 第４図（ａ）（ｂ）は前記角層に用いられる弧状部材の
製造手順を示す作用図、第５図は従来技術に係る石英ガ
ラス製角槽の製造手順を示す斜視図である。 特許出願人：株式会社 山形信越石英 （ａ） 又２０Ｃ 図 第 図 （ｂ） 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）複数の石英ガラス部材の接合部を溶接して形成され
る石英ガラス製角槽において、円筒管を縦割りにして形
成される弧状部材と、少なくとも一部が湾曲された板状
部材と、角槽の各壁面幅より小なる幅をもって形成され
た平板状部材の内、選択された部材同士を組み合わせて
前記角槽を形成するとともに、これらの各部材同士の接
合部を少なくとも稜線及び複数の稜線が集合する角隅部
から外れた位置に設けた事を特徴とする石英ガラス製角
槽 ２）稜線及び複数の稜線が集合する角隅部に位置する部
材が、前記弧状部材と、前記湾曲された板状部材のいず
れかである請求項１）記載の石英ガラス製角槽 ３）隣接する各壁面上に配置した複数の部材が集合する
稜線上に位置する部材が弧状部材であり、好ましくは丸
封された円筒管を縦割りにして形成される弧状部材であ
る請求項１）記載の石英ガラス製角槽
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63254871A JPH0623067B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 石英ガラス製角槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63254871A JPH0623067B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 石英ガラス製角槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102141A true JPH02102141A (ja) | 1990-04-13 |
| JPH0623067B2 JPH0623067B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=17270992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63254871A Expired - Fee Related JPH0623067B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 石英ガラス製角槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623067B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH706648A1 (de) * | 2012-06-27 | 2013-12-31 | Engeler Ag Glaswelt | Schmelzglaskörper. |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910046U (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | トヨタ自動車株式会社 | シヤシダイナモメ−タ用車輪固定治具 |
| JPS59199540A (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-12 | Japan Seru:Kk | 液体分析装置用角形ガラスセルとその製造方法 |
| JPS62161622U (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-14 |
-
1988
- 1988-10-12 JP JP63254871A patent/JPH0623067B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910046U (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | トヨタ自動車株式会社 | シヤシダイナモメ−タ用車輪固定治具 |
| JPS59199540A (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-12 | Japan Seru:Kk | 液体分析装置用角形ガラスセルとその製造方法 |
| JPS62161622U (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-14 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH706648A1 (de) * | 2012-06-27 | 2013-12-31 | Engeler Ag Glaswelt | Schmelzglaskörper. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0623067B2 (ja) | 1994-03-30 |
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