JPH0314165U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0314165U JPH0314165U JP7594489U JP7594489U JPH0314165U JP H0314165 U JPH0314165 U JP H0314165U JP 7594489 U JP7594489 U JP 7594489U JP 7594489 U JP7594489 U JP 7594489U JP H0314165 U JPH0314165 U JP H0314165U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evacuation
- susceptor
- chamber
- isolating
- evacuation chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構造図、第２
図は従来装置を示す構造図である。 １……反応管、２……ゲートバルブ、３……サ
セプタ、４……搬送室、５……搬送室扉、６……
グローブボツクス、７……グローブ、８……グロ
ーブボツクス扉、９……キヤツプロツク、１０…
…サセプタ支持アーム、１１……真空ポンプ、１
２……避難室、１３……避難室扉。
図は従来装置を示す構造図である。 １……反応管、２……ゲートバルブ、３……サ
セプタ、４……搬送室、５……搬送室扉、６……
グローブボツクス、７……グローブ、８……グロ
ーブボツクス扉、９……キヤツプロツク、１０…
…サセプタ支持アーム、１１……真空ポンプ、１
２……避難室、１３……避難室扉。
Claims (1)
- サセプタ上に基板をのせて気相成長を行う装置
において、サセプタを隔離する避難室と、前記避
難室内の真空排気及びガス置換を行う真空排気及
びパージラインとを有することを特徴とする気相
成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7594489U JPH0314165U (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7594489U JPH0314165U (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0314165U true JPH0314165U (ja) | 1991-02-13 |
Family
ID=31616966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7594489U Pending JPH0314165U (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0314165U (ja) |
-
1989
- 1989-06-28 JP JP7594489U patent/JPH0314165U/ja active Pending