JPH02103948A - ウエハローダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 半導体露光装置に於けるウェハロータの機構に関し、 簡単な構造でウェハの位置決め精度を向上させることを
目的とし、 ウェハの大凡の位置出しを行う第１のステージから、ウ
ェハを精密な位置出しを行う第２のステージに先端のウ
ェハチャックで吸着して移送する回転アームを備えたウ
ェハロータであって、第１のステージと第２のステージ
にウェハチャックの位置決めを行う位置設定手段と、回
転アームにウェハチャックを伸縮且つ揺動可能に支持す
るばね手段とを設けて構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、半導体露光装置（以下ステッパーと称す）に
於けるウェハロータの機構に関する。

近年、半導体の高集積化に伴い、露光光学系とウェハの
位置合わせはサブミクロンの精度が必要となり、露光光
学系のウェハの位置を検出する位置検出器も更に高精度
となって来た。

この為位置検出器の測定可能な範囲は小さくなり、位置
検出器の測定範囲内にウェハの位置誤差を入れる前段階
での位置出しに対する要求も厳しいものとなって来た。

〔従来の技術〕

第３図の斜視図に示す如く、ステツパーに依るウェハの
露光は、先ず第１のエレベータ２を駆動して第１のウェ
ハマガジン３のウェハををウェハ搬送ロボット４が抜き
取れる位置に移動させる。

そして、ウェハ搬送ロボット４がウェハを抜き取りウェ
ハ搬送ロホソト用レール５を移動して第１のステージ（
以下プリアライメントテーブルと称す）６にウェハｌを
搭載する。

次にプリアライメントテーブル６で露光用のＸＹステー
ジ７にウェハ１を搭載する前の大凡の位置出しを行う。

位置出しが終了したら、同図及び第４図の側面図に示す
回転アーム８がその先端に備えたウェハチャック９でウ
ェハ１を吸着し、回転してウェハｌを第２のステージ（
以下ＸＹステージと称す）７に搭載する。

ウェハ１を搭載したＸＹステージ７は、第３図に示す露
光光学系１０の下に移動しウェハ１の精密な位置出しを
行った後露光が行われる。

露光が終了したウェハ１は、再び回転アーム８に依って
ＸＹステージ７からウェハ搬送ロボット４に運ばれて、
ウェハ搬送ロボット４に依り第２のウェハマガジン１１
に収納され、更に第２のエレベータ１２で所定の位置に
移動され１枚のウェハの露光が完了する。

斯かる一連の露光動作に於いて、特に露光光学系１０と
ＸＹステージ７上のウェハｌの位置合わせは高精度に行
われる必要がある。

この位置合わせの為に、露光光学系１０の中には例えば
レーザーの干渉縞でずれを検知する位置検出器（図示省
略）を備えている。

このような位置検出器は、大きな位置の誤差を検出する
ことは困難で、プリアライメントテーブル６はこの位置
検出器の測定範囲内にウェハ１の位置誤差を入れる為に
行われる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記の如く前段階でのウェハの位置出しは、プリアライ
メントテーブルに依って行われるが、プリアライメント
テーブル自体の位置決め誤差よりプリアライメントテー
ブルからＸＹステージに転載する際の回転アームのがた
や位置決め誤差が問題となる。

一般に回転アームは、出来るだけ単純な動作で誤差の発
生しにくい構成とする必要がある。

第４図に示す回転アームは、回転と僅かな上下動のみで
あるが、それでも軸受のがたやアームの振動等の影響が
現れる。

このようなことで、ＸＹステージ上にウェハを正確に位
置決めして搭載することが困難であると言う問題点があ
った。

本発明は、簡単な構造でウェハの位置決め精度を向上さ
せることを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成する為に本発明に於いては、第１図に示
す如く、第１のステージ（プリアライメントテーブル）
６と第２のステージ（ＸＹステージ）７に回転アーム１
３のウェハチャック９の位置決めを行う位置設定手段１
４と、回転アーム１３にウェハチャック９を伸縮且つ揺
動可能に支持するばね手段１５とを設けたものである。

〔作用〕

ウェハチャックは、回転アームのがたや振動に影響され
ずに、位置設定手段に依ってプリアライメントテーブル
及びＸＹステージの適正な位置に位置される。

〔実施例〕

第１図及び第２図は本発明の一実施例である。

全図を通じて同一部分には同一符号を付して示した。

本発明に於いては、第１図の側面図に示す如く、プリア
ライメントテーブル６とＸＹステージ７に回転アーム１
３のウェハチャック９の位置決めを行う位置設定手段１
４と、回転アーム１３にウェハチャック９を伸縮且つ揺
動可能に支持するばね手段１５とを設けたものである。

即ち位置設定手段１４は、プリアライメントテーブル６
及びＸＹステージ７の所定位置に設けられた位置決めピ
ン１６であり、プランジャ１７に依って突出口下する。

この位置決めピン１６が突出して、その先端が回転アー
ム１３のウェハチャック９の孔部１８に嵌入した時、ウ
ェハチャック９がプリアライメントテーブル６及びＸＹ
ステージ７の適正位置に位置するように設定されている
。

位置決めピン１６の先端は面取りしてあり、ウェハチャ
ック９の孔部１８を位置決めピン１６の位置にガイドす
ると共に、嵌入を容易ならしめている。

一方、ウェハチャック９を回転アーム１３に伸縮且つ揺
動可能に支持するばね手段１５は、図示の如くアーム１
３を２分割してその中間に例えばウレタンゴムの如き弾
性部材を介在させたものである。

斯くの如くすることでばね手段１５は、回転アーム１３
の振動を吸収し、且つ位置決めピン１６に依る位置決め
の際には伸縮してウェハチャック９を位置決めピン１６
の位置決めに追従せしめる。

第２図（ａ）及び（ｂ）の平面図は、突当て方法に依る
位置設定手段であって、同図（ａ）に示す如くプリアラ
イメントテーブル６及びＸＹステージ７にピン１９を突
設し、回転アーム２０の側部２０ａを同図（ｂｌに示す
如（突当てることに依って、ウェハチャック９に吸着さ
れたウェハ１を所定の位置に搭載するものである。

斯かる構成であるので、ウェハチャック９は回転アーム
のがたや振動に影響されず、プリアライメントテーブル
６及びＸＹステージ７の適正な位置に位置してウェハ１
の受は渡しを行うことが出来る。

〔発明の効果〕

本発明のウェハロータに依り、位置決め精度を高める複
雑な機構を設けること無しに、ウェハのハンドリングに
依る誤差を小さくすることが出来る。

又、ステッパー等に於いて、ステージの除振台にウェハ
ロータ、プリアライメントテーブル等を載せること無し
に、高精度のウェハの受は渡しが可能となる等、経済上
及び産業上に多大の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハロータの側面図、第２図（ａ）
、（ｂｌは本発明のウェハロータの他の位置設定手段を
示す平面図、 第３図はステッパーの構成を示す斜視図、第４図は従来
のウェハロータを示す側面図である。 図に於いて、 ｌはウェハ、 ６は第１のステージ ７は第２のステージ ８．１３．２０は回転ア ９はウェハチャック１ １５はばね手段、 １７はプランジャ、 １９はピン、 （プリアライメントテーブル）、 （ＸＹステージ）、 ム、 １４は位置設定手段、 １６は位置決めピン、 １８は孔部、 ２０ａは側部である。 人発朗■ウェハＯ−タ゛０１１面口 寥１　■

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ウェハ（１）の大凡の位置出しを行う第１のステージ（
   ６）から、 ウェハ（１）を精密な位置出しを行う第２のステージ（
   ７）に先端のウェハチャック（９）で吸着して移送する
   回転アーム（１３）を備えたウェハロータであって、 前記第１のステージ（６）と前記第２のステージ（７）
   に前記ウェハチャック（９）の位置決めを行う位置設定
   手段（１４）と、 前記回転アーム（１３）に前記ウェハチャック（９）を
   伸縮且つ揺動可能に支持するばね手段（１５）とを設け
   たことを特徴とするウェハロータ。