JPH02105079A - マルチコンタクト式プローブ - Google Patents
マルチコンタクト式プローブInfo
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- JPH02105079A JPH02105079A JP63257096A JP25709688A JPH02105079A JP H02105079 A JPH02105079 A JP H02105079A JP 63257096 A JP63257096 A JP 63257096A JP 25709688 A JP25709688 A JP 25709688A JP H02105079 A JPH02105079 A JP H02105079A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 24
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N beryllium copper Chemical compound [Be].[Cu] DMFGNRRURHSENX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野]
本発明は、トランジスタ、IC等の電子部品用のマルチ
コンタクト式プローブに関する。
コンタクト式プローブに関する。
従来のプローブとしては、第5図の一点コンタクト式プ
ローブあるいは第6図のマルチコンタクト式プローブの
2つのものが知られている。
ローブあるいは第6図のマルチコンタクト式プローブの
2つのものが知られている。
第5図は、前記したように一点コンタクト式プローブを
示し、31はICで、該ICは本体2及び該本体2の両
側より導出するリード端子33を有しており、プローブ
は、一方の接触ビン34の端部にリード端子3に接触部
34aを接触させるようにしている。この従来例におい
ては、前記のリード端子33と各プローブ端子35の接
触部34aの接触は一点での接触であり、その上、リー
ド端子33に対する接触ピッ340作用方向は、一方向
に限定されるため、リード端子上の汚れ、塵埃、封止材
のパリ等により接触不良を生じるという欠点があった。
示し、31はICで、該ICは本体2及び該本体2の両
側より導出するリード端子33を有しており、プローブ
は、一方の接触ビン34の端部にリード端子3に接触部
34aを接触させるようにしている。この従来例におい
ては、前記のリード端子33と各プローブ端子35の接
触部34aの接触は一点での接触であり、その上、リー
ド端子33に対する接触ピッ340作用方向は、一方向
に限定されるため、リード端子上の汚れ、塵埃、封止材
のパリ等により接触不良を生じるという欠点があった。
また、実開昭61−173073号公報には、マルチコ
ンタクト式プローブが示されており、これはプローブ端
子41.42は積層状とされるとともに、絶縁基Fi、
44によって支持され、該両プローブ端子41゜42の
先端の自由端部41a、42aは、IC31の本体32
の両側より導出するリード端子33に向けて屈曲され、
リード端子33への接触部が形成されている。
ンタクト式プローブが示されており、これはプローブ端
子41.42は積層状とされるとともに、絶縁基Fi、
44によって支持され、該両プローブ端子41゜42の
先端の自由端部41a、42aは、IC31の本体32
の両側より導出するリード端子33に向けて屈曲され、
リード端子33への接触部が形成されている。
そして、IC31が測定位置に供給されたときシリンダ
45を作動して、ピストンロッド46の前進によって前
記両プローブ端子41.42を移動させ、この移動によ
って接触部41a、42aをリード端子33に接触せし
めるものである。
45を作動して、ピストンロッド46の前進によって前
記両プローブ端子41.42を移動させ、この移動によ
って接触部41a、42aをリード端子33に接触せし
めるものである。
そして、この従来例においては、前記した第5図に示す
1点コンタクト式の例に比べると、接触不良を回避する
確立は大きいが、接触部41a、42aの作用方向は、
一方向に限定されるので、例えば42aが接触するリー
ド端子33上に異物が存在すると前記の両接触部41a
、42aともリード端子33に接触することが困難にな
る。また、リード端子33のフォーミング形状より多点
接触を行うにはスペース的に制約があり、リード端子3
3とプローブ端子41.’ 42を接触させるためにシ
リンダ装置45も必要となり装置全体が大型になるとい
う欠点もあった。
1点コンタクト式の例に比べると、接触不良を回避する
確立は大きいが、接触部41a、42aの作用方向は、
一方向に限定されるので、例えば42aが接触するリー
ド端子33上に異物が存在すると前記の両接触部41a
、42aともリード端子33に接触することが困難にな
る。また、リード端子33のフォーミング形状より多点
接触を行うにはスペース的に制約があり、リード端子3
3とプローブ端子41.’ 42を接触させるためにシ
リンダ装置45も必要となり装置全体が大型になるとい
う欠点もあった。
本発明は、上述した従来装置の欠点を解消し、IC等の
被検体の各リード端子への確実な接触を可能としたマル
チコンタクト式プローブを提供することをその目的とす
るものである。
被検体の各リード端子への確実な接触を可能としたマル
チコンタクト式プローブを提供することをその目的とす
るものである。
〔課題を解決するための手段]
本発明に係るマルチコンタクト式プローブは、前記の目
的を達成するために、本体と該本体より導出されるリー
ド端子とよりなる被検体の前記リード端子に接触して電
気的特性を検査する多点接触型プローブの多点接触端子
が弾性材で構成され、前記の被検体の垂直方向及び水平
方向にそれぞれ少なくとも1個の端子が接触するように
なし、前記各端子が相互に非接触状態を保持するよう、
各端子間に所要の間隙を形成したことをその特徴とする
ものである。
的を達成するために、本体と該本体より導出されるリー
ド端子とよりなる被検体の前記リード端子に接触して電
気的特性を検査する多点接触型プローブの多点接触端子
が弾性材で構成され、前記の被検体の垂直方向及び水平
方向にそれぞれ少なくとも1個の端子が接触するように
なし、前記各端子が相互に非接触状態を保持するよう、
各端子間に所要の間隙を形成したことをその特徴とする
ものである。
(作用〕
本発明に係るマルチコンタクト式プローブは、被検体の
垂直方向及び水平方向にそれぞれ少なくとも1個の端子
が接触するように構成されるとともに、前記の各端子が
相互に接触しないように、各端子間に所要の間隙が形成
され、しかも前記の端子が弾性材で構成されているので
、被検体の作用方向に対し、水平方向に接触する端子が
先に被検体のリード端子に接触する。そして、前記端子
の自由端部がリード端子と接触状態を保持しながら、接
触端子が撓むので、その撓みにより、上記の端子と所定
の間隙を保持し一体的に設けられている他方の端子も被
検体の垂直方向に接触するので、被検体のリード端子に
両接触端子が確実に接触し、試験機とリード端子とは電
気的に接続され、被検体の特性が試験されることとなる
。
垂直方向及び水平方向にそれぞれ少なくとも1個の端子
が接触するように構成されるとともに、前記の各端子が
相互に接触しないように、各端子間に所要の間隙が形成
され、しかも前記の端子が弾性材で構成されているので
、被検体の作用方向に対し、水平方向に接触する端子が
先に被検体のリード端子に接触する。そして、前記端子
の自由端部がリード端子と接触状態を保持しながら、接
触端子が撓むので、その撓みにより、上記の端子と所定
の間隙を保持し一体的に設けられている他方の端子も被
検体の垂直方向に接触するので、被検体のリード端子に
両接触端子が確実に接触し、試験機とリード端子とは電
気的に接続され、被検体の特性が試験されることとなる
。
試験終了後、被検体の荷重がな(なり、これに伴い両接
触端子はリード端子より離れ、弾性によって元の位置に
復帰するものである。
触端子はリード端子より離れ、弾性によって元の位置に
復帰するものである。
第1図及び第2図は、本発明の第1実施例を示し、第3
図及び第4図はそれぞれ本発明の第2実施例及び第3実
施例を示すものである。
図及び第4図はそれぞれ本発明の第2実施例及び第3実
施例を示すものである。
本発明の第1実施例を第1図、第2図に基づいて説明す
る。
る。
図において、■は本体2及び該本体2の両側から導出さ
れたリード端子3からなるトランジスタ、IC等の被検
体である。
れたリード端子3からなるトランジスタ、IC等の被検
体である。
5及び6は内側及び外側の接触ピンで、該接触ピン5及
び6のそれぞれは、絶縁板4に支持される水平基部5′
より所要の間隙を隔てて斜上方に突出せしめられ、これ
ら水平基部5′、接触ピン5及び6は弾性を有する部材
で一体的に構成され、該接触ピン5及び6は同一材料で
も、また異種材料でもよ(、要は水平基部5′が弾性を
有していればよいものである。
び6のそれぞれは、絶縁板4に支持される水平基部5′
より所要の間隙を隔てて斜上方に突出せしめられ、これ
ら水平基部5′、接触ピン5及び6は弾性を有する部材
で一体的に構成され、該接触ピン5及び6は同一材料で
も、また異種材料でもよ(、要は水平基部5′が弾性を
有していればよいものである。
前記した接触ピン5及び6の自由端部5a、6aは、前
記したように被検体1のリード端子3に向けて斜め上方
に突出して形成され、リード端子3への接触部を構成し
ている。そして、前記した接触ピン5及び6は、各接触
部5a、6aがリード端子3と接触するときも、また、
接触していないときも接触ピン5及び6が相互に接触し
ないように平行四辺形の一部か、又は台形の一部に近い
形状とされているので、被検体1との作用方向に対して
水平方向に前記した内側の接触ピン5の自出端部5aが
被検体1のリード端子3に接触し、垂直方向に外側の接
触ピン6の自由端部6aがリード端子3が接触するよう
に構成されている。
記したように被検体1のリード端子3に向けて斜め上方
に突出して形成され、リード端子3への接触部を構成し
ている。そして、前記した接触ピン5及び6は、各接触
部5a、6aがリード端子3と接触するときも、また、
接触していないときも接触ピン5及び6が相互に接触し
ないように平行四辺形の一部か、又は台形の一部に近い
形状とされているので、被検体1との作用方向に対して
水平方向に前記した内側の接触ピン5の自出端部5aが
被検体1のリード端子3に接触し、垂直方向に外側の接
触ピン6の自由端部6aがリード端子3が接触するよう
に構成されている。
本発明の第1実施例は、以上のように構成されているの
で、その作動について、第2図を参照して説明するに、
被検体lがその被検体保持部の荷重により測定位置Cに
達すると、両接触ビン5及び6の自由端部5a及び6a
は、被検体1のリード端子3側に移動する。そして、こ
の移動に伴い、先ず、被検体1の作用方向に対し水平方
向に接触する内側の接触ピン5の自由端部5aが先に前
記の被検体1のリード端子3に接触し、該接触ピン5は
その自由端部5aがリード端子3と接触した状態を保持
しながら接触ピン5の水平基部5′に1尭みdが生ずる
とともに、その撓みdにより、これら水平基部5′及び
接触ピン5と一体として形成されている外側の接触ピン
6は傾斜状態となり、被検体lの作用方向に対して垂直
方向に前記の接触ピン6の自由端6aがリード端子3に
接触する。
で、その作動について、第2図を参照して説明するに、
被検体lがその被検体保持部の荷重により測定位置Cに
達すると、両接触ビン5及び6の自由端部5a及び6a
は、被検体1のリード端子3側に移動する。そして、こ
の移動に伴い、先ず、被検体1の作用方向に対し水平方
向に接触する内側の接触ピン5の自由端部5aが先に前
記の被検体1のリード端子3に接触し、該接触ピン5は
その自由端部5aがリード端子3と接触した状態を保持
しながら接触ピン5の水平基部5′に1尭みdが生ずる
とともに、その撓みdにより、これら水平基部5′及び
接触ピン5と一体として形成されている外側の接触ピン
6は傾斜状態となり、被検体lの作用方向に対して垂直
方向に前記の接触ピン6の自由端6aがリード端子3に
接触する。
上記のようにして、被検体■のリート端子3に両接触ピ
ン5,6が接触させられると、試験機(図示省略)とリ
ード端子3とが電気的に接続され、被検体1の特性が試
験されることとなる。試験が終了とともに前記の両接触
ビン5.6の自由端5a、6aには、被検体保持部の荷
重が無くなり被検体1のリード端子3から離れ、両接触
ビン5゜6はその水平基部5′の弾力により元の位置に
復帰する。その後、被検体1は次工程の分類部へと自重
落下又は強制落下するとともに、前記した測定位置Cに
別の被検体が供給され、前記と同様の動作が繰り返えさ
れるものである。
ン5,6が接触させられると、試験機(図示省略)とリ
ード端子3とが電気的に接続され、被検体1の特性が試
験されることとなる。試験が終了とともに前記の両接触
ビン5.6の自由端5a、6aには、被検体保持部の荷
重が無くなり被検体1のリード端子3から離れ、両接触
ビン5゜6はその水平基部5′の弾力により元の位置に
復帰する。その後、被検体1は次工程の分類部へと自重
落下又は強制落下するとともに、前記した測定位置Cに
別の被検体が供給され、前記と同様の動作が繰り返えさ
れるものである。
本実施例においては、上記したように両接触ピン5.6
の自由端部5a、6aは両者とも確実に被検体1のリー
ド端子3と接触させることが可能となるものであり、ま
た、例えば、被検体1の作用方向に対して水平方向に接
触する接触ピン5の自由端部5aに対するリード端子3
上に異物が存在すると、接触ピン5,6が水平基部5′
を介して一本の弾性体で構成されているので、被検体l
の作用方向に対してリード端子3に垂直方向に接触する
接触ピン6の自由端部6aが異物の大きさだけリード端
子3に強く接触することができるものである。これは、
前記の自由端部6aに接触するリード端子3上に異物が
存在する場合も同様自由端部5aが異物の大きさだけリ
ード端子3に強(接触することができる。更に、前記し
た自由端部5a、6aが接触する両方に対するリード端
子3上に異物が存在するときは、自由端部5a、6aが
一本のタングステン、ベリリウム銅等の弾性体で構成さ
れているため相互にもとに戻ろうとする力が働き、リー
ド端子3上の異物を破壊し、リード端子3と接触するこ
ともでき、従って、信頼性の高い測定が可能となる。
の自由端部5a、6aは両者とも確実に被検体1のリー
ド端子3と接触させることが可能となるものであり、ま
た、例えば、被検体1の作用方向に対して水平方向に接
触する接触ピン5の自由端部5aに対するリード端子3
上に異物が存在すると、接触ピン5,6が水平基部5′
を介して一本の弾性体で構成されているので、被検体l
の作用方向に対してリード端子3に垂直方向に接触する
接触ピン6の自由端部6aが異物の大きさだけリード端
子3に強く接触することができるものである。これは、
前記の自由端部6aに接触するリード端子3上に異物が
存在する場合も同様自由端部5aが異物の大きさだけリ
ード端子3に強(接触することができる。更に、前記し
た自由端部5a、6aが接触する両方に対するリード端
子3上に異物が存在するときは、自由端部5a、6aが
一本のタングステン、ベリリウム銅等の弾性体で構成さ
れているため相互にもとに戻ろうとする力が働き、リー
ド端子3上の異物を破壊し、リード端子3と接触するこ
ともでき、従って、信頼性の高い測定が可能となる。
また、第3図に示す第2実施例においては、第1実施例
と同一部品に対しては同一符号を付し、その説明は省略
する。そして、第1実施例では2本の接触ピン5.6が
示されているが、第3図に示す第2実施例では、被検体
1との作用方向に対して、水平方向に2個の接触ピン1
3.14がリード端子3に接触し、垂直方向に1個の接
触ピン15がリード端子3に接触するものである。また
、第4図に示す第3実施例も第1実施例と同一部品に対
しては同一符号で示し、その説明は省略する。そして、
第3実施例においては、被検体1との作用方向に対して
水平方向に1個の接触ピン16がリード端子3に接触し
、垂直方向に2個の接触ピン17゜18がリード端子3
に接触するものである。
と同一部品に対しては同一符号を付し、その説明は省略
する。そして、第1実施例では2本の接触ピン5.6が
示されているが、第3図に示す第2実施例では、被検体
1との作用方向に対して、水平方向に2個の接触ピン1
3.14がリード端子3に接触し、垂直方向に1個の接
触ピン15がリード端子3に接触するものである。また
、第4図に示す第3実施例も第1実施例と同一部品に対
しては同一符号で示し、その説明は省略する。そして、
第3実施例においては、被検体1との作用方向に対して
水平方向に1個の接触ピン16がリード端子3に接触し
、垂直方向に2個の接触ピン17゜18がリード端子3
に接触するものである。
本発明に係る一体型マルチコンタクト式プローブによれ
ば、被検体に対するプローブの作用方向若しくは、プロ
ーブに対する被検体の作用方向が一方向にもかかわらず
、該作用方向に対して水平方向及び垂直方向の両方向か
ら被検体のリード端子に対してプローブを接触させるこ
とが可能となり測定の信頼性が向上するものであり、ま
た、本発明によれば、リード端子に水平方向、垂直方向
の両方向からプローブの接触が確実に行われ、従って、
高い信頼性を有する被検体の特性試験を行うことが可能
となるものである。
ば、被検体に対するプローブの作用方向若しくは、プロ
ーブに対する被検体の作用方向が一方向にもかかわらず
、該作用方向に対して水平方向及び垂直方向の両方向か
ら被検体のリード端子に対してプローブを接触させるこ
とが可能となり測定の信頼性が向上するものであり、ま
た、本発明によれば、リード端子に水平方向、垂直方向
の両方向からプローブの接触が確実に行われ、従って、
高い信頼性を有する被検体の特性試験を行うことが可能
となるものである。
第1図は本発明の第1実施例を示す正面図、第2図は第
1図の第1実施例の作動状態を示す説明図、第3図は本
発明の第2実施例を示す正面図、第4図は本発明の第3
実施例を示す正面図、第5図は従来の1点コンタクト式
プローブの説明図、第6図は従来のマルチコンタクト式
プローブの説明図である。 l;被検体 2:本 体 3:リード端子 5、 6. 7.13.14.15.16.17. t
a:接触ピン特許出願人 旭化成電子株式会社 二 第1図 第2図 第3図 第5図 第6図
1図の第1実施例の作動状態を示す説明図、第3図は本
発明の第2実施例を示す正面図、第4図は本発明の第3
実施例を示す正面図、第5図は従来の1点コンタクト式
プローブの説明図、第6図は従来のマルチコンタクト式
プローブの説明図である。 l;被検体 2:本 体 3:リード端子 5、 6. 7.13.14.15.16.17. t
a:接触ピン特許出願人 旭化成電子株式会社 二 第1図 第2図 第3図 第5図 第6図
Claims (1)
- 本体と該本体より導出されるリード端子とよりなる被検
体の前記リード端子に接触して電気的特性を検査する多
点接触型プローブの多点接触端子が弾性材で構成され、
前記の被検体の垂直方向及び水平方向にそれぞれ少なく
とも1個の端子が接触するようになし、前記各端子が相
互に非接触状態を保持するよう、各端子間に所要の間隙
を形成したことを特徴とするマルチコンタクト式プロー
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63257096A JPH0711557B2 (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | マルチコンタクト式プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63257096A JPH0711557B2 (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | マルチコンタクト式プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02105079A true JPH02105079A (ja) | 1990-04-17 |
| JPH0711557B2 JPH0711557B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=17301681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63257096A Expired - Lifetime JPH0711557B2 (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | マルチコンタクト式プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711557B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04332872A (ja) * | 1991-05-09 | 1992-11-19 | Rohm Co Ltd | 測定端子ユニット |
| JP2013170930A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Toyota Motor Corp | 電子部品の検査方法、これを行うための電気的特性検査装置及び電子部品の端子 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54118881U (ja) * | 1978-02-08 | 1979-08-20 | ||
| JPS6211508U (ja) * | 1985-07-04 | 1987-01-24 |
-
1988
- 1988-10-14 JP JP63257096A patent/JPH0711557B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54118881U (ja) * | 1978-02-08 | 1979-08-20 | ||
| JPS6211508U (ja) * | 1985-07-04 | 1987-01-24 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04332872A (ja) * | 1991-05-09 | 1992-11-19 | Rohm Co Ltd | 測定端子ユニット |
| JP2013170930A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Toyota Motor Corp | 電子部品の検査方法、これを行うための電気的特性検査装置及び電子部品の端子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0711557B2 (ja) | 1995-02-08 |
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